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公開番号2025020044
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-07
出願番号2024121041
出願日2024-07-26
発明の名称可動装置、投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置及び移動体、アイトラッキング装置
出願人株式会社リコー
代理人個人
主分類G02B 26/08 20060101AFI20250131BHJP(光学)
要約【課題】可動部の振れ角を増大した可動装置を提供する。
【解決手段】本発明は、可動部と、圧電部を備え前記可動部を駆動する駆動部と、前記駆動部を介して前記可動部を支持する支持部と、を有し、前記駆動部は、平面視において前記圧電部の少なくとも一部と重なる領域に、前記駆動部の膜厚を増幅する膜厚増幅部を備え、前記膜厚増幅部は、前記支持部と連続していることを特徴とする可動装置である。
可動装置である。
【選択図】図9
特許請求の範囲【請求項１】
可動部と、
圧電部を備え前記可動部を駆動する駆動部と、
前記駆動部を介して前記可動部を支持する支持部と、を有し、
前記駆動部は、前記駆動部の膜厚を増幅する膜厚増幅部を備え、
前記膜厚増幅部は、前記支持部と連続していることを特徴とする可動装置。
続きを表示（約 860 文字）【請求項２】
前記駆動部の前記支持部から延出する方向に垂直方向の幅は、当該垂直方向における前記膜厚増幅部の幅よりも狭いことを特徴とする請求項１に記載の可動装置。
【請求項３】
前記駆動部の前記支持部から延出する方向に垂直方向の幅は、当該垂直方向における前記支持部の幅よりも狭いことを特徴とする請求項１に記載の可動装置。
【請求項４】
前記膜厚増幅部の少なくとも一部は、平面視において前記圧電部と重なる領域を有することを特徴とする請求項１記載の可動装置。
【請求項５】
前記駆動部は、駆動部基板を有し、
前記駆動部基板は、第１面に前記圧電部を有し、
前記第１面の裏面である第２面に膜厚増幅部を有する、ことを特徴とする請求項１に記載の可動装置。
【請求項６】
前記膜厚増幅部は、前記支持部を形成する基板のうち少なくとも１つと同一の基板で形成されることを特徴とする請求項１に記載の可動装置。
【請求項７】
前記膜厚増幅部は、平面視において、可動部の中心と駆動部の中心を通る直線に対し線対称な形状であることを特徴とする請求項１に記載の可動装置。
【請求項８】
前記膜厚増幅部は、前記駆動部の前記支持部から延出する方向に平行な第１の幅と、前記方向に平行且つ前記第１の幅より狭い第２の幅を有することを特徴とする請求項１に記載の可動装置。
【請求項９】
前記第１及び第２の幅のそれぞれは、前記方向に直交する方向における前記膜厚増幅部の端部に位置し、前記膜厚増幅部の幅は、前記第１の幅から第２の幅に向かって連続的に狭くなることを特徴とする請求項８に記載の可動装置。
【請求項１０】
前記膜厚増幅部は、前記第１の幅を複数有し、前記第１の幅は、前記方向に直交する方向において前記第２の幅に対して対称に位置することを特徴とする請求項８に記載の可動装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動装置、投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置及び移動体、アイトラッキング装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１では、波数空間上での分散面の形状をアスペクト比４以上とすることで、振り角（光偏向角度）の拡大率（出射角／入射角の比）を例えば４倍以上と大きくすることができる光偏向器が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１１－００２４９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
可動部の振れ角を増大した可動装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明にかかる可動装置は、可動部と、圧電部を備え前記可動部を駆動する駆動部と、前記駆動部を介して前記可動部を支持する支持部と、を有し、前記駆動部は、平面視において前記圧電部の少なくとも一部と重なる領域に、前記駆動部の膜厚を増幅する膜厚増幅部を備え、前記膜厚増幅部は、前記支持部と連続していることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
可動部の振れ角を増大した可動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
従来の可動装置の構成を示す平面図である。
図１に示した可動装置の断面図である。
従来の可動装置の構成を示す変形例の平面図である。
本発明の前提となる印加電圧波形の例（第1回転軸）である。
本発明の前提となる印加電圧波形の例（第２回転軸）である。
本発明の前提となる印加電圧波形の例（円軌道）である。
第１の実施形態に係る平面図である。
駆動力が増幅する現象を説明する図である。
駆動力が増幅する現象を説明する図である。
第１の実施形態に係る概略図（（ａ）平面視（ｂ）断面）である。
第１の実施形態に係る概略図（裏面の平面視）である。
第２の実施形態の可動装置の全体図である。
シミュレーション結果である。
第２の実施形態を説明する概略図である。
第２の実施形態の概略図（（ａ）平面視（ｂ）断面）である。
第２の実施形態の概略図である。
第１の変形例の概略図である。
第２の変形例の概略図である。
第３の変形例の概略図である。
第４の変形例の概略図である。
第５の変形例の概略図である。
第５の変形例の概略図（断面図）である。
光走査システムの一例の概略図である。
光走査システムの他の例の概略図である。
光走査システムの一例のハードウェア構成図である。
制御装置の一例の機能ブロック図である。
光走査システムに係る処理の一例のフローチャートである。
ヘッドアップディスプレイ装置を搭載した自動車の一例の概略図である。
ヘッドアップディスプレイ装置の一例の概略図である。
光書込装置を搭載した画像形成装置の一例の概略図である。
光書込装置の一例の概略図である。
ライダ装置を搭載した自動車の一例の概略図である。
ライダ装置の一例の概略図である。
レーザヘッドランプの構成の一例を説明する概略図である。
ヘッドマウントディスプレイの構成の一例を示す概略斜視図である。
ヘッドマウントディスプレイの構成の一部の一例を示す図である。
瞳孔又は角膜の位置検知装置の構成の一部の一例を示す図である。
瞳孔又は角膜の位置検知装置の構成の一部の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照しながら、発明を実施するための形態を説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【０００９】
＜可動装置の構成＞
【００１０】
はじめに、図１～図３を用いて、従来の可動装置の構成について説明する。なお、以下に説明する可動装置の構成や、各部材を形成する材料は、後述する本発明の実施形態においても適用可能である。
（【００１１】以降は省略されています）

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