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公開番号2025014969
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023117979
出願日2023-07-20
発明の名称ウェーハ剥離洗浄装置
出願人株式会社東京精密
代理人スプリング弁理士法人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250123BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】チッピング等の不良の発生の頻度を低下させるか、処理能力を向上させるか又は枚葉化されたウェーハの品質を向上させるウェーハ剥離洗浄装置を提供する。
【解決手段】インゴットから切り出されてバッチ状態とされたウェーハを1枚ずつスライスベースから剥離して枚葉化し、枚葉洗浄するウェーハ剥離洗浄装置において、剥離ユニットは、ウェーハの一方側の表面を吸着保持する剥離用吸着パッド200、201と、ウェーハの表面に沿い、かつ、スライスベース側からウェーハ側に向かうように、エアを吹き付ける少なくとも1つのエアノズル80、81と、を備え、エアノズルは、吸着保持される1枚目のウェーハと2枚目のウェーハとの間及び2枚目のウェーハ以降に順次隣接するウェーハ同士の間に、エアを吹き付け、1枚目のウェーハと2枚目のウェーハの間に吹き付けられるエアが、2枚目以降のウェーハ同士の間に吹き付けられるエアよりも強くする。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
インゴットから切り出されてバッチ状態とされたウェーハを１枚ずつスライスベースから剥離して枚葉化し、剥離した前記ウェーハを枚葉洗浄するウェーハ剥離洗浄装置において、
前記ウェーハの一方側の表面を吸着保持する剥離用吸着パッドと、
前記ウェーハの表面に沿い、かつ、前記スライスベース側から前記ウェーハ側に向かうように、エアを吹き付け得るよう構成された少なくとも１つのエア供給部と、を備え、
前記エア供給部は、前記吸着保持される前記ウェーハを１枚目のウェーハとしたとき、前記１枚目のウェーハと前記１枚目のウェーハに隣接する２枚目のウェーハとの間、及び、前記２枚目のウェーハ以降に順次隣接する前記ウェーハ同士の間に、前記エアを吹き付け、
前記１枚目のウェーハと前記２枚目のウェーハの間に吹き付けられる前記エアが、前記２枚目以降の前記ウェーハ同士の間に吹き付けられる前記エアよりも強くなるよう構成される、ウェーハ剥離洗浄装置。
続きを表示（約 530 文字）【請求項２】
前記エア供給部は、前記ウェーハの厚み方向に少なくとも１つの長孔状のエア吹き出し口を備える、請求項１に記載のウェーハ剥離洗浄装置。
【請求項３】
前記少なくとも１つの長孔状のエア吹き出し口は、複数の長孔状の前記エア吹き出し口を含む、請求項２に記載のウェーハ剥離洗浄装置。
【請求項４】
前記複数の長孔状のエア吹き出し口のうち、少なくとも２つ以上は、長手方向の長さ、及び／又は、短手方向の長さが互いに異なる、請求項３に記載のウェーハ剥離洗浄装置。
【請求項５】
前記少なくとも１つの長孔状のエア吹き出し口は、前記ウェーハの面の向く方向であって、前記１枚目のウェーハから前記２枚目のウェーハへと向かう方向に、短手方向の長さが段階的、及び／又は、連続的に短くなるよう構成される、請求項２に記載のウェーハ剥離洗浄装置。
【請求項６】
前記少なくとも１つのエア供給部は、複数の前記エア供給部を含み、
前記複数のエア供給部のうち、少なくとも一対の前記エア供給部が、前記ウェーハを挟んで、前記ウェーハの面に沿う方向に対向して配置される、請求項１に記載のウェーハ剥離洗浄装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示はウェーハ剥離洗浄装置に係り、特にワイヤソーで多数枚（複数枚）に同時切断され、バッチ状態（束ねられた状態）とされたウェーハをスライスベースから剥離して枚葉化し、洗浄するウェーハ剥離洗浄装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
ワイヤソーでインゴットを切断すると、ウェーハはスライスベースに接着された状態で切り出される。このため、ウェーハはスライスベースから剥離して枚葉化される。この処理を行う装置として、特許文献１に開示されるウェーハ剥離洗浄装置等が知られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１２００９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたウェーハ剥離洗浄装置は、優れた性能を有し、独創的だった。しかし、枚葉化されたウェーハに要求される品質、及び、装置に要求される処理能力等は絶えず高まり続けている。現下の要求に鑑みると、従来のウェーハ剥離洗浄装置は、チッピング等の不良の発生頻度、処理能力、又は、枚葉化されたウェーハの品質の面で、改善の余地を生じさせつつあった。
【０００５】
本明細書に開示されるウェーハ剥離洗浄装置は、チッピング等の不良の発生の頻度を低下させるか、処理能力を向上させるか、又は、枚葉化されたウェーハの品質を向上させ得る。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書に開示される第１のウェーハ剥離洗浄装置は、インゴットから切り出されてバッチ状態とされたウェーハを１枚ずつスライスベースから剥離して枚葉化し、剥離した上記ウェーハを枚葉洗浄するウェーハ剥離洗浄装置において、上記ウェーハの一方側の表面を吸着保持する剥離用吸着パッドと、上記ウェーハの表面に沿い、かつ、上記スライスベース側から上記ウェーハ側に向かうように、エアを吹き付け得るよう構成された少なくとも１つのエア供給部と、を備え、上記エア供給部は、上記吸着保持される上記ウェーハを１枚目のウェーハとしたとき、上記１枚目のウェーハと上記１枚目のウェーハに隣接する２枚目のウェーハとの間、及び、上記２枚目のウェーハ以降に順次隣接する上記ウェーハ同士の間に、上記エアを吹き付け、上記１枚目のウェーハと上記２枚目のウェーハの間に吹き付けられる上記エアが、上記２枚目以降の上記ウェーハ同士の間に吹き付けられる上記エアよりも強くなるよう構成される、ウェーハ剥離洗浄装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本明細書に開示されるウェーハ剥離洗浄装置は、チッピング等の不良の発生の頻度を低下させるか、処理能力を向上させるか、又は、枚葉化されたウェーハの品質を向上させ得る。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
ウェーハ剥離洗浄装置の全体平面図である。
剥離装置の平面図である。
剥離装置、及び、熱水槽の正面図である。
受渡装置の正面図である。
剥離ユニットの要部の拡大側面図である。
剥離ユニットの要部の拡大正面図である。
エアノズルを表す斜視図である。
剥離時のエアの作用を表す説明図である。
カメラでウェーハＷの上方を撮影した画像の模式図である。
１枚取り調整部の作用の説明図である。
ノズル穴の形状を表す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本明細書に開示される第１のウェーハ剥離洗浄装置は、インゴットから切り出されてバッチ状態とされたウェーハを１枚ずつスライスベースから剥離して枚葉化し、剥離した上記ウェーハを枚葉洗浄するウェーハ剥離洗浄装置において、上記ウェーハの一方側の表面を吸着保持する剥離用吸着パッドと、上記ウェーハの表面に沿い、かつ、上記スライスベース側から上記ウェーハ側に向かうように、エアを吹き付け得るよう構成された少なくとも１つのエア供給部と、を備え、上記エア供給部は、上記吸着保持される上記ウェーハを１枚目のウェーハとしたとき、上記１枚目のウェーハと上記１枚目のウェーハに隣接する２枚目のウェーハとの間、及び、上記２枚目のウェーハ以降に順次隣接する上記ウェーハ同士の間に、上記エアを吹き付け、上記１枚目のウェーハと上記２枚目のウェーハの間に吹き付けられる上記エアが、上記２枚目以降の上記ウェーハ同士の間に吹き付けられる上記エアよりも強くなるよう構成される、ウェーハ剥離洗浄装置である。
【００１０】
インゴットから切り出され、１枚ずつ並んだ状態で一方側の端部（円周面の一部）をスライスベースによって接着保持されたウェーハを１枚ずつ剥離する際、並列するウェーハ同士は、その表面を向かい合わせにするように並んでいる。ウェーハは、ほぼ平行に並んだ状態で剥離までスライスベースに接着保持される。しかし、何らかの理由でウェーハの姿勢が変化する（例えば傾く）場合、ウェーハ同士が接触することがある。
（【００１１】以降は省略されています）

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