特許ウォッチ

公開番号2025034425
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-13
出願番号2023140796
出願日2023-08-31
発明の名称向き調整方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/301 20060101AFI20250306BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】撮像ユニットの視野範囲内には同時には収まらない程離れている2つのキーパターンに依拠することなく被加工物の向きを調整する。
【解決手段】保持テーブルで保持された被加工物の表面を撮像ユニットで撮像して得られた第1画像を表示装置に表示する工程と、第1画像の中心点又は作業者により任意に指定された指定点を回転中心とした上で、始点位置を作業者が指定する工程と、終点位置を作業者が指定する工程と、始点位置及び終点位置と第1画像の回転中心とで規定される回転角度だけ、画像処理により、始点位置から終点位置に進む方向で回転中心の周りに第1画像を回転させる工程と、この回転角度に基づいて保持テーブルの向きを調整することにより、撮像ユニットで被加工物を撮像することにより得られる第2画像の向きを回転後の第1画像の向きと同じにすると共に、第2画像を表示装置に表示する工程と、を備える向き調整方法を提供する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
複数の分割予定ラインが表面に格子状に設定された被加工物を加工装置を用いて加工する際に、該加工装置の保持テーブルで保持された該被加工物の向きを調整する向き調整方法であって、
該被加工物を該保持テーブルの保持面で保持する保持工程と、
該保持面で保持された該被加工物の該表面を撮像ユニットで撮像して得られた第１画像を表示装置に表示する第１画像表示工程と、
該表示装置に表示された該第１画像の中心点、又は、作業者により任意に指定された該第１画像の指定点を該第１画像の回転中心とした上で、該第１画像の回転に関する始点となる始点位置を作業者が指定する始点位置指定工程と、
該始点位置とは異なる位置であって、該始点の該回転中心の周りにおける回転の終点となる終点位置を作業者が指定する終点位置指定工程と、
該第１画像の該回転中心の周りにおける該始点位置及び該終点位置と、該第１画像の該回転中心と、で規定される回転角度を算出し、画像処理により、該始点位置から該終点位置に進む方向で該回転中心の周りに該第１画像を該回転角度だけ回転させる画像回転工程と、
該画像回転工程の後、該保持面に直交する該保持テーブルの回転軸の周りにおける該保持テーブルの向きを該回転角度に基づいて調整することにより、該撮像ユニットで該被加工物を撮像することにより得られる第２画像の向きを該画像回転工程後の該第１画像の向きと同じにすると共に、該第２画像を該表示装置に表示する第２画像表示工程と、
を備えることを特徴とする向き調整方法。
続きを表示（約 520 文字）【請求項２】
該第１画像表示工程において、該回転中心として所定の識別マークが該表示装置に表示されることを特徴とする請求項１に記載の向き調整方法。
【請求項３】
該第２画像表示工程では、該第２画像を得る際の該被加工物の被撮像領域を、該回転角度だけ回転された該第１画像に対応する被撮像領域と同じにすることを特徴とする請求項１に記載の向き調整方法。
【請求項４】
該第２画像表示工程の後、該保持面と平行である所定方向と平行に配置された目安線を該表示装置に表示させた状態で、該撮像ユニットと、該被加工物と、を該所定方向に沿って相対的に移動させた後、該目安線と、該分割予定ラインと、の向きが一致する様に、該保持テーブルを回転させるずれ補正工程を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の向き調整方法。
【請求項５】
該第２画像表示工程の後、該撮像ユニットで該被加工物を撮像することにより得られた該被加工物の所定の領域を、該加工装置で該被加工物を加工するときの目印となるマークとして、該加工装置に登録する登録工程を更に備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の向き調整方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の分割予定ラインが表面に格子状に設定された被加工物を加工装置を用いて加工する際に、加工装置の保持テーブルで保持された被加工物の向きを調整する向き調整方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスチップは、加工装置を用いて半導体ウェーハ（被加工物）を分割することで製造される。被加工物の表面には、複数の分割予定ラインが格子状に設定されており、複数の分割予定ラインで区画された各矩形領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイスが形成されている。
【０００３】
例えば、加工装置として切削装置を用いる場合、チャックテーブルで被加工物を吸引保持すると共に、スピンドルを回転軸として高速で回転している切削ブレードの下端を被加工物とチャックテーブルの保持面との間の高さに位置付けた状態で、チャックテーブルを加工送り方向（例えば、Ｘ軸方向）に沿って移動させる。
【０００４】
このとき、分割予定ラインの幅内において分割予定ラインに沿って被加工物を切削するためには、実際に被加工物を切削する前に、切削装置に分割予定ラインの位置を認識させ、且つ、分割予定ラインをチャックテーブルの加工送り方向と略平行にするアライメント工程を行う必要がある。
【０００５】
このアライメント工程を行う前には、通常、まず、各デバイスの同じ位置に設けられている特定の規則的な模様を有するキーパターン（アライメントマーク、ターゲットパターン等とも称される）を切削装置に記憶させると共に、このキーパターンから最寄りの分割予定ラインまでの距離を切削装置に記憶させる（ティーチ工程）。
【０００６】
そして、ティーチ工程後のアライメント工程において、分割予定ラインを加工送り方向と略平行にする際には、まず、撮像ユニットでキーパターンを撮像して得られた画像中のキーパターンと、ティーチ工程で記憶されたキーパターンと、のパターンマッチングを行い、ティーチ工程で記憶されたキーパターンと同じキーパターンを特定する。
【０００７】
アライメント工程では、次に、チャックテーブルを加工送り方向に沿って所定量だけ移動させた後、前回とは異なる領域を撮像してキーパターンを含む画像を取得し、同様に、パターンマッチングを行う。
【０００８】
撮像により得られた２つのキーパターンの座標が、加工送り方向と直交する割り出し送り方向（例えば、Ｙ軸方向）でずれている場合、分割予定ラインは加工送り方向に対して斜めに配置されている。そこで、２つのキーパターンの座標が割り出し送り方向で略一致する様に、チャックテーブルの向きを調整する（例えば、特許文献１参照）。
【０００９】
チャックテーブルの向きを調整する際には、２つのキーパターンの割り出し送り方向における座標の微小な差異を検出するために、撮像ユニットの視野範囲内に同時に位置している２つのキーパターンではなく、加工送り方向で十分に離れている（即ち、撮像ユニットの視野範囲内には同時には収まらない程離れている）２つのキーパターンを利用する。
【００１０】
しかし、被加工物のどこを撮像するかは、作業者により切削装置のタッチパネル上で指定されるので、例えば、デバイスのサイズが小さい場合、作業者は、同一の分割予定ラインではなく、異なる分割予定ラインの近傍にそれぞれ位置する２つのキーパターンを、誤って選択することがある。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許