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公開番号2024172999
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-12
出願番号2023091102
出願日2023-06-01
発明の名称測定装置
出願人横河電機株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01N 21/3504 20140101AFI20241205BHJP(測定;試験)
要約【課題】被測定対象の状態を測定するときの測定時間を短縮可能な測定装置を提供する。
【解決手段】本開示に係る測定装置1は、第1方向D1に長尺な第1照射形状を有する第1照射光L1及び第1方向D1と異なる第2方向D2に長尺な第2照射形状を有する第2照射光L2を含む照射光Lを照射する照射部11と、照射光Lに基づく被測定光を受光する受光部12と、受光部12での受光信号に基づいて被測定対象Sの状態を測定する制御部90と、を備え、制御部90は、第1方向D1と交わる第1走査方向に第1照射光L1を走査させ、第2方向D2と交わる第2走査方向に第2照射光L2を走査させる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１方向に長尺な第１照射形状を有する第１照射光及び前記第１方向と異なる第２方向に長尺な第２照射形状を有する第２照射光を含む照射光を照射する照射部と、
前記照射光に基づく被測定光を受光する受光部と、
前記受光部での受光信号に基づいて被測定対象の状態を測定する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記第１方向と交わる第１走査方向に前記第１照射光を走査させ、前記第２方向と交わる第２走査方向に前記第２照射光を走査させる、
測定装置。
続きを表示（約 940 文字）【請求項２】
請求項１に記載の測定装置であって、
前記照射部は、一方向に長尺な照射形状を有する前記照射光を照射し、
前記照射部から照射される前記照射光の長尺方向を前記第１方向と前記第２方向との間で変移させる変移部をさらに備える、
測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の測定装置であって、
前記変移部は、前記照射部及び前記受光部を含む光学系の全体を回転させる、
測定装置。
【請求項４】
請求項２に記載の測定装置であって、
前記変移部は、前記照射部の全体を回転させる、
測定装置。
【請求項５】
請求項２に記載の測定装置であって、
前記変移部は、前記照射部において光源に対し配置されているレンズを回転させる、
測定装置。
【請求項６】
請求項１に記載の測定装置であって、
前記照射部は、前記第１照射光を照射する第１照射部と前記第２照射光を照射する第２照射部とを有する、
測定装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の測定装置であって、
前記照射部は、前記照射光が前記受光部の画角内で広がるように前記照射光を照射する、
測定装置。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の測定装置であって、
前記制御部は、前記第１走査方向に前記第１照射光を走査させたときの前記被測定対象の第１検知領域と、前記第２走査方向に前記第２照射光を走査させたときの前記被測定対象の第２検知領域と、の間の交差領域を前記被測定対象の存在領域として特定する、
測定装置。
【請求項９】
請求項８に記載の測定装置であって、
前記制御部は、前記存在領域を含む可視画像において前記存在領域を他の領域と異なる態様で表示させる、
測定装置。
【請求項１０】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の測定装置であって、
前記第１方向と前記第２方向とは、互いに直交する、
測定装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、測定装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ガスのような被測定対象の有無及び濃度などを含む被測定対象の状態を測定する技術が知られている。例えば、特許文献１には、レーザー光を走査して２次元的なガス分布を取得することで、効率良く高精度にガスを測定するガス検知システムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－１５２４３５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、被測定対象の状態を測定するときの測定時間の短縮という観点では改善の余地があった。
【０００５】
本開示は、被測定対象の状態を測定するときの測定時間を短縮可能な測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
幾つかの実施形態に係る測定装置は、第１方向に長尺な第１照射形状を有する第１照射光及び前記第１方向と異なる第２方向に長尺な第２照射形状を有する第２照射光を含む照射光を照射する照射部と、前記照射光に基づく被測定光を受光する受光部と、前記受光部での受光信号に基づいて被測定対象の状態を測定する制御部と、を備え、前記制御部は、前記第１方向と交わる第１走査方向に前記第１照射光を走査させ、前記第２方向と交わる第２走査方向に前記第２照射光を走査させる。
【０００７】
これにより、測定装置は、被測定対象の状態を測定するときの測定時間を短縮可能である。測定装置は、第１方向に長尺な第１照射形状を有する第１照射光を第１方向と交わる第１走査方向に走査し、第１方向と異なる第２方向に長尺な第２照射形状を有する第２照射光を第２方向と交わる第２走査方向に走査する。これにより、スポット状のレーザー光を照射する従来技術と比較して、照射光が走査の１ステップごとに照射する領域が増大する。したがって、１ステップごとに必要とされる空間的な走査間隔も大きくなる。結果として、測定装置は、走査時間を短縮して、被測定対象の状態の測定処理を高速化可能である。
【０００８】
一実施形態における測定装置では、前記照射部は、一方向に長尺な照射形状を有する前記照射光を照射し、前記照射部から照射される前記照射光の長尺方向を前記第１方向と前記第２方向との間で変移させる変移部をさらに備えてもよい。
【０００９】
これにより、測定装置は、複数の照射部を必要とせずに、一方向に長尺な照射形状を有する照射光を照射する単一の照射部を用いて、複数の異なる方向に長尺な照射形状をそれぞれ有する複数の照射光を異なるタイミングで照射可能である。例えば、測定装置は、第１方向に長尺な第１照射形状を有する第１照射光及び第１方向と異なる第２方向に長尺な第２照射形状を有する第２照射光を異なるタイミングで照射可能である。
【００１０】
一実施形態における測定装置では、前記変移部は、前記照射部及び前記受光部を含む光学系の全体を回転させてもよい。これにより、測定装置は、照射部の回転と同期して受光部も回転させることが可能である。測定装置は、被測定対象の状態の測定に用いる光学系の内部において照射部と受光部との間の相対的な配置関係を維持した状態で照射光の照射形状を回転させることが可能である。
（【００１１】以降は省略されています）

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