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公開番号2025009726
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2023211372
出願日2023-12-14
発明の名称近距離無線通信を活用した半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム{Chemical Storage Container Management System for Semiconductor Process}
出願人セミコンテクグローバルリミテッド
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/02 20060101AFI20250109BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】半導体工程で使用される薬液が貯蔵される薬液貯蔵容器の移動経路を把握し、効果的な半導体工程管理を行う。
【解決手段】ウェーハ加工装置1は、薬液貯蔵容器10に収容された薬液を半導体工程が行われる領域に供給し、薬液貯蔵容器に関連した複数の情報を生成する薬液供給アセンブリ100及び薬液供給アセンブリで生成された複数の情報の転送を受けて、薬液供給アセンブリの運用状況を判断するモニタリング管理部200を含み、薬液供給アセンブリは、該当薬液貯蔵容器のノズル関連情報が保存されたノズル識別タグを含むノズル装着ユニット、薬液貯蔵容器の安置有無を示す容器安置情報と薬液貯蔵容器に予め装着された容器識別タグから、近距離無線通信を介して容器関連情報を取得する容器安置ユニット及び近距離無線通信を介してノズル識別タグからノズル関連情報を取得して容器安置ユニット側に転送するノズル情報取得ユニットを含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
半導体工程に使用される薬液が収容される薬液貯蔵容器に収容された薬液を半導体工程が行われる領域に供給し、上記薬液貯蔵容器に関連した複数の情報を生成する薬液供給アセンブリ、及び
上記薬液供給アセンブリで生成された複数の情報の転送を受けて上記薬液供給アセンブリの運用状況を判断するモニタリング管理部、
を含み、
上記薬液供給アセンブリは、
上記薬液貯蔵容器に脱着可能に設けられ、該当薬液貯蔵容器のノズル関連情報が保存されたノズル識別タグを含むノズル装着ユニット、
上記薬液貯蔵容器を内側に安置させることができるように設けられ、上記薬液貯蔵容器の安置有無を示す容器安置情報と、上記薬液貯蔵容器に予め装着された容器識別タグから近距離無線通信を介して容器関連情報を取得する容器安置ユニット、及び
近距離無線通信を介して上記ノズル識別タグから上記ノズル関連情報を取得して上記容器安置ユニット側に転送するノズル情報取得ユニット、
を含む、
半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
上記ノズル装着ユニットは、
上記薬液貯蔵容器の少なくとも一部の周囲を囲み、上記ノズル識別タグが備えられる第１ノズル装着パート、及び
上記薬液貯蔵容器の残りの周囲を囲む形態で上記第１ノズル装着パートに結合される第２ノズル装着パート、
を含む、
請求項１に記載の半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。
【請求項３】
上記容器安置ユニットは、
内部に上記薬液貯蔵容器が安置される安置空間が形成された容器ホルダー、及び
上記容器ホルダーに備えられ上記安置空間内に上記薬液貯蔵容器が位置しているかを認識することによって容器安置情報を生成し、上記容器関連情報及び上記ノズル関連情報を取得して上記モニタリング管理部に転送する通信ボード、
を含む、
請求項１に記載の半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。
【請求項４】
上記ノズル情報取得ユニットは、
上記ノズル識別タグを識別して上記ノズル関連情報を取得し、上記ノズル関連情報を上記容器安置ユニット側に転送する識別アンテナ、及び
上記識別アンテナを固定させる固定ブラケット、
を含む、
請求項１に記載の半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。
【請求項５】
上記薬液供給アセンブリは、マウントフレームをさらに含み、
上記マウントフレームには複数の上記ノズル情報取得ユニット及び上記容器安置ユニットが互いに１：１でマッチングされるように備えられ、
上記薬液供給アセンブリは複数の薬液貯蔵容器を導入させることができるように形成される、
請求項１に記載の半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。
【請求項６】
上記複数のノズル情報取得ユニット及び上記複数の容器安置ユニットから取得した上記容器安置情報、上記容器関連情報及び上記ノズル関連情報を区分して上記モニタリング管理部に個別転送し、
上記モニタリング管理部によって生成された無線通信ホストプロトコル情報を区分して上記複数のノズル情報取得ユニット及び上記複数の容器安置ユニットに個別転送するゲートウェイをさらに含む、
請求項５に記載の半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。
【請求項７】
上記容器安置情報を受信し、上記薬液貯蔵容器が上記容器安置ユニットにローディング／アンローディングされる過程に係る現況及びエラー発生状況をモニタリングするプリチェッカー端末機をさらに含む、
請求項１に記載の半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。
【請求項８】
上記プリチェッカー端末機は、
上記容器安置情報を受信し、上記薬液貯蔵容器が上記容器安置ユニットにローディング／アンローディングされる過程でアラームを発生させるアラーム部を含む、
請求項７に記載の半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。
【請求項９】
上記モニタリング管理部が上記薬液供給アセンブリに対して既に設定されたエラー状況が発生したものと判断された場合、上記モニタリング管理部の制御命令によって音を再生してアラームを行うサウンド生成装置をさらに含む、
請求項１に記載の半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムに関する。より詳細には、近距離無線通信を活用して半導体工程用薬液貯蔵容器をより効果的に管理及びモニタリングできるシステムに関する。
続きを表示（約 5,800 文字）【背景技術】
【０００２】
一般的に、フォトリソグラフィ工程は、一連の半導体製造工程が先行されたウェーハをコーティング装置のスピンチャック（ＳｐｉｎＣｈｕｃｋ）上に位置させてフォトレジスト（Ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ）をコーティング（Ｃｏａｔｉｎｇ）する工程を含む。
ここで、フォトレジストは、レジン（Ｒｅｓｉｎ）と光によって活性化がなされる感応剤としてのインヒビター（Ｉｎｈｉｂｉｔｏｒ）と液状（Ｌｉｑｕｉｄｓｔａｔｅ）の溶剤（Ｓｏｌｖｅｎｔ）を含んでなる。
そしてフォトレジストは、ガラス瓶で製作された容器に収容された状態で容器キャップに結合されるフォトレジスト供給管（テフロンチューブ）を介してフォトレジスト供給ラインに供給され、フォトレジスト供給ラインに供給されたフォトレジストは、多数のバルブと中間タンクを経由してコーティング装置に供給されることができる。
またフォトリソグラフィ工程では、正確な量のフォトレジストを容器に充填するために、フォトレジストの濃度、汚染及びその他の品質要件を確認するようになり、容器内にフォトレジストを充填した以降は、フォトレジストが収容された容器を半導体製造装備内に備えられる薬液供給装置に連結するようになる。
ただし、このように容器を設置する過程で、作業者のミスによってキャップを混用して他の容器に誤って装着したり、容器が正しい位置に正確に安置されない場合が発生したりもする。
この場合、該当設備で進められる工程全体が中断されることにより、非常に大きいロスが発生するようになるのはもちろん、適切でなかった薬液の供給によって既に製造された製品を廃棄しなければならない場合もあった。
したがって、このような問題点を解決するための方法が要求される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
韓国公開特許第１０－２０１４－００４７６３６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上述した従来技術の問題点を解決するために案出された発明であって、半導体工程で使用される薬液が貯蔵される薬液貯蔵容器の移動経路を把握し、ノズルの混用を防止する一方、薬液貯蔵容器の流通期限、廃棄可否を自動で判断することによって、効果的な半導体工程管理を行うことができるようにするための目的を有する。
本発明の課題は、上で言及した課題に制限されず、言及されていないまた他の課題は、下記の記載から当業者に明確に理解され得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するための本発明の近距離無線通信を活用した半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムは、半導体工程に使用される薬液が収容される薬液貯蔵容器に収容された薬液を半導体工程が行われる領域に供給し、上記薬液貯蔵容器に関連した複数の情報を生成する薬液供給アセンブリ、及び上記薬液供給アセンブリで生成された複数の情報の転送を受けて上記薬液供給アセンブリの運用状況を判断するモニタリング管理部を含み、上記薬液供給アセンブリは、上記薬液貯蔵容器に脱着可能に設けられ、該当薬液貯蔵容器のノズル関連情報が保存されたノズル識別タグを含むノズル装着ユニット、上記薬液貯蔵容器を内側に安置させることができるように設けられ、上記薬液貯蔵容器の安置有無を示す容器安置情報と、上記薬液貯蔵容器に予め装着された容器識別タグから近距離無線通信を介して容器関連情報を取得する容器安置ユニット、及び近距離無線通信を介して上記ノズル識別タグから上記ノズル関連情報を取得して上記容器安置ユニット側に転送するノズル情報取得ユニットを含む。
このとき上記ノズル装着ユニットは、上記薬液貯蔵容器の少なくとも一部の周囲を囲み、上記ノズル識別タグが備えられる第１ノズル装着パート、及び上記薬液貯蔵容器の残りの周囲を囲む形態で上記第１ノズル装着パートに結合される第２ノズル装着パートを含む。
そして上記容器安置ユニットは、内部に上記薬液貯蔵容器が安置される安置空間が形成された容器ホルダー、及び上記容器ホルダーに備えられ上記安置空間内に上記薬液貯蔵容器が位置しているかを認識することによって容器安置情報を生成し、上記容器関連情報及び上記ノズル関連情報を取得して上記モニタリング管理部に転送する通信ボードを含むことができる。
また上記ノズル情報取得ユニットは、上記ノズル識別タグを識別して上記ノズル関連情報を取得し、上記ノズル関連情報を上記容器安置ユニット側に転送する識別アンテナ、及び上記識別アンテナを固定させる固定ブラケットを含むことができる。
一方上記薬液供給アセンブリは、マウントフレームをさらに含み、上記マウントフレームには複数の上記ノズル情報取得ユニット及び上記容器安置ユニットが互いに１：１でマッチングされるように備えられ、上記薬液供給アセンブリは複数の薬液貯蔵容器を導入させることができるように形成されることができる。
さらに本発明は、上記複数のノズル情報取得ユニット及び上記複数の容器安置ユニットから取得した上記容器安置情報、上記容器関連情報及び上記ノズル関連情報を区分して上記モニタリング管理部に個別転送し、上記モニタリング管理部によって生成された無線通信ホストプロトコル情報を区分して上記複数のノズル情報取得ユニット及び上記複数の容器安置ユニットに個別転送するゲートウェイをさらに含むことができる。
これとともに本発明は、上記容器安置情報を受信し、上記薬液貯蔵容器が上記容器安置ユニットにローディング／アンローディングされる過程に係る現況及びエラー発生状況をモニタリングするプリチェッカー端末機をさらに含むことができる。
このとき上記プリチェッカー端末機は、上記容器安置情報を受信し、上記薬液貯蔵容器が上記容器安置ユニットにローディング／アンローディングされる過程でアラームを発生させるアラーム部を含むことができる。
【０００６】
さらに本発明は、上記モニタリング管理部が上記薬液供給アセンブリに対して既に設定されたエラー状況が発生したものと判断された場合、上記モニタリング管理部の制御命令によって音を再生してアラームを行うサウンド生成装置をさらに含むことができる。
【発明の効果】
【０００７】
上記の課題を解決するための本発明の近距離無線通信を活用した半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムは、薬液貯蔵容器に装着されるノズル装着ユニット及び薬液貯蔵容器が安置される容器安置ユニットからそれぞれ生成されて近距離無線通信によって収集されたノズル関連情報、容器安置情報及び容器関連情報をモニタリング管理部が転送を受けて活用することによって効果的な半導体工程管理を行うことができるという長所を有する。
特に本発明は、モニタリング管理部が薬液貯蔵容器の移動経路を把握し、ノズルキャップの混用を防止する一方、薬液貯蔵容器の流通期限、廃棄可否を自動で判断し、工程失敗の原因を抜本的に取除くことによって、工程運用過程における全体費用を大きく節減し、生産性を向上することができる。
本発明の効果は、以上で言及した効果に制限されず、言及されないまた他の効果は、請求の範囲の記載から当業者に明確に理解され得るものである。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムが適用されたウェーハ加工装置の形態を示した図である。
本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、薬液供給アセンブリの形態を示した図である。
本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、薬液供給アセンブリに薬液貯蔵容器が安置される形態を示した図である。
本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、ノズル装着ユニットの構造を示した図である。
本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、ノズル情報取得ユニットの構造を示した図である。
本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、容器安置ユニットの構造を示した図である。
本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムの全体構成要素、及びこれらの間のデータの流れを概略的に示した図である。
本発明の第２実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、ノズル情報取得ユニットの構造を示した図である。
本発明の第２実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、ノズル情報取得ユニットの構造を示した図である。
本発明の第２実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、薬液供給アセンブリに薬液貯蔵容器を安置させる過程を示した図である。
本発明の第２実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、薬液供給アセンブリに薬液貯蔵容器を安置させる過程を示した図である。
本発明の第３実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、容器旋回ユニットの構造を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本明細書で、ある構成要素（または領域、層、部分など）が、他の構成要素「上にある」、「連結される」、または「結合される」との言及される場合に、それは他の構成要素上に直接配置／連結／結合されることができるか、またはそれらの間に第３の構成要素が配置されることもできるということを意味する。
同一の図面符号は同一の構成要素を指す。また、図面において、構成要素の厚さ、比率、及び寸法は、技術的内容の効果的な説明のために誇張されたものである。
「及び／または」は関連した構成が定義できる1つ以上の組み合わせを全て含む。
第１、第２等の用語は、多様な構成要素を説明するのに使用され得るが、上記構成要素は上記用語によって限定されてはならない。上記用語は、1つの構成要素を他の構成要素から区別する目的でのみ使用される。例えば、本発明の権利範囲を逸脱せずに第１構成要素は第２構成要素と命名されることができ、似たように第２構成要素も第１構成要素と命名され得る。単数の表現は、文脈上明白に異なって意図しない限り、複数の表現を含む。
また、「下に」、「下側に」、「上に」、「上側に」などの用語は、図面に示された構成の関連関係を説明するために使用される。上記用語は相対的な概念であって、図面に表示された方向を基準として説明される。
別に定義されない限り、本明細書で使用された全ての用語（技術用語及び科学用語含む）は、本発明が属する技術分野の当業者によって一般的に理解されるものと同一の意味を有する。また、一般的に使用される辞書で定義された用語のような用語は、関連技術の脈絡での意味と一致する意味を有するものと解釈されるべきであり、理想的又はあまりにも形式的な意味で解釈されない限り、明示的にここで定義される。
「含む」または「有する」などの用語は、明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらの組合せが存在することを指定しようとするものであって、1つまたはそれ以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部分品またはこれらの組合せの存在または付加の可能性を予め排除しないものと理解されなければならない。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳しく説明することにする。
図１は、本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムが適用されたウェーハ加工装置１の形態を示した図である。
図１に示されたようなウェーハ加工装置１００は、ウェーハを加工するための多様な構成要素を含むことができる。
【００１０】
例えば、ウェーハ加工装置１は、ウェーハの切断、研磨、エッチング、コーティングなどを含む多様な加工工程が行われる複数の工程領域を含むことができる。
その中でも本実施例でのウェーハ加工装置１は、ウェーハ上にフォトレジスト（Ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ）をコーティング（Ｃｏａｔｉｎｇ）する工程領域を含むことができ、これによりウェーハにフォトレジストのような薬液を供給するための1つ以上の薬液供給アセンブリ１００がウェーハ加工装置１内に備えられることができる。
そしてウェーハ加工装置１には、薬液供給アセンブリ１００とともに、薬液供給アセンブリ１００の運用状況を判断するモニタリング管理部２００が備えられることができ、薬液供給アセンブリ１００及びモニタリング管理部２００は、共に半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムを構成するようになる。
以下では、本発明による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムについて詳細に説明することにする。
図２は本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、薬液供給アセンブリ１００の形態を示した図であり、図３は本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、薬液供給アセンブリ１００に薬液貯蔵容器１０が安置される形態を示した図である。
図２及び図３に示されたように、本実施例で薬液供給アセンブリ１００は、薬液貯蔵容器１０に収容された薬液を半導体工程が行われる領域に供給する役割を行い、細部的にはノズル装着ユニット１２０、容器安置ユニット１３０、ノズル情報取得ユニット１４０及びマウントフレーム１１０を含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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