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公開番号2025062186
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-14
出願番号2023171078
出願日2023-10-02
発明の名称気化器および気化システム
出願人株式会社堀場エステック
代理人弁理士法人佐野特許事務所
主分類F17C 9/02 20060101AFI20250407BHJP(ガスまたは液体の貯蔵または分配)
要約【課題】気泡発生によるタンク内の圧力変動を抑えることができる気化器および気化システムを提供する。
【解決手段】液体材料を気化する気化器は、液体材料を収容するタンクと、タンクを加熱して液体材料を加熱するヒータと、タンク内に配置され、ヒータによる液体材料の加熱によって発生した気泡を分割して通過させる多孔質構造体と、を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
液体材料を気化する気化器であって、
前記液体材料を収容するタンクと、
前記タンクを加熱して前記液体材料を加熱するヒータと、
前記タンク内に配置され、前記ヒータによる前記液体材料の加熱によって発生した気泡を分割して通過させる多孔質構造体と、を備える、気化器。
続きを表示（約 590 文字）【請求項２】
前記多孔質構造体は、前記ヒータと離れて位置する、請求項１に記載の気化器。
【請求項３】
前記タンクは、前記ヒータが配置される底板部を有し、
前記多孔質構造体は、前記底板部を覆うように配置される、請求項１または２に記載の気化器。
【請求項４】
前記多孔質構造体は、平板に複数の孔を設けた多孔質プレートである、請求項１から３のいずれかに記載の気化器。
【請求項５】
前記ヒータは、前記底板部に埋め込まれており、
前記底板部は、前記タンク内の前記液体材料と接触し、前記ヒータによって加熱される加熱面を有し、
前記加熱面は、前記ヒータの上方に溝を有する、
請求項３に記載の気化器。
【請求項６】
前記タンク内の前記液体材料の液面を検知する液面検知センサと、
前記ヒータと前記液面検知センサとの間に配置されて、前記液体材料の温度を検知する温度センサと、をさらに備え、
前記多孔質構造体は、前記液面検知センサと前記温度センサとの間に配置される、請求項１から５のいずれかに記載の気化器。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の気化器と、
前記気化器で気化された前記液体材料のガスの流量を制御する流量制御装置と、を有する気化システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、気化器および気化システムに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来のベーキングタイプの気化器は、液体材料を収容したタンクをヒータによって加熱することにより、液体材料を気化させてガスを発生させる。このようなベーキングタイプの気化器は、例えば特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０２０／１９５３４９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ベーキングタイプの気化器において、タンクを加熱すると、タンク内の液体材料が沸騰して気泡が発生する。気泡が発生すると、タンク内の圧力が変動する。この圧力変動は、タンクの二次側に配置される流量制御装置（マスフローコントローラとも呼ばれる）の出力流量に影響を与えることがある。例えば、タンク内の圧力が変動すると、上記流量の安定性が損なわれることがある。特に、小型でコンパクトな気化器では、タンクも小型であるため、気泡の発生によってタンク内の圧力が変動しやすくなり、上記流量の安定性が損なわれやすくなる。
【０００５】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、気泡発生によるタンク内の圧力変動を抑えることができる気化器および気化システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面に係る気化器は、液体材料を気化する気化器であって、前記液体材料を収容するタンクと、前記タンクを加熱して前記液体材料を加熱するヒータと、前記タンク内に配置され、前記ヒータによる前記液体材料の加熱によって発生した気泡を分割して通過させる多孔質構造体と、を備える。
【０００７】
本発明の他の側面に係る気化システムは、上記の気化器と、前記気化器で気化された前記液体材料のガスの流量を制御する流量制御装置と、を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、気泡発生によるタンク内の圧力変動を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の実施の一形態に係る気化システムの概略の構成を模式的に示す斜視図である。
上記気化システムが有する気化器の構成を模式的に示す斜視図である。
上記気化器の構成を模式的に示す断面図である。
上記気化器に設けられる多孔質構造体を、タンク内に配置する前後で示す平面図である。
他の多孔質構造体を、タンク内に配置する前後で示す平面図である。
上記気化器の他の構成を模式的に示す断面図である。
上記タンクの底板部の変形例を模式的に示す斜視図である。
上記気化器のさらに他の構成を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の例示的な実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、各図面では、説明の便宜上、気化システムの上下方向をＺ方向とし、Ｚ方向に垂直な２方向であって、互いに垂直な２方向をそれぞれＸ方向およびＹ方向とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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