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公開番号2025060839
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-10
出願番号2024228588,2023124026
出願日2024-12-25,2013-07-16
発明の名称表示装置
出願人株式会社半導体エネルギー研究所
代理人
主分類G02F 1/1368 20060101AFI20250403BHJP(光学)
要約【課題】有機絶縁膜からの放出ガスによって、トランジスタの特性が変動することを抑制
し、表示装置の信頼性を向上させる。
【解決手段】トランジスタと、該トランジスタ起因の凹凸を低減するために、トランジス
タ上に設けられる有機絶縁膜と、有機絶縁膜上の容量素子と、を有する。容量素子の構成
要素(透明導電層及び無機絶縁膜)によって、有機絶縁膜全面が覆われることがなく、有
機絶縁膜からの放出ガスが露出した有機絶縁膜の上面の一部から外部へと抜けることが可
能である構成とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
トランジスタと、
前記トランジスタを覆う第１の無機絶縁膜と、
前記第１の無機絶縁膜上の有機絶縁膜と、
前記有機絶縁膜上の第１の透明導電層と、
前記第１の透明導電層上の第２の無機絶縁膜と、
前記第２の無機絶縁膜を介して少なくとも前記第１の透明導電層上に設けられ、前記有機絶縁膜及び前記第１の無機絶縁膜に形成された開口において、前記トランジスタのソース電極層またはドレイン電極層と電気的に接続する第２の透明導電層と、
前記第２の透明導電層上の、液晶層と、を含む画素部を有し、
前記画素部において、前記第２の無機絶縁膜は、前記有機絶縁膜と重畳する領域に端部を有する表示装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の一態様は、表示装置及び表示装置の作製方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置や、エレクトロルミネセンス（ＥｌｅｃｔｒｏＬｕｍｉｎｅｓｓｅｎｃｅ
：ＥＬともいう）を利用した発光表示装置に代表されるフラットパネルディスプレイ等の
表示装置の多くに用いられているトランジスタは、ガラス基板上に形成された非晶質シリ
コン、単結晶シリコンまたは多結晶シリコンなどの半導体を含んで構成されている。
【０００３】
上記シリコン半導体に代わって、半導体特性を示す酸化物（以下酸化物半導体と呼ぶこと
にする）をトランジスタに用いる技術が注目されている。
【０００４】
例えば、酸化物半導体として、Ｉｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物を用いてトランジスタを作製し、
該トランジスタを表示装置の画素のスイッチング素子などに用いる技術が開示されている
（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００７－１２３８６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、酸化物半導体をチャネル形成領域に用いたトランジスタは、酸化物半導体に水
素、水分等の不純物が入ることによってキャリアが生成され、トランジスタの電気特性が
変動する。
【０００７】
そのため、表示装置内のトランジスタは、トランジスタ上に形成された有機絶縁膜から、
トランジスタの半導体層に水素、水分等の意図しない不純物が入り込んだ場合、半導体層
内のキャリア密度が増加することによってトランジスタの特性が変動する。
【０００８】
また、トランジスタの特性が変動することによって、表示装置の表示品位が低下し、信頼
性が低下するという問題がある。
【０００９】
そこで、本発明の一態様は、表示装置に用いられるトランジスタの電気特性の変動を抑制
し、信頼性を向上させることを課題の一とする。また、トランジスタが用いられる表示装
置の表示品位の低下を抑制し、信頼性を向上させることを課題の一とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
トランジスタと、該トランジスタ起因の凹凸を低減するために、トランジスタ上に設けら
れる有機絶縁膜と、有機絶縁膜上の容量素子と、を有する。容量素子の構成要素（透明導
電層及び無機絶縁膜）によって、有機絶縁膜全面が覆われない構成とすることで、有機絶
縁膜から放出されるガス（放出ガスともいう）が上方から該有機絶縁膜の外部へと抜ける
ことが可能である構成とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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