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公開番号2025062669
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-15
出願番号2023171840
出願日2023-10-03
発明の名称アミン廃液の濃縮方法
出願人イビデン株式会社
代理人弁理士法人銀座マロニエ特許事務所
主分類C02F 1/04 20230101AFI20250408BHJP(水,廃水,下水または汚泥の処理)
要約【課題】大掛かりな設備が不要で処理コストもかからないアミン廃液の濃縮方法を提案する。
【解決手段】原水槽に濃縮すべきアミン廃液を貯留し、貯留したアミン廃液を回転ディスク型乾燥装置で乾燥して、アミン廃液中の水分を蒸発させるとともにアミン廃液中の不揮発成分を回収し、回収した不揮発成分を原水槽へ戻し、アミン廃液を原水槽と回転ディスク型乾燥装置との間で循環させる。アミン廃液の濃縮に、回転ディスク型乾燥装置を使用すること、および、アミン廃液を循環させて濃縮すること、により本発明のアミン廃液の濃縮方法を得ることができる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
原水槽に濃縮すべきアミン廃液を貯留し、
貯留したアミン廃液を回転ディスク型乾燥装置で乾燥して、アミン廃液中の水分を蒸発させるとともにアミン廃液中の不揮発成分を回収し、
回収した不揮発成分を原水槽へ戻し、
アミン廃液を原水槽と回転ディスク型乾燥装置との間で循環させる、
ことを特徴とするアミン廃液の濃縮方法。
続きを表示（約 330 文字）【請求項２】
請求項１に記載のアミン廃液の濃縮方法であって、
前記回転ディスク型乾燥装置のディスクの温度を１２０～１３０℃とする、
ことを特徴とするアミン廃液の濃縮方法。
【請求項３】
請求項１に記載のアミン廃液の濃縮方法であって、
前記回転ディスク型乾燥装置のディスクの回転数を１０～２０ｒｐｍとする、
ことを特徴とするアミン廃液の濃縮方法。
【請求項４】
請求項１に記載のアミン廃液の濃縮方法であって、
前記アミン廃液を前記回転ディスク型乾燥装置のディスクに供給する際、前記アミン廃液の循環流量を１３～４５Ｌ／ｍｉｎとする、
ことを特徴とするアミン廃液の濃縮方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体の洗浄などにより排出されるアミン廃液を濃縮するためのアミン廃液の濃縮方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体の洗浄などによりアミン廃液が排出される。アミン廃液の処理方法として、従来、アミン廃液を生物処理により処理することが行われている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０００－５１８９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された生物処理による廃液処理方法では、大量のアミン廃液を処理するためには、処理設備の規模を大きくする必要があり、大掛かりな設備が必要になるとともに処理コストもかかる問題があった。アミン廃液を処理する手法として、廃棄物処理専門業者により回収され、焼却などの方法で処理されることが一般的である。近年では廃液の排出元で濃縮・減容化することで効率的に廃棄物処理専門業者が回収できるようにすることが求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るアミン廃液の濃縮方法は、原水槽に濃縮すべきアミン廃液を貯留し、貯留したアミン廃液を回転ディスク型乾燥装置で乾燥して、アミン廃液中の水分を蒸発させるとともにアミン廃液中の不揮発成分を回収し、回収した不揮発成分を原水槽へ戻し、アミン廃液を原水槽と回転ディスク型乾燥装置との間で循環させる、ことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
本発明に係るアミン廃液の濃縮方法の一実施形態を説明するためのフローチャートである。
本発明に係るアミン廃液の濃縮方法で用いる濃縮装置の一実施形態を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
＜本発明に係るアミン廃液の濃縮方法について＞
本発明のアミン廃液の濃縮方法の一実施形態が、図面を参照して説明される。なお、図１～図２に示す例において、各部材の寸法、特に高さ方向の寸法については、本発明の特徴をより良く理解できるようにするために、実際の寸法とは異なる寸法で記載している。
【０００８】
図１は、本発明に係るアミン廃液の濃縮方法の一実施形態を説明するためのフローチャートである。図１に従って本発明に係るアミン廃液の濃縮方法の一実施形態を説明すると、まず、濃縮前のアミン廃液を原水槽１に貯留する。原水槽１の重量は重量測定装置２で常時測定され、目標の濃縮倍率に達したかどうかを監視する。目標の濃縮倍率に達したかどうかは、例えば目標の濃縮倍率が２倍の場合、原水槽１中のアミン廃液の量（重量）が１／２となったとき２倍に濃縮されたと判断する。
【０００９】
次に、原水槽１に貯留した濃縮すべきアミン廃液を、回転ディスク型乾燥装置（ＣＤドライヤー）３で乾燥する。乾燥は、回転ディスク型乾燥装置３のディスクに蒸気を供給して加熱することで行っている。この乾燥により、アミン廃液中の水分を蒸発させるとともにアミン廃液中の不揮発成分を回収する。そして、回収された不揮発成分は原水槽１に戻される。以上の工程で、アミン廃液を、原水槽１と回転ディスク型乾燥装置３との間で循環させる。
【００１０】
このようにしてアミン廃液を循環させると、アミン廃液の不揮発成分を原水槽１に戻したとしても、回転ディスク型乾燥装置３での乾燥により水分は蒸発するため、原水槽１中のアミン濃縮液の量は徐々に少なくなる。その変化を重量測定装置２が常時測定し、原水槽１中のアミン廃液の量が所定の濃縮倍率に達したとき、アミン廃液の濃縮が完了したと判断して、アミン廃液の回転ディスク型乾燥装置３での乾燥を中断する。
（【００１１】以降は省略されています）

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