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公開番号2025034251
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-13
出願番号2023140528
出願日2023-08-30
発明の名称基板搬送ロボット、および、基板搬送ロボットの制御方法
出願人川崎重工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250306BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板載置部の基板の有無に関わらず、基板が載置される基板載置部と基板保持ハンドとの間の傾きを適切に調整可能な基板搬送ロボットおよび基板搬送ロボットの制御方法を提供する。
【解決手段】この基板搬送ロボット100は、基板Wを保持する基板保持ハンド10と、基板保持ハンド10の傾きを調整するチルト機構30と、基板載置部103を検出する検出部と、検出部による基板載置部103の検出結果に基づいて、チルト機構30を動作させることにより基板載置部103と基板保持ハンド10との相対的な傾きを調整する制御部50と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板載置部に載置される基板を保持する基板保持ハンドと、
前記基板保持ハンドの傾きを調整する傾き調整機構と、
前記基板載置部を検出する検出部と、
前記検出部による前記基板載置部の検出結果に基づいて、前記傾き調整機構を動作させることにより前記基板載置部と前記基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する制御部と、を備える、基板搬送ロボット。
続きを表示（約 1,700 文字）【請求項２】
前記検出部は、前記基板が載置されていない状態の前記基板載置部を検出し、
前記制御部は、前記基板が載置されていない状態の前記基板載置部の検出結果に基づいて前記傾き調整機構を動作させることにより前記基板載置部と前記基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整した状態で、前記基板保持ハンドに保持された前記基板を前記基板載置部に搬入する、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項３】
前記検出部は、前記基板載置部に載置された状態の前記基板を検出し、
前記制御部は、前記検出部による前記基板載置部に載置された状態の前記基板の検出結果に基づいて前記傾き調整機構を動作させることにより前記基板載置部と前記基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整した状態で、前記基板を前記基板載置部から搬出する、請求項２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項４】
前記検出部は、前記基板載置部の形状を検出し、
前記制御部は、前記検出部により検出された前記基板載置部の形状に基づいて、前記傾き調整機構を動作させることにより前記基板載置部と前記基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する、請求項１～３のいずれか１項に記載の基板搬送ロボット。
【請求項５】
前記検出部は、前記基板保持ハンドに配置されており、検出光を照射することによって前記基板載置部の形状を検出する、請求項４に記載の基板搬送ロボット。
【請求項６】
前記検出部は、前記基板載置部を撮像する撮像部を含み、
前記制御部は、前記撮像部による撮像画像における前記基板載置部の形状に基づいて、前記基板載置部と前記基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する、請求項４に記載の基板搬送ロボット。
【請求項７】
前記検出部は、複数の前記基板を上下方向に沿って並べて保持する柱状の保持部材を有する前記基板載置部において、上下方向に沿って延びる柱状の前記保持部材を検出し、
前記制御部は、前記検出部により柱状の前記保持部材が検出された検出結果に基づいて前記基板載置部と前記基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する、請求項１～３のいずれか１項に記載の基板搬送ロボット。
【請求項８】
前記検出部は、上下方向に沿って延びる柱状の前記保持部材を、上下方向における互いに異なる少なくとも３つの位置において検出し、
前記制御部は、前記検出部により柱状の前記保持部材が上下方向における互いに異なる少なくとも３つの位置において検出された少なくとも３つの検出結果に基づいて、前記基板載置部と前記基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する、請求項７に記載の基板搬送ロボット。
【請求項９】
前記傾き調整機構は、
下側部材と、
前記下側部材と上下方向に対向するように設けられる上側部材と、
前記下側部材と前記上側部材との間に設けられ、上下方向から見て互いに異なる箇所に配置される３つの球面滑り軸受けと、
３つの前記球面滑り軸受けのうちの２つにそれぞれ対応して設けられる２つの高さ位置調整機構と、を含み、
前記制御部は、前記検出部による検出結果に基づいて、前記高さ位置調整機構により前記下側部材に対する前記上側部材の傾きを調整することによって前記基板載置部と前記基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する、請求項１～３のいずれか１項に記載の基板搬送ロボット。
【請求項１０】
前記基板保持ハンドは、各々が前記基板を保持する複数のブレード部材を含み、
前記複数のブレード部材が接続されるブレード保持部をさらに備え、
前記制御部は、前記検出部による検出結果に基づいて、前記傾き調整機構を動作させることにより前記ブレード保持部の傾きを調整することによって、前記基板載置部と前記基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する、請求項１～３のいずれか１項に記載の基板搬送ロボット。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この開示は、基板搬送ロボット、および、基板搬送ロボットの制御方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板搬送ロボットが知られている。たとえば、特許文献１では、基板を搬送するためのロボットが記載されている。特許文献１に記載のロボットは、基板の有無を検出する基板検出部を備えている。基板検出部は、基板を保持するロボットハンドに配置されている。特許文献１に記載のロボットは、基板保管装置から基板を取り出して搬送する前に、基板検出部によって基板を検出することによって、ロボットハンドに対する基板の傾斜を検査する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－４３５５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、上記特許文献１には記載されていないが、基板載置部としての基板保管装置は、基板の重さに起因して、基板が載置されている状態と基板が載置されていない状態とでは、基板を保持する基板保持ハンドであるロボットハンドに対する傾きが異なる場合がある。その場合には、上記特許文献１に記載のロボットのように、基板載置部に載置された基板の基板保持ハンドに対する傾斜を検出することによって、検出された傾斜に基づいて基板保持ハンドの傾きを調整した場合にも、基板の有無によって基板載置部の傾きの度合いが変化することに起因して、基板載置部に対する基板保持ハンドの傾きが適切に調整されない。これにより、基板載置部に対して基板を搬入する搬入動作を行う場合に、搬入される基板と基板載置部との間の傾きにずれが生じる。そのため、基板載置部の基板の有無に関わらず、基板が載置される基板載置部と基板保持ハンドとの間の傾きを適切に調整することが望まれている。
【０００５】
この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この開示の１つの目的は、基板載置部の基板の有無に関わらず、基板が載置される基板載置部と基板保持ハンドとの間の傾きを適切に調整することが可能な基板搬送ロボット、および、基板搬送ロボットの制御方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この開示の第１の局面による基板搬送ロボットは、基板載置部に載置される基板を保持する基板保持ハンドと、基板保持ハンドの傾きを調整する傾き調整機構と、基板載置部を検出する検出部と、検出部による基板載置部の検出結果に基づいて、傾き調整機構を動作させることにより基板載置部と基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する制御部と、を備える。
【０００７】
この開示の第１の局面による基板搬送ロボットは、上記のように、検出部による基板載置部の検出結果に基づいて、傾き調整機構を動作させることにより基板載置部と基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する制御部を備える。これにより、基板の有無に関わらず、基板載置部の検出結果に基づいて、傾き調整機構を動作させることにより基板載置部と基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整できる。その結果、基板載置部の基板の有無に関わらず、基板が載置される基板載置部と基板保持ハンドとの間の傾きを適切に調整できる。
【０００８】
この開示の第２の局面による基板搬送ロボットの制御方法は、基板が載置される基板載置部を検出した検出結果を取得し、基板載置部の検出結果に基づいて、基板載置部に載置される基板を保持する基板保持ハンドの傾きを調整する傾き調整機構を動作させることにより、基板載置部と基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する。
【０００９】
この開示の第２の局面による基板搬送ロボットの制御方法は、上記のように、基板載置部の検出結果に基づいて、基板載置部に載置される基板を保持する基板保持ハンドの傾きを調整する傾き調整機構を動作させることにより、基板載置部と基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する。これにより、基板の有無に関わらず、基板載置部の検出結果に基づいて、傾き調整機構を動作させることにより基板載置部と基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整できる。その結果、基板載置部の基板の有無に関わらず、基板が載置される基板載置部と基板保持ハンドとの間の傾きを適切に調整可能な基板搬送ロボットの制御方法を提供できる。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、基板載置部の基板の有無に関わらず、基板が載置される基板載置部と基板保持ハンドとの間の傾きを適切に調整できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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