特許ウォッチ

公開番号2025035619
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-14
出願番号2023142785
出願日2023-09-04
発明の名称研削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B24B 55/06 20060101AFI20250307BHJP(研削;研磨)
要約【課題】研削中に面取り部を除去する場合において、ウエーハから脱落した面取り部が、細かい端材となって研削装置の排水パンに滞留することがない研削装置を提供する。
【解決手段】ウエーハWの面を研削する研削装置は、ウエーハを保持し回転可能なチャックテーブルと、研削砥石35が配設された研削ホイール34を備えた研削手段3と、を含み、チャックテーブルを囲繞して配設され、研削中にウエーハの外周から脱落する端材12Aを捕獲する端材捕獲体6と、端材捕獲体を作用位置と非作用位置とに位置付ける位置付け手段61と、捕獲した端材を回収する端材回収手段60と、を備え、端材捕獲体の上端部には、研削砥石の通過を許容する凹部6eが形成されており、端材捕獲体が作用位置に位置付けられた際、端材捕獲体の上端部は、ウエーハの上面を超える位置に位置付けられ、凹部の底はウエーハの面を下回り研削砥石の接触を避ける位置に位置付けられる。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
ウエーハの面を研削する研削装置であって、
ウエーハを保持し回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハの面に研削水を供給しながら研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に備えた研削手段と、を含み、
該チャックテーブルを囲繞して配設され研削中にウエーハの外周から脱落する端材を捕獲する端材捕獲体と、該端材捕獲体を作用位置と非作用位置とに位置付ける位置付け手段と、該端材捕獲体が捕獲した端材を回収する端材回収手段と、を備え、
該端材捕獲体の上端部には、該研削ホイールに配設された研削砥石の通過を許容する凹部が形成されており、該位置付け手段によって該端材捕獲体が作用位置に位置付けられた際、該端材捕獲体の上端部は、チャックテーブルに保持されたウエーハの上面を超える位置に位置付けられ、該凹部の底はチャックテーブルに保持されたウエーハの面を下回り研削砥石の接触を避ける位置に位置付けられて該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削装置。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
該端材回収手段は、
該チャックテーブルを囲繞する環状の内側壁と、環状の外側壁と、該内側壁と該外側壁を連結する底壁と、端材を排出する排出部と、から構成される環状容器と、
該チャックテーブルに配設されウエーハの外周から脱落する端材を該環状容器に導く環状のリングガイドと、該環状容器の排出部に連通する端材受入部を備えたドレーン手段と、該ドレーン手段の他方の端部に配設される端材収容手段と、を含み構成される請求項１に記載の研削装置。
【請求項３】
該ドレーン手段は、主ドレーンと、該主ドレーンから分岐する第一のドレーン及び第二のドレーンと、該第一のドレーンと該第二のドレーンとを選択する選択部とを備える請求項２に記載の研削装置。
【請求項４】
該チャックテーブルは、研削水を受け止める排水パンに配設され、該排水パンは、排水口と該排水口に連通する排水ドレーンとを備え、該排水ドレーンの端部は、該主ドレーンに連結される請求項３に記載の研削装置。
【請求項５】
該環状容器は、端材を該排出部に押し流す水を供給する端材ノズルを備える請求項２に記載の研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエーハの面を研削する研削装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されたデバイス領域が表面に形成されたウエーハは、裏面が研削されて所望の厚みに薄化された後、切削装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
また、ウエーハの外周には面取り部が形成されていて、ウエーハの裏面を研削して薄化すると、面取り部がナイフエッジのように鋭利となり、オペレータが怪我をしたり、ウエーハの外周から内側にクラックが入りデバイスが損傷したりするという問題がある。
【０００４】
そこで、ウエーハの裏面を研削する前に、ウエーハの表面から面取り部に対応する外周部にウエーハの仕上げ厚みに相当する深さで面取り部を一部除去する技術が提案されている（例えば特許文献１を参照）。
【０００５】
特に２枚のウエーハを積層した積層ウエーハを加工する場合は、ウエーハを積層する前に、裏面が研削される一方のウエーハの面取り部を予め除去して、その後、面取り部が除去された一方のウエーハの表面を他方のウエーハ表面に位置付けて積層することが考えられる。しかし、該一方のウエーハの面取り部が全て除去されていると、一方のウエーハの中心を他方のウエーハの中心に正確に位置合わせすることが困難になることから、該一方のウエーハの面取り部を半分以上残す必要があるが、該加工は容易ではない。
【０００６】
そこで、ウエーハの裏面を研削する前に、ウエーハに対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を面取り部の内側に位置付けて照射し、リング状にウエーハの内部に面取り部を分離する際の起点となる改質層を形成することで、研削中に面取り部を除去する技術が提案されている（例えば特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０１４－００３１９８号公報
特開２０２０－０８８１８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記した特許文献２に記載の技術によって、研削中に面取り部を除去する場合、ウエーハから脱落した面取り部が、細かい端材となって研削装置の排水パンに滞留することから、度々清掃する必要があり、煩に堪えないという問題がある。
【０００９】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、研削中に面取り部を除去する場合において、ウエーハから脱落した面取り部が、細かい端材となって研削装置の排水パンに滞留することから、度々清掃する必要があり、煩に堪えないという問題を解消できる研削装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、ウエーハの面を研削する研削装置であって、ウエーハを保持し回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハの面に研削水を供給しながら研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に備えた研削手段と、を含み、該チャックテーブルを囲繞して配設され研削中にウエーハの外周から脱落する端材を捕獲する端材捕獲体と、該端材捕獲体を作用位置と非作用位置とに位置付ける位置付け手段と、該端材捕獲体が捕獲した端材を回収する端材回収手段と、を備え、該端材捕獲体の上端部には、該研削ホイールに配設された研削砥石の通過を許容する凹部が形成されており、該位置付け手段によって該端材捕獲体が作用位置に位置付けられた際、該端材捕獲体の上端部は、チャックテーブルに保持されたウエーハの上面を超える位置に位置付けられ、該凹部の底はチャックテーブルに保持されたウエーハの面を下回り研削砥石の接触を避ける位置に位置付けられて該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削装置が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許