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公開番号2025039546
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-21
出願番号2024152915
出願日2024-09-05
発明の名称電極微細構造の製造方法及びその電極微細構造
出願人勝勢科技股ふん有限公司,SENSE-TECH INNOVATION COMPANY
代理人弁理士法人筒井国際特許事務所
主分類C23C 14/20 20060101AFI20250313BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】電気めっき効果を高められる電極微細構造の製造方法及びその電極微細構造を提供する。
【解決手段】可撓性のプラスチック部材を用意するステップと、プラスチック部材の表面に表面構造層をスパッタリングして電極微細構造を形成するステップと、を含み、表面構造層は一次元金属ナノ結晶の構造からなり、表面構造層は複数の微細構造を備え、微細構造は互いに間隔を開けてプラスチック部材の表面に分布し、微細構造はそれぞれ少なくとも1つの尖形体を有し、尖形体は尖端放電を提供する、電極微細構造の製造方法及びその電極微細構造に関する。このような微細構造の尖形体が尖端放電を提供することにより後続の電気めっきする製造プロセスの効率を向上させることができ、また、微細構造の尖形体は電気めっき材料と反応を行う大きな表面積を提供できると同時に表面構造層の粗い構造面も電気めっき材料との結合強度を強化することができる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
可撓性のプラスチック部材を用意するステップと、
前記プラスチック部材の表面に表面構造層をスパッタリングして電極微細構造を形成するステップと、
を含み、
前記表面構造層は一次元金属ナノ結晶の構造からなり、
前記表面構造層は複数の微細構造を備え、
前記微細構造は互いに間隔を開けて前記プラスチック部材の表面に分布し、
前記微細構造はそれぞれ少なくとも１つの尖形体を有し、
前記尖形体は尖端放電を提供する、
電極微細構造の製造方法。
続きを表示（約 710 文字）【請求項２】
前記電極微細構造を形成するステップの後に、さらに、前記電極微細構造を巻いて巻材を形成し、前記表面構造層を有する前記電極微細構造の表面が前記巻材の外面に巻かれるようにするステップを含む、
請求項１に記載の電極微細構造の製造方法。
【請求項３】
前記表面構造層の材料は銅タングステン、銀タングステン合金、プラチナ、ニッケル繊維、ニッケル銅、酸化イリジウム、ニッケルイリジウム、銅イリジウム又は錫・アンチモン酸化物である、
請求項１に記載の電極微細構造の製造方法。
【請求項４】
前記微細構造の構造の高さと幅のナノサイズは１nmから５０nmの間である、
請求項１に記載の電極微細構造の製造方法。
【請求項５】
プラスチック部材と、
前記プラスチック部材の表面に設けられた表面構造層と、
を備え、
前記表面構造層は一次元金属ナノ結晶の構造からなり、
前記表面構造層は複数の微細構造を備え、
前記微細構造は互いに間隔を開けて前記プラスチック部材の表面に分布し、
前記微細構造はそれぞれ少なくとも１つの尖形体を有し、
前記尖形体は尖端放電を提供する、
電極微細構造。
【請求項６】
前記微細構造の構造形状は、さらに管状、柱状、線状、帯状、針状、螺旋状及び/又は環状を含む、
請求項５に記載の電極微細構造。
【請求項７】
前記微細構造の構造の高さと幅のナノサイズは１nmから５０nmの間である、
請求項５に記載の電極微細構造。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本出願は電極構造の技術分野に関し、特に、電極微細構造の製造方法及びその電極微細構造に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
従来技術において、ナノ技術が関わる範囲は非常に広く、ナノ材料はその中の一部でしかないものの、ナノ技術発展の基礎である。ナノ材料の優れた特性は各分野に応用でき、ナノ材料とは、材料がある１つの次元において、尺度がナノの等級（０.１～１００nm）にあるものを指し、ゼロ次元、一次元、二次元ナノ材料を含み、如何なる１つの次元でもナノ尺度で現れればナノ材料と呼ぶことができる。材料の尺度がナノ尺度に入れば、その特殊な物理的アーキテクチャにより一連の現象と効果が表れ、一連の関連の応用が可能となる。
【発明の概要】
【０００３】
本出願の実施例はナノ材料により電極構造の表面微細構造を製造し、電気めっき効果を有効的に高められる電極微細構造の製造方法及びその電極微細構造を提供する。
【０００４】
上記技術課題を解決するために、本出願は以下のように実現される。
【０００５】
第１の態様において、可撓性のプラスチック部材を用意するステップと、プラスチック部材の表面に表面構造層をスパッタリングして電極微細構造を形成するステップと、を含み、表面構造層は一次元金属ナノ結晶の構造からなり、表面構造層は複数の微細構造を備え、微細構造は互いに間隔を開けてプラスチック部材の表面に分布し、微細構造はそれぞれ少なくとも１つの尖形体を有し、尖形体は尖端放電を提供する電極微細構造の製造方法を提供する。
【０００６】
そのうちの１つの実施例において、電極微細構造を形成するステップの後に、さらに、電極微細構造を巻いて巻材を形成し、表面構造層を有する電極微細構造の表面が巻材の外面に巻かれるようにするステップを含む。
【０００７】
そのうちの１つの実施例において、表面構造層の材料は銅タングステン、銀タングステン合金、プラチナ、ニッケル繊維、ニッケル銅、酸化イリジウム、ニッケルイリジウム、銅イリジウム又は錫・アンチモン酸化物である。
【０００８】
そのうちの１つの実施例において、微細構造の構造の高さと幅のナノサイズは１nmから５０nmの間である。
【０００９】
第２の態様において、プラスチック部材と、プラスチック部材の表面に設けられた表面構造層と、を備え、表面構造層は一次元金属ナノ結晶の構造からなり、表面構造層は複数の微細構造を備え、微細構造は互いに間隔を開けてプラスチック部材の表面に分布し、微細構造はそれぞれ少なくとも１つの尖形体を有し、尖形体は尖端放電を提供する電極微細構造を提供する。
【００１０】
そのうちの１つの実施例において、微細構造の構造形状は管状、柱状、線状、帯状、針状、螺旋状及び/又は環状を含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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