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公開番号
2025056645
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2025-04-08
出願番号
2023166244
出願日
2023-09-27
発明の名称
超純水製造装置
出願人
野村マイクロ・サイエンス株式会社
代理人
弁理士法人太陽国際特許事務所
主分類
C02F
1/44 20230101AFI20250401BHJP(水,廃水,下水または汚泥の処理)
要約
【課題】超純水製造に使用される原水における上水の割合を少なくする。
【解決手段】超純水製造方法は、上水を含む原水の懸濁物質を除去して前処理水を得る前処理と、前処理水中の全有機炭素成分やイオン成分を除去して1次純水を製造する1次処理と、1次純水中の不純物を除去して超純水を製造する2次処理と、を有し、下水処理水を含む第2原水を、1次処理よりも上流側における原水又は前処理水に合流させる。
【選択図】図1
特許請求の範囲
【請求項1】
上水を含む原水の懸濁物質を除去して前処理水を得る前処理と、
前記前処理水中の全有機炭素成分やイオン成分を除去して1次純水を製造する1次処理と、
前記1次純水中の不純物を除去して超純水を製造する2次処理と、を有し、
下水処理水を含む第2原水を、前記1次処理よりも上流側における前記原水又は前記前処理水に合流させる超純水製造方法。
続きを表示(約 740 文字)
【請求項2】
前記原水又は前記前処理水に合流させる前記第2原水の量は、前記原水又は前記前処理水における尿素濃度と前記第2原水の尿素濃度の加重平均が、前記超純水に求められる尿素濃度より求められる許容値以下となるように設定される、請求項1に記載の超純水製造方法。
【請求項3】
前記第2原水の尿素濃度が前記超純水に求められる尿素濃度より求められる許容値を超える場合に、前記第2原水を尿素分解装置に通すことを特徴とする、請求項1又は請求項
2に記載の超純水製造方法。
【請求項4】
上水を含む原水の懸濁物質を除去して前処理水を得る前処理部と、
前記前処理水中の全有機炭素成分やイオン成分を除去して1次純水を製造する1次処理部と、
前記1次純水中の不純物を除去して超純水を製造する2次処理部と、
下水処理場水を含む第2原水の尿素濃度を測定する尿素計と、を有し、
前記第2原水を、前記1次処理部よりも上流側における前記原水又は前記前処理水に合流させる超純水製造装置。
【請求項5】
前記第2原水中の尿素を分解する尿素分解装置を備え、尿素濃度が前記超純水に求められる尿素濃度より求められる許容値を超える場合に前記第2原水を前記尿素分解装置に通し尿素濃度を下げる尿素分解部をさらに有する、請求項4に記載の超純水製造装置。
【請求項6】
前記原水又は前記前処理水に合流させる前記第2原水の量は、前記原水又は前記前処理水における尿素濃度と前記第2原水の尿素濃度の加重平均が、前記超純水に求められる尿素濃度より求められる許容値以下となるように設定される、請求項4に記載の超純水製造装置。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、超純水製造装置に関する。
続きを表示(約 1,600 文字)
【背景技術】
【0002】
半導体等製造設備に対して超純水を供給する超純水製造装置において、原水として上水と、半導体等製造で使用した超純水の排水(回収水という場合もある。)とを利用する技術が開示されている(特許文献1-7参照)。
一般的に回収水は、元は超純水であり、これに、半導体製造の際に利用される物質、例えば、酸、アルカリ、IPA(イソプロピルアルコール)、界面活性剤、CMP研磨剤などが混合したものである。したがって、比較的成分が明らかであり、これを処理して、原水と混合して利用することは比較的容易である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開平6-233997号公報
特開平7-313994号公報
特開平10-272465号公報
特開平11-226569号公報
特開2000-189760号公報
特開2006-61779号公報
特開2013-202587号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、半導体等製造には多くの超純水が使用されるため、超純水の製造に使用される上水の量も多くなっている。上水の供給量には限りがあるため、他の用途で上水が不足しないよう、超純水製造において上水の使用量を少なくするための対策が求められている。また、上記回収水の利用も限界があるため、原水の利用を減らす効果はあるものの、現在の半導体等製造工場の大型化へ十分に対応できるわけではない。
また、現在の環境問題や気候変動問題が生じてきたことにより、上水の供給も不安定な傾向となりつつあり、新たな原水を確保する必要が生じてきた。
【0005】
一般的に、下水、もしくは下水処理水は上水に比べると水質が悪く、特に、尿素等の難分解性の物質を含み、それ以外の物質も多量にかつ多種類含んでいる。尿素に代表される難分解性物質は、除去装置が大掛かりなものになりがちで実用化が困難であり、かつ、少量であっても、純水装置の末端まで到達してしまう恐れがある。また、水質の変動幅も大きく、水量も安定でない。したがって、下水、もしくは下水処理水を半導体等製造用の超純水の原水として利用することは、一般的ではなかった。
【0006】
本発明は、超純水製造に使用される原水における上水の割合を少なくすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
第1の態様に係る超純水製造方法は、上水を含む原水の懸濁物質を除去して前処理水を得る前処理と、前記前処理水中の全有機炭素成分やイオン成分を除去して1次純水を製造する1次処理と、前記1次純水中の不純物を除去して超純水を製造する2次処理と、を有し、下水処理水を含む第2原水を、前記1次処理よりも上流側における前記原水又は前記前処理水に合流させる。
【0008】
この超純水製造方法では、上水を用いた原水に加えて、下水処理場からの排水を含む第2原水を用いて超純水を製造するので、超純水製造に使用される原水における上水の割合を少なくすることができる。
【0009】
第2の態様は、第1の態様に係る超純水製造方法において、前記原水又は前記前処理水に合流させる前記第2原水の量は、前記原水又は前記前処理水における尿素濃度と前記第2原水の尿素濃度の加重平均が、前記超純水に求められる尿素濃度より求められる尿素濃度以下となるように設定される。
【0010】
この超純水製造方法では、原水に合流させる第2原水の量を、超純水に求められる尿素濃度より求められる尿素濃度に応じて設定するので、超純水における尿素濃度を基準以下に抑制できる。
(【0011】以降は省略されています)
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