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公開番号2024174686
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-17
出願番号2023092649
出願日2023-06-05
発明の名称光導波路装置
出願人新光電気工業株式会社
代理人個人,個人
主分類G02B 6/122 20060101AFI20241210BHJP(光学)
要約【課題】シリコンフォトニクスチップの搭載前に光導波路の検査が可能な光導波路装置を提供する。
【解決手段】本光導波路装置は、第1クラッド層と、前記第1クラッド層の上に形成された複数のコア層と、前記第1クラッド層の上に形成され、前記コア層を選択的に被覆する第2クラッド層と、を有し、前記第1クラッド層の上に、前記第2クラッド層に被覆されていない第1領域が設けられ、複数の前記コア層は、一端が前記第1領域に配置され、信号光を入出力する複数の信号用コア層と、一端及び他端が外周面に露出し、検査光を入出力する検査用コア層と、を含み、前記検査用コア層は、前記信号用コア層と同一材料により形成され、前記検査用コア層の短手方向の断面形状は、前記信号用コア層の短手方向の断面形状と同一である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１クラッド層と、
前記第１クラッド層の上に形成された複数のコア層と、
前記第１クラッド層の上に形成され、前記コア層を選択的に被覆する第２クラッド層と、を有し、
前記第１クラッド層の上に、前記第２クラッド層に被覆されていない第１領域が設けられ、
複数の前記コア層は、
一端が前記第１領域に配置され、信号光を入出力する複数の信号用コア層と、
一端及び他端が外周面に露出し、検査光を入出力する検査用コア層と、を含み、
前記検査用コア層は、前記信号用コア層と同一材料により形成され、
前記検査用コア層の短手方向の断面形状は、前記信号用コア層の短手方向の断面形状と同一である、光導波路装置。
続きを表示（約 610 文字）【請求項２】
前記第１クラッド層は、平面視で４つ以上の辺を備え、
平面視で、前記検査用コア層の少なくとも一端が位置する辺は、前記信号用コア層の他端が位置する辺と相違する、請求項１に記載の光導波路装置。
【請求項３】
平面視で、前記検査用コア層の他端が位置する辺は、前記信号用コア層の他端が位置する辺と同一である、請求項２に記載の光導波路装置。
【請求項４】
平面視で、第１辺と、前記第１辺と平行な第２辺と、を備えた突起部を有し、
平面視で、前記検査用コア層の一端は、前記第１辺に位置し、他端は前記第２辺に位置し、
平面視で、前記検査用コア層の長手方向は、前記第１辺及び前記第２辺と垂直である、請求項１に記載の光導波路装置。
【請求項５】
平面視で、前記検査用コア層は、前記第１クラッド層の角部に配置されている、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の光導波路装置。
【請求項６】
平面視で、前記検査用コア層は、前記信号用コア層と非平行な部分を含む、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の光導波路装置。
【請求項７】
前記第１領域にシリコンフォトニクスチップが配置され、
前記シリコンフォトニクスチップは、複数の前記信号用コア層の前記一端と光結合している、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の光導波路装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
コア層とクラッド層とを含む光導波路を有する光導波路装置が知られている。このような光導波路装置は、シリコンフォトニクスチップが搭載されて光導波路と光結合され、各種のコンピュータやデータ通信などの装置が設置されたデータセンター等において使用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許２０１１－２３７５０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような光導波路装置では、シリコンフォトニクスチップが搭載されていない状態では、非破壊で光導波路の検査を行うことが困難な場合がある。しかし、シリコンフォトニクスチップが搭載された後でないと光導波路の検査ができない場合、光導波路の不良を事前に発見できない。そのため、シリコンフォトニクスチップが搭載された光導波路装置が不良品となってしまい、歩留まりの低下につながる。
【０００５】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、シリコンフォトニクスチップの搭載前に光導波路の検査が可能な光導波路装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本光導波路装置は、第１クラッド層と、前記第１クラッド層の上に形成された複数のコア層と、前記第１クラッド層の上に形成され、前記コア層を選択的に被覆する第２クラッド層と、を有し、前記第１クラッド層の上に、前記第２クラッド層に被覆されていない第１領域が設けられ、複数の前記コア層は、一端が前記第１領域に配置され、信号光を入出力する複数の信号用コア層と、一端及び他端が外周面に露出し、検査光を入出力する検査用コア層と、を含み、前記検査用コア層は、前記信号用コア層と同一材料により形成され、前記検査用コア層の短手方向の断面形状は、前記信号用コア層の短手方向の断面形状と同一である。
【発明の効果】
【０００７】
開示の技術によれば、シリコンフォトニクスチップの搭載前に光導波路の検査が可能な光導波路装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態に係る光導波路装置を例示する図である。
検査用コア層の検査方法について説明する模式図である。
第１実施形態の変形例１に係る光導波路装置を例示する平面図である。
第１実施形態の変形例２に係る光導波路装置を例示する平面図である。
第１実施形態の変形例３に係る光導波路装置を例示する平面図である。
第１実施形態の変形例４に係る光導波路装置を例示する平面図である。
第１実施形態の変形例５に係る光導波路装置を例示する平面図である。
第１実施形態の変形例６に係る光導波路装置を例示する部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【００１０】
〈第１実施形態〉
［光導波路装置］
図１は、第１実施形態に係る光導波路装置を例示する図であり、図１（ａ）は、平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ－Ａ線に沿う断面図、図１（ｃ）は図１（ａ）のＢ－Ｂ線に沿う断面図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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