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公開番号2025059124
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-10
出願番号2023168938
出願日2023-09-29
発明の名称光反射装置
出願人ビアメカニクス株式会社
代理人
主分類G02B 26/08 20060101AFI20250403BHJP(光学)
要約【課題】反射面の平坦度悪化を低減した光反射装置を提供する。
【解決手段】入射された光を反射させる反射面と該反射面に対向し複数の取付穴が設けられた裏面とを備える反射部材と、前記複数の取付穴の各々にねじ係合される接続部材と、前記接続部材を介して反射部材に伸縮力を伝達する圧電素子と、を備え、前記圧電素子を伸縮させることにより前記反射部材を傾斜させる光反射装置において、前記反射部材の側面における前記複数の取付穴に対応する各々の位置において、前記反射部材の平面視において各々の取付穴を含む形状の空間部が設けられている。
【選択図】図5

特許請求の範囲【請求項１】
入射された光を反射させる反射面と該反射面に対向し複数の取付穴が設けられた裏面とを備える反射部材と、
前記複数の取付穴の各々にねじ係合される接続部材と、
前記接続部材を介して反射部材に伸縮力を伝達する圧電素子と、を備え、
前記圧電素子を伸縮させることにより前記反射部材を傾斜させる光反射装置において、
前記反射部材の側面における前記複数の取付穴に対応する各々の位置において、前記反射部材の平面視において各々の取付穴を含む形状の空間部が設けられている
ことを特徴とする光反射装置。
続きを表示（約 190 文字）【請求項２】
前記空間部の各々が相互に連通しないように設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の光反射装置。
【請求項３】
前記圧電素子の各々を駆動することにより、前記反射部材に入射した光が任意の位置に反射するように前記反射部材を傾斜させるよう制御する反射装置制御部を備える
ことを特徴とする請求項１または２に記載の光反射装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばレーザ加工装置において被加工物上の任意の位置にレーザを照射するためにレーザ発振器から出射されたレーザを反射するために用いられる、光反射装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来の光反射装置として、例えば特許文献１の図４等に示されるように、レーザ光を反射するための一枚のミラー（反射部材）を、その裏面に接続した複数の相互に離間する圧電素子を用いて駆動する構成のものが知られている。このような光反射装置は、圧電素子に印加する電圧を制御して、各圧電素子をそれぞれ伸縮することにより反射部材を任意の角度に傾斜させて、入射されたレーザを任意の位置方向へ反射させる。
【０００３】
ここで従来のこの種の光反射装置においては、図１に示すように、反射部材１０１の反射面１０２に対向する裏面１０６に設けた複数のねじ穴（取付穴）１０３にボルト１０４をねじ止め固定し、このボルト１０４と圧電素子１０５とを接着剤等で固定し、装置の台座１０７で保持する構成のものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平０８－３２０４４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、取付穴１０３へボルト１０４をねじ止め固定すると、ボルト１０４の軸力により取付穴１０３周辺に歪みが生じ、反射面１０２の平坦度が悪化するという問題があった。なお、反射面１０２の歪み量は図２に示すように、歪みの発生元となる取付穴１０３の近傍が大きくなっている。近年、光反射装置の駆動速度のさらなる高速化のために反射部材の軽量化が要請されており、反射部材を軽量化すべくその薄型化が検討されているが、反射部材を薄くすると反射面の歪みがより大きく表れることもあり、これを低減することが求められている。なお、反射面の歪みを低減させるためにボルトの締付トルクを弱くすることが考えられるが、締付トルクを弱めると高速駆動を繰り返すうちにボルトが外れやすくなる可能性があるため妥当ではない。
【０００６】
そこで本発明は、上記従来の課題を解決し、反射面の平坦度の悪化を低減させた光反射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記従来の課題を解決するために、本発明は、入射された光を反射させる反射面と該反射面に対向し複数の取付穴が設けられた裏面とを備える反射部材と、前記複数の取付穴の各々にねじ係合される接続部材と、前記接続部材を介して反射部材に伸縮力を伝達する圧電素子と、を備え、前記圧電素子を伸縮させることにより前記反射部材を傾斜させる光反射装置において、前記反射部材の側面における前記複数の取付穴に対応する各々の位置において、前記反射部材の平面視において各々の取付穴を含む形状の空間部が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、反射面の平坦度の悪化を低減させた光反射装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
従来の光反射装置の反射部材と圧電素子との接続構成を説明するための図である。
反射面に生じる歪み量の分布を説明する図である。
本発明の一実施例となる、光反射装置の概略平面図である。
図３におけるＡ-Ａ断面図である。
本発明の一実施例における、光反射部材を説明する図である。
本発明の一実施例における、切欠部の変形例を説明する図である。
本発明の一実施例における、光反射装置の制御系の概略ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の代表的な実施形態について図を用いて説明する。図３は本発明の一実施例となる、光反射装置の概略平面図、図４は図３におけるＡ-Ａ断面図、図５は本発明の一実施例となる、光反射部材を説明する図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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