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公開番号2025066387
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-23
出願番号2023175928
出願日2023-10-11
発明の名称加圧システム
出願人日機装株式会社
代理人個人
主分類B30B 12/00 20060101AFI20250416BHJP(プレス)
要約【課題】加圧処理間の時間が短縮可能で、加圧処理の関連処理が実行可能な加圧システムを提供する。
【解決手段】本発明に加圧システム1,1B～1Dは、ワークWの加圧処理と関連処理とを実行する。加圧システムは、複数の処理のうち、いずれか1つの処理が実行される複数の実行エリアA2と、ワークを収容して実行エリア間を搬送されるチャンバユニット20と、を有してなる。実行エリアは、処理が実行される順番に従って配置される。チャンバユニットは、ワークの上方に配置されて、加圧処理においてワークを上方から加圧する上加圧ユニット6Uとして機能する天井部26と、ワークの下方に配置されて、加圧処理においてワークを下方から加圧する下加圧ユニット6Dとして機能する床部21と、水平方向において、ワークの全周を囲むように配置されて、天井部と床部と共にワークが収容される収容室20Rを区画する周壁部27と、を備える。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
ワークの加圧処理と、前記加圧処理に関連する関連処理と、を実行する加圧システムであって、
前記加圧処理と前記関連処理とを含む複数の処理のうち、いずれか１つの前記処理が実行される複数の実行エリアと、
前記ワークを収容して、複数の前記実行エリア間を搬送されるチャンバユニットと、
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、前記処理が実行される順番に従って配置されて、
前記チャンバユニットは、
前記ワークの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを上方から加圧する上加圧ユニットとして機能する天井部と、
前記ワークの下方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを下方から加圧する下加圧ユニットとして機能する床部と、
水平方向において、前記ワークの全周を囲むように配置されて、前記天井部と前記床部と共に前記ワークが収容される収容室を区画する周壁部と、
を備える、
加圧システム。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
前記チャンバユニットは、前記実行エリアにおける上部空間を通過して、前記実行エリア間を搬送される、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項３】
前記天井部は、前記床部に対して、上下方向に相対的に移動可能である、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項４】
前記天井部は、
前記加圧処理において、前記ワークの表面の形状に追従して変形する柔軟層を備える加圧パッド、
を備えて、
前記チャンバユニットは、
前記加圧パッドの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記加圧パッドを下方へ向けて押圧することにより前記上加圧ユニットとして機能する上型、
を備える、
請求項３に記載の加圧システム。
【請求項５】
前記加圧処理が実行される加圧エリアに配置されて、前記加圧処理を実行する加圧装置、
を有してなり、
前記実行エリアは、
前記加圧エリア、
を含み、
前記加圧装置は、
前記加圧処理において、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、前記下加圧ユニットとして機能する押圧ユニット、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項６】
前記収容室の雰囲気は、前記収容室の内部圧力が前記チャンバユニットの外部空間の外部圧力よりも低い減圧雰囲気であり、
前記床部は、前記周壁部の下方に配置されて、前記内部圧力と前記外部圧力との圧力差により前記周壁部に取り付けられる、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項７】
前記収容室の雰囲気は、前記収容室の内部圧力が前記チャンバユニットの外部空間の外部圧力と同じになるようにガスが充填されるガス雰囲気であり、
前記チャンバユニットは、
前記床部を前記周壁部に固定する固定部材、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項８】
前記床部は、前記周壁部に対して着脱可能であり、
複数の前記実行エリアは、
前記ワークが載置された前記床部が前記周壁部に取り付けられることにより、前記ワークが前記チャンバユニットに収容される収容処理が前記関連処理として実行される収容エリアと、
加圧された前記ワークが載置された前記床部が前記周壁部から取り外されることにより、前記ワークが前記チャンバユニットから取り出される取出処理が前記関連処理として実行される取出エリアと、
を含み、
前記床部は、前記ワークを前記収容エリアに搬入して、加圧された前記ワークを前記取出エリアから搬出する、搬送パレットとして機能する、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項９】
前記収容エリアと前記取出エリアとの間に配置されて、前記床部が取り外された前記チャンバユニットのメンテナンス処理が実行されるメンテナンスエリア、
を有してなる、
請求項８に記載の加圧システム。
【請求項１０】
前記加圧処理が実行される加圧エリアに配置されて、前記ワークを加熱する加熱ユニットと、
前記ワークを予備加熱する予備加熱ユニット、および／または、加圧後の前記ワークを冷却する冷却ユニットと、
を有してなり、
複数の前記実行エリアは、
前記予備加熱ユニットが配置されて、前記ワークの予備加熱処理が前記関連処理として実行される予備加熱エリア、および／または、前記冷却ユニットが配置されて、加圧後の前記ワークの冷却処理が前記関連処理として実行される冷却エリア、
を含み、
前記予備加熱エリアにおいて、前記予備加熱処理が実行されるとき、前記予備加熱ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接して、および／または、
前記冷却エリアにおいて、前記冷却処理が実行されるとき、前記冷却ユニットは、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記床部に当接する、
請求項１に記載の加圧システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加圧システムに関する。
続きを表示（約 3,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、被加圧物（例えば、電子部品など）を加圧するために、加圧装置が用いられている。例えば、特許文献１に開示された加圧装置は、上加圧ユニットおよび下加圧ユニットを備えて、上加圧ユニットおよび下加圧ユニットにより被加圧物を挟持・加圧すると共に、下加圧ユニットが備える熱ユニットにより被加圧物を加熱する。同加圧装置では、被加圧物の加圧および加熱が完了した後は、加圧状態のまま被加工物は冷却されて、被加圧物は冷却後に取り出される。同加圧装置では、１つの熱ユニットにより被加圧物が加熱および冷却される。そのため、熱ユニットによる加熱と冷却の切り替えに時間が必要となり、加圧処理ごとの処理時間が長期化していた。
【０００３】
特許文献２に開示された加圧装置では、下加圧ユニットは、予め加熱されている加熱ユニット、および、予め冷却されている冷却ユニットを備える。加熱ユニットおよび冷却ユニットは、被加圧物を保持した上加圧ユニットに対して移動可能に構成されていて、加圧処理の進行状況に応じて、適宜切り替えられる。そのため、下加圧ユニットによる加熱と冷却の切り替え時間が短縮されて、処理時間も短縮される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００７－８９６号公報
特開２０１７－１９９８１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１，２に開示された加圧装置では、被加圧物に対する各処理（加熱・加圧・冷却）が実行されている間、被加圧物は、上加圧ユニットと下加圧ユニットとに挟持されている。そのため、各処理が開始されてから終了するまでの間、同加圧装置は処理中の被加圧物のみに対応する専用機となる。その結果、加圧処理中は、次の加圧処理用の被加圧物は加圧装置にセットできない。すなわち、加圧処理と次の加圧処理との間に長い時間が必要となる。
【０００６】
ここで、加圧処理の前処理として被加圧物に予備加熱処理を実行することにより、処理時間の短縮が見込まれる。また、加圧処理から冷却処理を分離して、加圧処理の後処理として被加圧物に冷却処理を実行することによっても、処理時間の短縮が見込まれる。このように、加圧処理に関連する処理（以下「関連処理」という。）が加圧装置で実行可能となることにより、加圧装置における処理時間が短縮されると共に、加圧処理間の時間も短縮可能となる。しかしながら、同加圧装置において、関連処理の実行は容易ではない。また、仮に、関連処理が実行できたとしても、同加圧装置では被加圧物は加圧処理中のみ密封されるため、関連処理中の被加圧物は大気に曝されてしまい、被加圧物が酸化し得る。そのため、関連処理用のチャンバ、および、同チャンバ内を満たす大量の不活性ガス（例えば、窒素ガス）が必要となる。
【０００７】
本発明は、加圧処理間の時間が短縮可能で、加圧処理の関連処理が実行可能な加圧システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一実施態様における加圧システムは、ワークの加圧処理と、前記加圧処理に関連する関連処理と、を実行する加圧システムであって、前記加圧処理と前記関連処理とを含む複数の処理のうち、いずれか１つの前記処理が実行される複数の実行エリアと、前記ワークを収容して、複数の前記実行エリア間を搬送されるチャンバユニットと、を有してなり、複数の前記実行エリアは、前記処理が実行される順番に従って配置されて、前記チャンバユニットは、前記ワークの上方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを上方から加圧する上加圧ユニットとして機能する天井部と、前記ワークの下方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを下方から加圧する下加圧ユニットとして機能する床部と、水平方向において、前記ワークの全周を囲むように配置されて、前記天井部と前記床部と共に前記ワークが収容される収容室を区画する周壁部と、を備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、加圧処理間の時間が短縮可能で、加圧処理の関連処理が実行可能な加圧システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明に係る加圧システムの実施の形態を示す模式斜視図である。
図１の加圧システムの機能ブロック図である。
図１の加圧システムが備える各実行エリアに配置されている各装置の主要な構成を示す模式断面図である。
図１の加圧システムの模式平面図である。
図１の加圧システムが備えるチャンバユニットの模式平面図である。
図１の加圧システムの動作の一例を示すフローチャートである。
図１の加圧システムが備える載置台が、同加圧システムが備える収容装置に搬入された状態を示す模式断面図である。
図７の載置台が、図５のチャンバユニットが備える上側ユニットに当接した状態を示す模式断面図である。
ワークが図５のチャンバユニットに収容された状態を示す模式断面図である。
予備加熱処理が実行される実行エリアに図５のチャンバユニットが搬送された状態を示す模式断面図である。
予備加熱処理が実行されている図５のチャンバユニットを示す模式断面図である。
加圧処理が実行される実行エリアに図５のチャンバユニットが搬送された状態を示す模式断面図である。
加圧処理が実行されている図５のチャンバユニットを示す模式断面図である。
一次冷却処理が実行される実行エリアに図５のチャンバユニットが搬送された状態を示す模式断面図である。
一次冷却処理が実行されている図５のチャンバユニットを示す模式断面図である。
二次冷却処理が実行される実行エリアに図５のチャンバユニットが搬送された状態を示す模式断面図である。
二次冷却処理の終了後の図５のチャンバユニットを示す模式断面図である。
図８の載置台が図８の上側ユニットから取り外された状態を示す模式断面図である。
メンテナンス処理が実行可能な実行エリアに図１８の上側ユニットが搬送された状態を示す模式断面図である。
複数の図５のチャンバユニットの位置を時系列順に示す模式平面図であり、（ａ）は時刻「Ｔ１」における位置を示していて、（ｂ）は時刻「Ｔ２」における位置を示していて、（ｃ）は時刻「Ｔ３」における位置を示していて、（ｄ）は時刻「Ｔ４」における位置を示していて、（ｅ）は時刻「Ｔ５」における位置を示していて、（ｆ）は時刻「Ｔ６」における位置を示している。
第１変形例におけるチャンバユニットの模式断面図である。
（ａ）は第２変形例に係る加圧システムの模式平面図であり、（ｂ）は第３変形例に係る加圧システムの模式平面図であり、（ｃ）は第４変形例に係る加圧システムの模式平面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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