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公開番号2025035405
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-13
出願番号2023142421
出願日2023-09-01
発明の名称研磨液の製造装置及び研磨液の製造方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 57/02 20060101AFI20250306BHJP(研削;研磨)
要約【課題】薬剤を錠剤に成形する工程を必要とせず、確実に所定の濃度の研磨液を製造することができること。
【解決手段】研磨液の製造装置1は、開口13を有する容器10に粉末状の薬剤3が収容され、容器10の開口13を下向きに載置する載置部20と、載置部20の下方に配設され、溶媒4を貯留する貯留槽30と、容器10から薬剤3を貯留槽30に供給する供給部材40と、貯留槽30に薬剤3が投入され、薬剤3と溶媒4とを攪拌する攪拌ユニット50と、を少なくとも備え、容器10を載置部20に載置し、容器10の開口13に供給部材40を接続することにより、容器10中の粉末状の薬剤3が貯留槽30に投入される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
研磨液の製造装置であって、
開口を有する容器に粉末状の薬剤が収容され、該容器の開口を下向きに載置する載置手段と、
該載置手段の下方に配設され、溶媒を貯留する貯留槽と、
該容器から該薬剤を該貯留槽に供給する供給手段と、
該貯留槽に該薬剤が投入され、該薬剤と該溶媒とを攪拌する攪拌手段と、
を少なくとも備え、
該容器を該載置手段に載置し、該容器の開口に該供給手段を接続することにより、該容器中の粉末状の薬剤が該貯留槽に投入される、
研磨液の製造装置。
続きを表示（約 210 文字）【請求項２】
研磨液の製造方法であって、
粉末状の薬剤を収容した容器の開口を下向きに載置手段に載置し、該載置手段に設けられた供給手段が該容器内の薬剤を該載置手段の下方に配設された溶媒を貯留する貯留槽に供給し、該貯留槽内の該薬剤と該溶媒とを攪拌して該研磨液を製造するとともに、
該容器内に被加工物の化学機械研磨に用いられる濃度の研磨液を製造する量の該薬剤を収容しておく、
研磨液の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨液の製造装置及び研磨液の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（Integrated Circuit)、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが表面に複数形成されたウェーハは、裏面が研削されて所定の厚みに形成された後、分割装置によって個々のデバイスに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
ウェーハの裏面を研削する研削工程は、公知の研削装置を使用し、研削装置のスピンドルに研削ホイールを装着して粗研削及び仕上げ研削を経て所定の厚さまで加工される(例えば、特許文献１参照)。
【０００４】
通常ウェーハの裏面を研削すると被研削面には研削痕（ソーマーク）が残存するので、研削工程の後ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing：化学機械研磨）によってウェーハの裏面を研磨してソーマークを除去している（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
上記ＣＭＰの実施例の１つとして、砥粒を含有させた固定砥粒研磨パッドを公知の研磨装置の回転テーブル上面に配設し、該固定砥粒研磨パッドの上方に吸引保持部材に保持されたウェーハを該固定砥粒研磨パッドに押圧して固定砥粒研磨パッドに研磨液を供給しながら研磨加工している。また、上記ＣＭＰのもう一つの実施例として、研磨液に砥粒を含有させた研磨液（遊離砥粒）を砥粒を含有しない研磨パッドに供給しながら研磨加工している。
【０００６】
研磨工程に使用される研磨液は、研磨装置内に所定の濃度に調整された研磨液を貯留したタンクが配設される場合がある。または、研磨装置に隣接して研磨液の濃縮液（原液タンク）を所定の濃度の研磨液に調整して研磨装置に研磨液を供給する研磨液供給装置が配設される場合がある。
【０００７】
いずれの場合も、作業者が研磨液の入ったタンク（例えば、容量が２０Ｌの容器）を装置に運搬して交換しなければならず、作業者の負担が大きかった。
【０００８】
そこで、出願人は、予め粉末の薬品を所定量が固形になった錠剤に形成して錠剤を攪拌槽に所定数量投入して研磨液を製造する製造方法を発明し、出願した（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
特開２０００－２８８８８１号公報
特開平８－０９９２６５号公報
特開２０１８－１８７７５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、上記特許文献３に記載された製造方法は、薬剤を成形する工程が必要であり、費用がかかる。また、その錠剤を客先に搬送する際に、錠剤の一部が欠けたりすると、所定の重量にならず、所定の濃度の研磨液が製造できないという問題が発生し得る。
（【００１１】以降は省略されています）

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