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公開番号2024180436
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-26
出願番号2024176392,2023175930
出願日2024-10-08,2016-01-29
発明の名称X線発生管、X線発生装置およびX線撮影システム
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01J 35/06 20060101AFI20241219BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】焦点の大きさ形状の安定性が高く、信頼性の高いX線発生管を提供する。
【解決手段】電子放出部と、複数のグリッド電極と、複数のグリッド電極を支持する絶縁支持部材と、を有す電子銃を備えたX線発生管であって、電子銃は、電子放出部から放出されグリッド電極を通過する電子からみて絶縁支持部材が直視されないように遮る導電部を有している。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
電子の照射によりＸ線を発生するターゲットと、
電子を放出する電子放出部と、前記ターゲットに向けて照射される電子ビームを形成するグリッド電極の複数と、前記複数のグリッド電極の少なくとも２つを電気的に絶縁し支持する絶縁支持部材と、を有する電子銃と、を有するＸ線発生管であって、
前記電子銃は、前記電子放出部から放出され前記グリッド電極を通過する前記電子からみて前記絶縁支持部材が直視されないように遮る導電部を有していることを特徴とするＸ線発生管。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記導電部は、電圧源により電位規定されていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線発生管。
【請求項３】
前記グリッド電極は、前記電圧源に電気的に接続され、
前記導電部は、前記グリッド電極の部分であることを特徴とする請求項２に記載のＸ線発生管。
【請求項４】
前記グリッド電極は、前記電子通過路を規定する電子通過孔が設けられ、管径方向に延在する環状部と、前記環状部に連なり前記電子通過路に沿って延在する管状部と、を有し、
前記導電部は、前記管状部の少なくとも一部であることを特徴とする請求項１に記載のＸ線発生管。
【請求項５】
前記グリッド電極は、前記環状部が前記電子放出部と対向するように配置され、前記管状部が管軸方向において前記電子放出部に重なるように配置された引き出しグリッド電極を含むことを特徴とする請求項４に記載のＸ線発生管。
【請求項６】
前記複数のグリッド電極は、互いの前記環状部が管軸方向に対向し、互いの前記管状部が管径方向に対向する部分を有する、少なくとも一対のグリッド電極を含むことを特徴とする請求項４または５に記載のＸ線発生管。
【請求項７】
前記一対のグリッド電極において、前記環状部が前記電子放出部に近い側に位置する前記グリッド電極の前記管状部は、前記環状部が前記電子放出部から遠い側に位置する前記グリッド電極の前記管状部より、管径方向において、外側に位置していることを特徴とする請求項６に記載のＸ線発生管。
【請求項８】
前記複数のグリッド電極は、前記ターゲットに対向する環状部を有し、前記ターゲット上に形成する焦点の大きさを規定する集束グリッド電極を含み、
前記電子通過路は、前記電子放出部から放出された前記電子が前記集束グリッド電極を通過するまでの通過経路に対応することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のＸ線発生管。
【請求項９】
前記電子銃は、管径方向における外側から見て前記絶縁支持部材が直視されない様に、
前記絶縁支持部材の管径方向における外側に外周管状部を有し、前記導電部は前記外周管状部の部分であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のＸ線発生管。
【請求項１０】
前記外周管状部は、前記グリッド電極の部分であることを特徴とする請求項９に記載のＸ線発生管。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、医療機器および産業機器分野における非破壊Ｘ線撮影等に適用できるＸ線発生装置、および該Ｘ線発生装置を備えるＸ線撮影システムに関する。
続きを表示（約 980 文字）【背景技術】
【０００２】
近年半導体デバイス等の微細化や多層化が進み産業分野における半導体集積回路基板に代表される電子デバイス検査においてはＸ線発生管を備えたＸ線検査装置が用いられている。
【０００３】
ターゲットに電子ビームを照射する電子源として、管軸方向に沿ってターゲットに向けて突出させた電子銃を備えたＸ線発生管が知られている。
【０００４】
特許文献１には、ターゲット側に複数のグリッド電極を備える電子銃とすることにより、ターゲット上に形成される焦点の位置精度とマイクロフォーカス化が図られることが開示されている。
【０００５】
また、かかる電子銃が備える複数のグリッド電極は、それぞれが絶縁性の部材により支持されることにより、電極間の距離が規定されるとともに、各電極に所定の電位が印加されるように構成されている。
【０００６】
特許文献２には、微小焦点化を意図して、管軸方向に延びる絶縁性の支柱に複数のグリッド電極が間隔をあけて支持された電子銃を備えたＸ線発生管が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２００２‐２９８７７２号公報
特開２００７‐６６６９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
複数のグリッド電極が絶縁部材により支持されたグリッド電極を電子銃に備えるＸ線発生管が適用されたＸ線撮影システムにおいて、撮影画像の品質低下が生じる場合があった。
【０００９】
本願発明者の検討により、Ｘ線発生管の動作履歴に伴い発生する焦点位置または焦点形状の変動が、かかる撮影品質の低下に関係していることが判った。
【００１０】
本願発明は、絶縁部材に支持されたグリッド電極を有した電子銃を備え、焦点の位置または形状の変動が抑制された信頼性の高いＸ線発生管、Ｘ線発生装置を提供することを目的とする。また、本願発明は、本願発明に係るＸ線発生装置を備えることにより、高画質のＸ線撮影が可能なＸ線撮影システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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