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公開番号2025056645
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-08
出願番号2023166244
出願日2023-09-27
発明の名称超純水製造装置
出願人野村マイクロ・サイエンス株式会社
代理人弁理士法人太陽国際特許事務所
主分類C02F 1/44 20230101AFI20250401BHJP(水,廃水,下水または汚泥の処理)
要約【課題】超純水製造に使用される原水における上水の割合を少なくする。
【解決手段】超純水製造方法は、上水を含む原水の懸濁物質を除去して前処理水を得る前処理と、前処理水中の全有機炭素成分やイオン成分を除去して1次純水を製造する1次処理と、1次純水中の不純物を除去して超純水を製造する2次処理と、を有し、下水処理水を含む第2原水を、1次処理よりも上流側における原水又は前処理水に合流させる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
上水を含む原水の懸濁物質を除去して前処理水を得る前処理と、
前記前処理水中の全有機炭素成分やイオン成分を除去して１次純水を製造する１次処理と、
前記１次純水中の不純物を除去して超純水を製造する２次処理と、を有し、
下水処理水を含む第２原水を、前記１次処理よりも上流側における前記原水又は前記前処理水に合流させる超純水製造方法。
続きを表示（約 740 文字）【請求項２】
前記原水又は前記前処理水に合流させる前記第２原水の量は、前記原水又は前記前処理水における尿素濃度と前記第２原水の尿素濃度の加重平均が、前記超純水に求められる尿素濃度より求められる許容値以下となるように設定される、請求項１に記載の超純水製造方法。
【請求項３】
前記第２原水の尿素濃度が前記超純水に求められる尿素濃度より求められる許容値を超える場合に、前記第２原水を尿素分解装置に通すことを特徴とする、請求項１又は請求項
２に記載の超純水製造方法。
【請求項４】
上水を含む原水の懸濁物質を除去して前処理水を得る前処理部と、
前記前処理水中の全有機炭素成分やイオン成分を除去して１次純水を製造する１次処理部と、
前記１次純水中の不純物を除去して超純水を製造する２次処理部と、
下水処理場水を含む第２原水の尿素濃度を測定する尿素計と、を有し、
前記第２原水を、前記１次処理部よりも上流側における前記原水又は前記前処理水に合流させる超純水製造装置。
【請求項５】
前記第２原水中の尿素を分解する尿素分解装置を備え、尿素濃度が前記超純水に求められる尿素濃度より求められる許容値を超える場合に前記第２原水を前記尿素分解装置に通し尿素濃度を下げる尿素分解部をさらに有する、請求項４に記載の超純水製造装置。
【請求項６】
前記原水又は前記前処理水に合流させる前記第２原水の量は、前記原水又は前記前処理水における尿素濃度と前記第２原水の尿素濃度の加重平均が、前記超純水に求められる尿素濃度より求められる許容値以下となるように設定される、請求項４に記載の超純水製造装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、超純水製造装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体等製造設備に対して超純水を供給する超純水製造装置において、原水として上水と、半導体等製造で使用した超純水の排水（回収水という場合もある。）とを利用する技術が開示されている（特許文献１－７参照）。
一般的に回収水は、元は超純水であり、これに、半導体製造の際に利用される物質、例えば、酸、アルカリ、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）、界面活性剤、ＣＭＰ研磨剤などが混合したものである。したがって、比較的成分が明らかであり、これを処理して、原水と混合して利用することは比較的容易である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平６－２３３９９７号公報
特開平７－３１３９９４号公報
特開平１０－２７２４６５号公報
特開平１１－２２６５６９号公報
特開２０００－１８９７６０号公報
特開２００６－６１７７９号公報
特開２０１３－２０２５８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、半導体等製造には多くの超純水が使用されるため、超純水の製造に使用される上水の量も多くなっている。上水の供給量には限りがあるため、他の用途で上水が不足しないよう、超純水製造において上水の使用量を少なくするための対策が求められている。また、上記回収水の利用も限界があるため、原水の利用を減らす効果はあるものの、現在の半導体等製造工場の大型化へ十分に対応できるわけではない。
また、現在の環境問題や気候変動問題が生じてきたことにより、上水の供給も不安定な傾向となりつつあり、新たな原水を確保する必要が生じてきた。
【０００５】
一般的に、下水、もしくは下水処理水は上水に比べると水質が悪く、特に、尿素等の難分解性の物質を含み、それ以外の物質も多量にかつ多種類含んでいる。尿素に代表される難分解性物質は、除去装置が大掛かりなものになりがちで実用化が困難であり、かつ、少量であっても、純水装置の末端まで到達してしまう恐れがある。また、水質の変動幅も大きく、水量も安定でない。したがって、下水、もしくは下水処理水を半導体等製造用の超純水の原水として利用することは、一般的ではなかった。
【０００６】
本発明は、超純水製造に使用される原水における上水の割合を少なくすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の態様に係る超純水製造方法は、上水を含む原水の懸濁物質を除去して前処理水を得る前処理と、前記前処理水中の全有機炭素成分やイオン成分を除去して１次純水を製造する１次処理と、前記１次純水中の不純物を除去して超純水を製造する２次処理と、を有し、下水処理水を含む第２原水を、前記１次処理よりも上流側における前記原水又は前記前処理水に合流させる。
【０００８】
この超純水製造方法では、上水を用いた原水に加えて、下水処理場からの排水を含む第２原水を用いて超純水を製造するので、超純水製造に使用される原水における上水の割合を少なくすることができる。
【０００９】
第２の態様は、第１の態様に係る超純水製造方法において、前記原水又は前記前処理水に合流させる前記第２原水の量は、前記原水又は前記前処理水における尿素濃度と前記第２原水の尿素濃度の加重平均が、前記超純水に求められる尿素濃度より求められる尿素濃度以下となるように設定される。
【００１０】
この超純水製造方法では、原水に合流させる第２原水の量を、超純水に求められる尿素濃度より求められる尿素濃度に応じて設定するので、超純水における尿素濃度を基準以下に抑制できる。
（【００１１】以降は省略されています）

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