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公開番号2025029487
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-06
出願番号2023134192
出願日2023-08-21
発明の名称真空ポンプ
出願人エドワーズ株式会社
代理人個人
主分類F04D 19/04 20060101AFI20250227BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】吸引ガスが水素ガス等であっても背圧性能に優れる真空ポンプを提案する。
【解決手段】真空ポンプ100は、複数段の回転翼102と固定翼123を有するタービンポンプ部115とタービンポンプ部115よりも排気下流側に位置するドラッグポンプ部116とを含んで構成される排気部114を備え、排気部114によって吸気口101から吸引した吸気ガスをガス流路FP1を介して排気口133から排気させるものであって、吸気ガスよりも粘度が高い中間導入ガスを導入する導入流路FP3を備え、導入流路FP3は、複数段の回転翼102の中で、排気部114における吸気口101に最も近い回転翼102よりも排気下流側でガス流路FP1に接続されていることを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
複数段の回転翼と固定翼を有するタービンポンプ部と前記タービンポンプ部よりも排気下流側に位置するドラッグポンプ部とを含んで構成される排気部を備え、前記排気部によって吸気口から吸引した吸気ガスをガス流路を介して排気口から排気させる真空ポンプであって、
前記吸気ガスよりも粘度が高い中間導入ガスを導入する導入流路を備え、
前記導入流路は、前記複数段の回転翼の中で、前記排気部における前記吸気口に最も近い回転翼よりも排気下流側で前記ガス流路に接続されていることを特徴とする真空ポンプ。
続きを表示（約 520 文字）【請求項２】
前記回転翼が設けられた回転体の内周側に設けられるステータコラムの内側にパージガスを供給するパージガス流路を備え、
前記導入流路は前記パージガス流路から分岐したものであって、前記中間導入ガスとして前記パージガスが用いられることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記パージガス流路は、真空ポンプの外側に位置する外側パージガス流路と真空ポンプの内側に位置する内側パージガス流路とで構成され、
前記導入流路は、前記内側パージガス流路から分岐して前記ガス流路に接続されることを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記導入流路の少なくとも一部の内径は、前記パージガス流路の内径よりも小さいことを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記導入流路は、前記中間導入ガスの流量を調整可能なバルブを備えることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記導入流路は、前記タービンポンプ部と前記ドラッグポンプ部の間で前記ガス流路に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
ターボ分子ポンプ等の真空ポンプとして、主に分子流領域の圧縮を狙いとするタービンポンプ部と、主に中間流領域から粘性流領域の圧縮を狙いとするドラッグポンプ部とを含んで構成される排気部を備える真空ポンプが知られている（例えば特許文献１の図９を参照）。
【０００３】
特許文献１に示されている真空ポンプは、筒状のケーシングの内部に、タービンポンプ部として機能する複数段の回転翼と固定翼が設けられ、さらにドラッグポンプ部として機能するネジ溝部が設けられている。またケーシングの上部には吸気口が設けられ、下部には排気口が設けられている。そして真空ポンプを駆動させると、吸気口からガスが吸引され、このガスはタービンポンプ部とドラッグポンプ部を順に通過した後、排気口から排気される。
【０００４】
一般に真空ポンプには、排気口側（背圧側）の圧力によってポンプの性能に影響が及ぶ背圧依存性がある。従来、背圧の影響を受けにくくする（背圧性能を高める）手段としては、特許文献１に示されているように、ネジ溝部の直径を拡大することやネジ溝部の軸方向長さを長くすることが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第５６８９５４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで真空ポンプで吸引するガスが水素ガスである場合は、上記のような背圧性能を高める手段を用いても、例えば窒素ガスを吸引する場合と比較して十分な背圧性能が得られないことがある。この点につき本願発明者が検討を重ねたところ、水素ガスは窒素ガスと比較して粘度が低く、そのため排気部（特にはドラッグポンプ部）での圧縮効果が低くなり、それが背圧性能低下の要因の一つであると推察された。
【０００７】
本発明は、吸引ガスが水素ガス等であっても背圧性能に優れる真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、複数段の回転翼と固定翼を有するタービンポンプ部と前記タービンポンプ部よりも排気下流側に位置するドラッグポンプ部とを含んで構成される排気部を備え、前記排気部によって吸気口から吸引した吸気ガスをガス流路を介して排気口から排気させる真空ポンプであって、前記吸気ガスよりも粘度が高い中間導入ガスを導入する導入流路を備え、前記導入流路は、前記複数段の回転翼の中で、前記排気部における前記吸気口に最も近い回転翼よりも排気下流側で前記ガス流路に接続されていることを特徴とする。
【０００９】
このような真空ポンプは、前記回転翼が設けられた回転体の内周側に設けられるステータコラムの内側にパージガスを供給するパージガス流路を備え、前記導入流路は前記パージガス流路から分岐したものであって、前記中間導入ガスとして前記パージガスが用いられることが好ましい。
【００１０】
そして前記パージガス流路は、真空ポンプの外側に位置する外側パージガス流路と真空ポンプの内側に位置する内側パージガス流路とで構成され、前記導入流路は、前記内側パージガス流路から分岐して前記ガス流路に接続されることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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