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公開番号2025043334
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-28
出願番号2024159178
出願日2024-09-13
発明の名称接着性積層フィルム、及び、接着性積層フィルムの製造方法
出願人積水化学工業株式会社
代理人弁理士法人WisePlus
主分類C09J 7/30 20180101AFI20250321BHJP(染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用)
要約【課題】耐熱性に優れ、高温環境下における剥がれを抑制することができる接着性積層フィルムを提供する。また、耐熱性に優れ、高温環境下における剥がれを抑制することができる接着性積層フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】基材層、及び、該基材層の両面に少なくとも1層以上の接着層を有する接着性積層フィルムであって、前記接着性積層フィルムは、10%重量減少温度が425℃以上であり、かつ、前記接着性積層フィルムは、23℃、50%RHの条件下に1日間静置した場合の吸水率が0.60%以下である接着性積層フィルムである。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
基材層、及び、該基材層の両面に少なくとも１層以上の接着層を有する接着性積層フィルムであって、
前記接着性積層フィルムは、１０％重量減少温度が４２５℃以上であり、かつ、
２３℃、５０％ＲＨの条件下で１日間静置した場合の吸水率が０．６０％以下である
ことを特徴とする接着性積層フィルム。
続きを表示（約 670 文字）【請求項２】
前記接着層は、硬化性樹脂を含有し、前記硬化性樹脂が、イミド結合を有する化合物を含む請求項１記載の接着性積層フィルム。
【請求項３】
前記接着層が、重合開始剤を含有する請求項１又は２記載の接着性積層フィルム。
【請求項４】
前記重合開始剤が、光重合開始剤を含む請求項３記載の接着性積層フィルム。
【請求項５】
前記接着層の厚みが、１０μｍ以上２００μｍ以下である請求項１又は２記載の接着性積層フィルム。
【請求項６】
前記基材層が、エーテル結合、ケトン基、及び、エステル結合からなる群より選択される少なくとも１種を含む繰り返し単位を主鎖骨格中に有する樹脂（Ａ１）を含有する請求項１又は２記載の接着性積層フィルム。
【請求項７】
前記樹脂（Ａ１）が、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリイミド及びポリアミドからなる群より選択される少なくとも１種の樹脂を含む請求項６記載の接着性積層フィルム。
【請求項８】
前記基材層の厚みが、５０μｍ以下である請求項１又は２記載の接着性積層フィルム。
【請求項９】
前記接着性積層フィルム全体の厚みに対する前記基材層の厚みの割合が、５％以上である請求項１又は２記載の接着性積層フィルム。
【請求項１０】
波長４０５ｎｍの紫外線透過率が１０％以上である請求項４記載の接着性積層フィルム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着性積層フィルムに関する。また、本発明は、接着性積層フィルムの製造方法に関する。
続きを表示（約 3,100 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、電子機器において部品を固定する際、粘着テープや接着性フィルムが用いられている。例えば、携帯電子機器の表面を保護するためのカバーパネルをタッチパネルモジュール又はディスプレイパネルモジュールに接着したり、タッチパネルモジュールとディスプレイパネルモジュールとを接着したりするために粘着テープや接着性フィルムが用いられている。このような電子機器部品の固定に用いられる粘着テープや接着性フィルムは、粘着剤組成物を含有する粘着剤層等を有しており、高い粘着性に加え、使用される部位の環境に応じて、耐熱性、熱伝導性、耐衝撃性等の機能が要求されている（例えば、特許文献１～３）。
【０００３】
また、半導体等の電子部品の加工時においては、電子部品の取扱いを容易にし、破損したりしないようにするために、接着剤組成物からなる仮固定材を介して電子部品を支持板に固定したり、接着層を有する接着性フィルムを電子部品に貼付したりして保護することが行われている。例えば、高純度なシリコン単結晶等から切り出した厚膜ウエハを所定の厚さにまで研削して薄膜ウエハとする場合に、接着剤組成物を介して厚膜ウエハを支持板に接着することが行われる。
【０００４】
このように電子部品に用いる接着剤組成物や接着性フィルムには、加工工程中に電子部品を強固に固定できるだけの高い接着性とともに、工程終了後には電子部品を損傷することなく剥離できることが求められる（以下、「高接着易剥離」ともいう。）。
高接着易剥離の実現手段として、例えば、特許文献４には、ポリマーの側鎖又は主鎖に放射線重合性官能基を有する多官能性モノマー又はオリゴマーが結合された粘着剤を用いた粘着シートが開示されている。放射線重合性官能基を有することで紫外線照射によりポリマーが硬化することを利用して、剥離時に紫外線を照射することにより粘着力が低下して、糊残りなく剥離することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１５－０５２０５０号公報
特開２０１５－０２１０６７号公報
特開２０１５－１２０８７６号公報
特開平５－３２９４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
電子部品の高性能化に伴い、電子部品に加わる電力が大きくなる傾向があり、電子部品が高温環境に曝される時間が増えることがあるため、電子部品の固定に用いられる接着性フィルムには、高温環境下における耐熱性が求められている。
また、電子部品に高性能を付与するために、電子部品に種々の加工を施す工程が行われるようになってきた。例えば、電子部品の表面にスパッタリングにより金属薄膜を形成する工程では、高温に加熱して高温加工を行うことにより、より導電性に優れた金属薄膜を形成することができる。特に近年は、高温加工処理工程が高温かつ長時間化しており、高い耐熱性を有する接着性積層フィルムが求められるようになっている。しかし、従来の接着性フィルムを用いた場合、高温加工処理工程中にボイドやアウトガスが発生し、接着性フィルムが剥離することがあった。
【０００７】
一方、接着性フィルムに耐熱性（耐熱分解性）を付与するために耐熱性が高い基材層フィルム（例えば、ポリイミドフィルム）を用いた場合、高温環境下での接着性フィルムのアウトガスの発生を抑制することは可能となるが、高温環境下において接着性フィルムの層間や接着性フィルムと被着体との接着面において発泡が起こることがある。そのため、接着性フィルムにより固定されている電子部品が高温環境に曝される場合や、接着性フィルムを用いた高温環境下での高温加工処理工程において、接着性フィルムが被着体から剥がれることがあった。
【０００８】
本発明は、耐熱性に優れ、高温環境下における剥がれを抑制することができる接着性積層フィルムを提供することを目的とする。また、本発明は、耐熱性に優れ、高温環境下における剥がれを抑制することができる接着性積層フィルムの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示１は、基材層、及び、該基材層の両面に少なくとも１層以上の接着層を有する接着性積層フィルムであって、上記接着性積層フィルムは、１０％重量減少温度が４２５℃以上であり、かつ、２３℃、５０％ＲＨの条件下で１日間静置した場合の吸水率が０．６０％以下である接着性積層フィルムである。
本開示２は、上記接着層は、硬化性樹脂を含有し、上記硬化性樹脂が、イミド結合を有する化合物を含む本開示１の接着性積層フィルムである。
本開示３は、上記接着層が、重合開始剤を含有する本開示１又は２の接着性積層フィルムである。
本開示４は、上記重合開始剤が、光重合開始剤を含む本開示３の接着性積層フィルムである。
本開示５は、上記接着層の厚みが、１０μｍ以上２００μｍ以下である本開示１、２、３又は４の接着性積層フィルムである。
本開示６は、上記基材層が、エーテル結合、ケトン基、及び、エステル結合からなる群より選択される少なくとも１種を含む繰り返し単位を主鎖骨格中に有する樹脂（Ａ１）を含有する本開示１、２、３、４又は５の接着性積層フィルムである。
本開示７は、上記樹脂（Ａ１）が、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリイミド及びポリアミドからなる群より選択される少なくとも１種の樹脂を含む本開示６の接着性積層フィルムである。
本開示８は、上記基材層の厚みが、５０μｍ以下である本開示１、２、３、４、５、６又は７の接着性積層フィルムである。
本開示９は、上記接着性積層フィルム全体の厚みに対する上記基材層の厚みの割合が、５％以上である本開示１、２、３、４、５、６、７又は８の接着性積層フィルムである。
本開示１０は、波長４０５ｎｍの紫外線透過率が１０％以上である本開示１、２、３、４、５、６、７、８又は９の接着性積層フィルムである。
本開示１１は、上記接着性積層フィルム全体の厚みが、５０μｍ以上３００μｍ以下である本開示１、２、３、４、５、６、７、８、９又は１０の接着性積層フィルムである。
本開示１２は、電子部品の仮固定に用いる本開示１、２、３、４、５、６，７、８、９、１０又は１１の接着性積層フィルムである。
本開示１３は、基材層、及び、該基材層の両面に少なくとも１層以上の接着層を有する接着性積層フィルムで、上記接着性積層フィルムの１０％重量減少温度が４２５℃以上である、接着性積層フィルムの製造方法であって、上記基材層を乾燥する工程を含む、接着性積層フィルムの製造方法である。
以下に本発明を詳述する。
【００１０】
本発明者らは、基材層、及び、該基材層の両面に接着層を有する接着性積層フィルムについて、接着性積層フィルムの１０％重量減少温度及び吸水率を調整することを検討した。その結果、耐熱性に優れ、高温環境下における剥がれを抑制することができる接着性積層フィルムを得ることができることを見出し、本発明を完成させるに至った。
（【００１１】以降は省略されています）

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