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公開番号2025014968
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023117978
出願日2023-07-20
発明の名称ウェーハ剥離洗浄装置
出願人株式会社東京精密
代理人スプリング弁理士法人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250123BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】チッピング等の不良の発生の頻度を低下させるか、処理能力を向上させるか、又は、枚葉化されたウェーハの品質を向上させ得るウェーハ剥離洗浄装置の提供。
【解決手段】インゴットから切り出されてバッチ状態とされたウェーハを1枚ずつスライスベースから剥離して枚葉化し、剥離した上記ウェーハを枚葉洗浄するウェーハ剥離洗浄装置において、上記ウェーハを保持して、上記スライスベースから剥離させるアームを含む剥離ユニットと、上記アームの負荷を検知する負荷検知部と、を備え、上記負荷検知部は、少なくとも上記ウェーハの上記スライスベースからの剥離の際の上記負荷を検知する、ウェーハ剥離洗浄装置。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
インゴットから切り出されてバッチ状態とされたウェーハを１枚ずつスライスベースから剥離して枚葉化し、剥離した前記ウェーハを枚葉洗浄するウェーハ剥離洗浄装置において、
前記ウェーハを保持して、前記スライスベースから剥離させるアームを含む剥離ユニットと、
前記アームの負荷を検知する負荷検知部と、を備え、
前記負荷検知部は、少なくとも前記ウェーハの前記スライスベースからの剥離の際の前記負荷を検知する、ウェーハ剥離洗浄装置。
続きを表示（約 910 文字）【請求項２】
前記剥離された後、前記剥離ユニットにより移送される前記ウェーハを１枚ずつ通過させるよう、その幅が調整されたスリットを含む１枚取り調整部を備え、
前記負荷検知部は、前記スライスベースから剥離された前記ウェーハが、前記アームに保持された状態で移送され、前記スリットを通過する際の前記負荷を検知する、請求項１に記載のウェーハ剥離洗浄装置。
【請求項３】
前記剥離ユニットは、前記アームに保持された前記ウェーハを所定の速度で移送し得るよう構成され、
前記負荷検知部は、前記剥離ユニットによる前記剥離の開始からの時間に基づき計算される前記ウェーハの現在位置から、検出された前記負荷が前記剥離の際のものか、又は、前記スリットの通過の際のものかを判別する、請求項２に記載のウェーハ剥離洗浄装置。
【請求項４】
熱水を貯留し、前記熱水に少なくとも前記スライスベースを浸漬し、前記ウェーハと前記スライスベースとを接着する接着剤の接着力を調整し得るよう構成された熱水槽と、
前記熱水の温度を調節する温調部を備え、
前記温調部は、前記剥離の際の前記負荷の大きさに基づき前記熱水の温度を調節する、請求項１乃至３に記載のウェーハ剥離洗浄装置。
【請求項５】
熱水を貯留し、前記熱水に少なくとも前記スライスベースを浸漬し、前記ウェーハと前記スライスベースとを接着する接着剤の接着力を調整し得るよう構成された熱水槽と、
前記熱水の温度を調節する温調部を備え、
前記剥離の際の前記負荷の大きさについての判定基準が少なくとも２段階以上に分けて予め定められ、前記負荷の大きさが属する段階に応じて、前記温調部により前記熱水の温度が調節されるか、前記剥離の動作が再度実行されるか、又は、前記剥離の動作が中止されて第１アラート情報が生成される、請求項１乃至３に記載のウェーハ剥離洗浄装置。
【請求項６】
前記スリットの通過の際の前記負荷の大きさに基づき第２アラート情報を生成する、請求項２又は３に記載のウェーハ剥離洗浄装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示はウェーハ剥離洗浄装置に係り、特にワイヤソーで多数枚（複数枚）に同時切断され、バッチ状態（束ねられた状態）とされたウェーハをスライスベースから剥離して枚葉化し、洗浄するウェーハ剥離洗浄装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
ワイヤソーでインゴットを切断すると、ウェーハはスライスベースに接着された状態で切り出される。このため、ウェーハはスライスベースから剥離して枚葉化される。この処理を行う装置として、特許文献１に開示されるウェーハ剥離洗浄装置等が知られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１２００９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたウェーハ剥離洗浄装置は、優れた性能を有し、独創的だった。しかし、枚葉化されたウェーハに要求される品質、及び、装置に要求される処理能力等は絶えず高まり続けている。現下の要求に鑑みると、従来のウェーハ剥離洗浄装置は、チッピング等の不良の発生頻度、処理能力、又は、枚葉化されたウェーハの品質の面で、改善の余地を生じさせつつあった。
【０００５】
本明細書に開示されるウェーハ剥離洗浄装置は、チッピング等の不良の発生の頻度を低下させるか、処理能力を向上させるか、又は、枚葉化されたウェーハの品質を向上させ得る。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書に開示される第１のウェーハ剥離洗浄装置は、インゴットから切り出されてバッチ状態とされたウェーハを１枚ずつスライスベースから剥離して枚葉化し、剥離した上記ウェーハを枚葉洗浄するウェーハ剥離洗浄装置において、上記ウェーハを保持して、上記スライスベースから剥離させるアームを含む剥離ユニットと、上記アームの負荷を検知する負荷検知部と、を備え、上記負荷検知部は、少なくとも上記ウェーハの上記スライスベースからの剥離の際の上記負荷を検知する、ウェーハ剥離洗浄装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本明細書に開示されるウェーハ剥離洗浄装置は、チッピング等の不良の発生の頻度を低下させるか、処理能力を向上させるか、又は、枚葉化されたウェーハの品質を向上させ得る。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
ウェーハ剥離洗浄装置の全体平面図である。
剥離装置の平面図である。
剥離装置、及び、熱水槽の正面図である。
受渡装置の正面図である。
剥離ユニットの要部の拡大側面図である。
剥離ユニットの要部の拡大正面図である。
エアノズルを表す斜視図である。
剥離時のエアの作用を表す説明図である。
カメラでウェーハＷの上方を撮影した画像の模式図である。
１枚取り調整部の作用の説明図である。
ノズル穴の形状を表す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本明細書に開示される第１のウェーハ剥離洗浄装置は、インゴットから切り出されてバッチ状態とされたウェーハを１枚ずつスライスベースから剥離して枚葉化し、剥離した上記ウェーハを枚葉洗浄するウェーハ剥離洗浄装置において、上記ウェーハを保持して、上記スライスベースから剥離させるアームを含む剥離ユニットと、上記アームの負荷を検知する負荷検知部と、を備え、上記負荷検知部は、少なくとも上記ウェーハの上記スライスベースからの剥離の際の上記負荷を検知する、ウェーハ剥離洗浄装置である。
【００１０】
第１のウェーハ剥離洗浄装置は、アームの負荷を検知する負荷検知部を備え、スライスベースからのウェーハの剥離の際の負荷を検知する構成とされるため、剥離の際の異常を的確に検知できる。ウェーハは、剥離前の段階では、スライスベースに接着し、自立するよう支持されることが好ましく、剥離動作が開始すれば、アームからの応力によって、簡単にスライスベースから離れることが好ましい。このような好ましい状況は、スライスベースとウェーハとの接着力の調整により実現される。言い換えれば、この接着力が適切に調整されない場合、具体的には、接着力が弱い場合、剥離動作の前にスライスベースからウェーハが浮き上がってしまって、傾いたりして姿勢が所期の状態から変化し、剥離の際に傷ついたりする。逆に、接着力が強い場合、簡単に剥離できずに、剥離動作のやり直しが必要になったり、剥離の際にウェーハが傷ついたりする。
（【００１１】以降は省略されています）

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