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公開番号2025066737
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-23
出願番号2025002584,2023173371
出願日2025-01-08,2019-09-19
発明の名称マルチプレクサ、無線通信デバイス及びバルク弾性波デバイス
出願人スカイワークスグローバルプライベートリミテッド
代理人個人,個人,個人
主分類H03H 9/17 20060101AFI20250416BHJP(基本電子回路)
要約【課題】多層隆起フレーム構造物を含むバルク弾性波(BAW)デバイス、フィルタ、マルチプレクサ、パッケージ状モジュール、無線通信デバイス及び方法を提供する。
【解決手段】二重隆起フレームバルク弾性波デバイス20において、多層隆起フレーム構造物は、バルク弾性波デバイスの第1電極21と第2電極22との間に位置決めされた第1隆起フレーム層23を含む。第1隆起フレーム層は、第1電極よりも低い音響インピーダンスを有する。第1隆起フレーム層と第2隆起フレーム層とは、バルク弾性波デバイスのアクティブ領域において重なる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
バルク弾性波デバイスであって、
第１電極と、
第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極との間に位置決めされた圧電層と、
前記バルク弾性波デバイスのアクティブ領域の中間エリアの外側にある多層隆起フレーム
構造物と
を含み、
前記多層隆起フレーム構造物は、第１隆起フレーム層及び第２隆起フレーム層を含み、
前記第１隆起フレーム層は、前記第１電極と前記第２電極との間に位置決めされ、
前記第１隆起フレーム層は、前記第１電極よりも低い音響インピーダンスを有し、
前記第２隆起フレーム層は、前記アクティブ領域において前記第１隆起フレーム層と重な
る、バルク弾性波デバイス。
続きを表示（約 850 文字）【請求項２】
前記第１隆起フレーム層は、隆起フレームモードの周波数を、前記バルク弾性波デバイス
の主要共振周波数から離れるように移動させるべく構成される、請求項１のバルク弾性波
デバイス。
【請求項３】
前記多層隆起フレーム構造物は、前記アクティブ領域から前記バルク弾性波デバイスのパ
ッシブ領域への横方向エネルギー漏洩をブロックするべく構成される、請求項１のバルク
弾性波デバイス。
【請求項４】
前記第１隆起フレーム層の音響インピーダンスは、前記圧電層の音響インピーダンスより
も低い、請求項１のバルク弾性波デバイス。
【請求項５】
前記第１隆起フレーム層は二酸化ケイ素層である、請求項１のバルク弾性波デバイス。
【請求項６】
前記第１電極は、モリブデン、タングステン、ルテニウム、白金又はイリジウムの少なく
とも一つを含む、請求項１のバルク弾性波デバイス。
【請求項７】
前記第１隆起フレーム層は、前記圧電層と前記第１電極との間に位置決めされる、請求項
１のバルク弾性波デバイス。
【請求項８】
前記第１隆起フレーム層は、前記バルク弾性波デバイスの隆起フレームドメインにおいて
前記アクティブドメインのエッジに沿って配置される、請求項１のバルク弾性波デバイス
。
【請求項９】
前記バルク弾性波デバイスはさらに、前記隆起フレームドメインと前記中間エリアとの間
に陥凹フレームドメインを含む、請求項８のバルク弾性波デバイス。
【請求項１０】
前記第２隆起フレーム層と前記圧電層とは、前記第２電極の対向側に配置され、
前記第１隆起フレーム層は、前記圧電層と前記第２電極との間に位置決めされる、請求項
１のバルク弾性波デバイス。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
優先権出願の相互参照
本願は、２０１８年９月２４日に出願された「バルク弾性波デバイスにおける多層隆起
フレーム」との名称の米国仮特許出願第６２／７３５，５２３号の優先権の利益を主張す
るとともに、２０１８年１１月１１日に出願された「バルク弾性波デバイスにおける多層
隆起フレーム」との名称の米国仮特許出願第６２／７６０，４７０号の優先権の利益を主
張する。これらそれぞれの開示は、全体がここに参照により組み入れられる。
続きを表示（約 1,600 文字）【０００２】
本開示の実施形態は、弾性波デバイスに関し、詳しくはバルク弾性波デバイスに関する
。
【背景技術】
【０００３】
無線周波数電子システムには弾性波フィルタを実装することができる。例えば、携帯電
話機の無線周波数フロントエンドにおけるフィルタは、一つ以上の弾性波フィルタを含み
得る。複数の弾性波フィルタを、マルチプレクサとして配列することができる。例えば、
２つの弾性波フィルタをデュプレクサとして配列することができる。
【０００４】
弾性波フィルタは、無線周波数信号をフィルタリングするべく配列された複数の共振器
を含み得る。複数例の弾性波フィルタには、弾性表面波（ＳＡＷ）フィルタ及びバルク弾
性波（ＢＡＷ）フィルタが含まれる。ＢＡＷフィルタはＢＡＷ共振器を含む。複数例のＢ
ＡＷ共振器が、薄膜バルク弾性波共振器（ＦＢＡＲ）及びソリッドマウント共振器（ＳＭ
Ｒ）を含む。ＢＡＷ共振器において、弾性波は、圧電層のバルクの中を伝播する。
【０００５】
高性能ＢＡＷフィルタに対し、低挿入損失かつ低ガンマ損失が一般に望ましい。しかし
ながら、所望レベルの挿入損失及びガンマ損失を達成することは難しい。
【発明の概要】
【０００６】
特許請求の範囲に記載のイノベーションはそれぞれが、いくつかの側面を有し、その単
独の一つのみが、その所望の属性に対して関与するわけではない。特許請求の範囲を制限
することなく、本開示のいくつかの卓越した特徴の概要が以下に記載される。
【０００７】
本開示の一つの側面は、第１電極と、第２電極と、当該第１電極と第２電極との間に位
置決めされた圧電層と、多層隆起フレーム構造物とを含むバルク弾性波デバイスであり、
当該多層隆起フレーム構造物は当該バルク弾性波デバイスのアクティブ領域の中間エリア
の外側にある。多層隆起フレーム構造物は、第１隆起フレーム層及び第２隆起フレーム層
を含む。第１隆起フレーム層は、第１電極と第２電極との間に位置決めされる。第１隆起
フレーム層は、第１電極よりも低い音響インピーダンスを有する。第２隆起フレーム層は
、アクティブ領域において第１隆起フレーム層と重なる。
【０００８】
第１隆起フレーム層は、隆起フレームモードの周波数を、バルク弾性波デバイスの主要
共振周波数から離れるように移動させることができる。第１隆起フレーム層の音響インピ
ーダンスは、圧電層の音響インピーダンスよりも低くてよい。第１隆起フレーム層は二酸
化ケイ素層としてよい。第１隆起フレーム層は、圧電層と第１電極との間に位置決めして
よい。第１隆起フレーム層は、アクティブドメインのエッジに沿ったバルク弾性波デバイ
スの隆起フレームドメインに配置してよい。バルク弾性波デバイスはさらに、隆起フレー
ムドメインと中間エリアとの間に陥凹フレームドメインを含んでよい。
【０００９】
多層隆起フレーム構造物は、バルク弾性波デバイスのアクティブ領域からパッシブ領域
への横方向エネルギー漏洩をブロックすることができる。
【００１０】
第１電極はモリブデンを含み得る。第１電極はタングステンを含み得る。第１電極はル
テニウムを含み得る。第１電極は白金を含み得る。第１電極はイリジウムを含み得る。第
１電極は、モリブデン、タングステン、ルテニウム、白金及び／又はイリジウムの任意の
適切な合金を含み得る。
（【００１１】以降は省略されています）

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