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公開番号2025039831
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-21
出願番号2025005170,2022137477
出願日2025-01-15,2022-08-31
発明の名称位置検出装置及び位置検出方法
出願人レーザーテック株式会社
代理人個人
主分類G03F 7/20 20060101AFI20250313BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】ターゲットにおけるプラズマの位置を検出することができる位置検出装置及び位置検出方法を提供する。
【解決手段】本開示に係る位置検出装置1は、ターゲット12に対してレーザ光L1を集光レンズ31で集光させることにより発生させたプラズマ27からEUV光E1ともに生成された可視光V1を集光する可視光光学系30と、可視光光学系30で集光された可視光V1を検出する位置検出センサ40と、位置検出センサ40で検出された可視光V1のスポットの変化からターゲット12におけるプラズマ27の位置の変化を検出する位置検出処理部50と、を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ターゲットに対してレーザ光を集光レンズで集光させることにより発生させたプラズマからＥＵＶ光光学系で集光されるＥＵＶ光とともに生成された可視光を前記集光レンズで集光する可視光光学系と、
前記可視光光学系で集光された前記可視光のスポットを検出する位置検出センサと、
前記位置検出センサで検出された前記可視光のスポットの変化から前記プラズマの位置の変化を検出する位置検出処理部と、
を備え、
前記位置検出処理部は、前記位置検出センサで検出された前記可視光のスポットの位置から、前記集光レンズの光軸に直交する方向における前記プラズマの位置の変化を検出し、検出された前記プラズマの位置の変化に基づいて、前記レーザ光の光軸を補正するための前記レーザ光の光軸の変化を算出する、
位置検出装置。
続きを表示（約 1,900 文字）【請求項２】
ターゲットに対してレーザ光を集光レンズで集光させることにより発生させたプラズマからＥＵＶ光とともに生成された可視光を前記集光レンズで集光する可視光光学系と、
前記可視光光学系で集光された前記可視光のスポットを検出する位置検出センサと、
前記位置検出センサで検出された前記可視光のスポットの変化から前記プラズマの位置の変化を検出する位置検出処理部と、
を備え、
前記位置検出処理部は、前記位置検出センサで検出された前記可視光のスポットの位置から、前記集光レンズの光軸に直交する方向における前記プラズマの位置の変化を検出し、検出された前記プラズマの位置の変化に基づいて、前記ＥＵＶ光を集光するＥＵＶ光光学系の光軸を補正するための前記ＥＵＶ光光学系の光軸の変化を算出する、
位置検出装置。
【請求項３】
前記ターゲットは、回転軸を中心にして回転する容器の内周で保持された溶融金属である、
請求項１または２に記載の位置検出装置。
【請求項４】
前記位置検出センサと前記可視光光学系との間に配置され、前記可視光の断面における前記集光レンズの光軸を含む中央部分を、前記位置検出センサに対して遮蔽する遮蔽板をさらに備え、
前記位置検出処理部は、前記位置検出センサで検出された前記可視光の環状の前記スポットの大きさから、前記集光レンズの光軸方向における前記プラズマの位置の変化を検出する、
請求項１または２に記載の位置検出装置。
【請求項５】
ターゲットに対してレーザ光を可視光光学系における集光レンズで集光させることにより発生させたプラズマからＥＵＶ光光学系で集光されるＥＵＶ光とともに生成された可視光を前記集光レンズで集光するステップと、
前記可視光光学系における前記集光レンズで集光された前記可視光のスポットを位置検出センサによって検出するステップと、
前記位置検出センサで検出された前記可視光のスポットの変化から前記プラズマの位置の変化を位置検出処理部によって検出するステップと、
を備え、
前記位置検出処理部によって検出するステップにおいて、
前記位置検出センサで検出された前記可視光のスポットの位置から、前記集光レンズの光軸に直交する方向における前記プラズマの位置の変化を検出し、
前記位置検出処理部によって検出された前記プラズマの位置の変化に基づいて、前記レーザ光の光軸を補正するための前記レーザ光の光軸の変化を算出するステップをさらに備えた、
位置検出方法。
【請求項６】
ターゲットに対してレーザ光を可視光光学系における集光レンズで集光させることにより発生させたプラズマからＥＵＶ光とともに生成された可視光を前記集光レンズで集光するステップと、
前記可視光光学系における前記集光レンズで集光された前記可視光のスポットを位置検出センサによって検出するステップと、
前記位置検出センサで検出された前記可視光のスポットの変化から前記プラズマの位置の変化を位置検出処理部によって検出するステップと、
を備え、
前記位置検出処理部によって検出するステップにおいて、
前記位置検出センサで検出された前記可視光のスポットの位置から、前記集光レンズの光軸に直交する方向における前記プラズマの位置の変化を検出し、
前記位置検出処理部によって検出された前記プラズマの位置の変化に基づいて、前記ＥＵＶ光を集光するＥＵＶ光光学系の光軸を補正するための前記ＥＵＶ光光学系の光軸の変化を算出するステップをさらに備えた、
位置検出方法。
【請求項７】
前記ターゲットは、回転軸を中心にして回転する容器の内周で保持された溶融金属である、
請求項５または６に記載の位置検出方法。
【請求項８】
前記位置検出センサと前記可視光光学系との間に配置され、前記可視光の断面における前記集光レンズの光軸を含む中央部分を、前記位置検出センサに対して遮蔽板によって遮蔽するステップをさらに備え、
前記位置検出処理部によって検出するステップにおいて、
前記位置検出センサで検出された前記可視光の環状の前記スポットの大きさから、前記集光レンズの光軸方向における前記プラズマの位置の変化を検出する、
請求項５または６に記載の位置検出方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、例えば、ＥＵＶ（ＥｘｔｒｅｍｅＵｌｔｒａＶｉｏｌｅｔ）光源において、レーザ光を照射することにより、ターゲットに発生したプラズマの位置検出装置及び位置検出方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１～３には、スズ（Ｓｎ）等のターゲットに、ＩＲ（ＩｎｆｒａＲｅｄ）レーザ光を照射することにより、ターゲットを励起させ、発生したプラズマからＥＵＶ光を発光させる光源が記載されている。光源から取り出したＥＵＶ光は、半導体基板の検査装置及び露光装置等に利用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－００１９２４号公報
特開２０１４－０８６５２３号公報
特開２０１１－００３８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ターゲットへのＩＲレーザ光の照射に際し、ターゲットの位置が変化すると、発生するＥＵＶ光の光軸が変化し、検査装置及び露光装置等の装置側に取り出したＥＵＶ光の光軸も変化する。ＥＵＶ光の光軸を安定化させるためには、ターゲットの位置の変化を検出することが必要である。
【０００５】
本開示の目的は、このような問題を解決するためになされたものであり、ターゲットにおけるプラズマの位置を検出することができる位置検出装置及び位置検出方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示に係る位置検出装置は、ターゲットに対してレーザ光を集光レンズで集光させることにより発生させたプラズマからＥＵＶ光ともに生成された可視光を集光する可視光光学系と、前記可視光光学系で集光された前記可視光を検出する位置検出センサと、前記位置検出センサで検出された前記可視光のスポットの変化から前記ターゲットにおける前記プラズマの位置の変化を検出する位置検出処理部と、を備える。
【０００７】
上記位置検出装置では、前記位置検出処理部は、検出された前記プラズマの位置の変化に基づいて、前記ＥＵＶ光を集光するＥＵＶ光光学系の光軸を補正するための前記ＥＵＶ光光学系の光軸の変化を算出してもよい。
【０００８】
上記位置検出装置では、前記位置検出処理部は、前記位置検出センサで検出された前記可視光のスポットの位置から、前記集光レンズの光軸方向における前記プラズマの位置の変化、及び、前記集光レンズの光軸に直交する方向における前記プラズマの位置の変化を検出してもよい。
【０００９】
上記位置検出装置では、前記位置検出処理部は、前記位置検出センサで検出された前記可視光のスポットの大きさから、前記集光レンズの光軸方向における前記プラズマの位置の変化を検出してもよい。
【００１０】
上記位置検出装置では、前記位置検出センサと前記可視光光学系との間に配置され、前記可視光の断面における前記集光レンズの光軸を含む中央部分を、前記位置検出センサに対して遮蔽する遮蔽板をさらに備え、前記位置検出処理部は、前記位置検出センサで検出された環状の前記スポットの大きさから、前記集光レンズの光軸方向における前記プラズマの位置の変化を検出してもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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