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公開番号2024166156
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-28
出願番号2024079744
出願日2024-05-15
発明の名称ウェーハ搬送システム
出願人エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー
代理人個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20241121BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基材処理装置を提供する。
【解決手段】装置は、前壁、後壁、前壁と後壁との間の第一および第二の側壁、トップ壁、ならびに底壁によって囲まれるハウジングを備えるウェーハ搬送システム(EFEM)と、前壁に連結し、フロントオープニングユニファイドポッド(FOUP)を受け取るように構成されるロードポートと、後壁に連結し、基材をロードまたはアンロードするように構成されるロードロックチャンバーと、ハウジング内に配置され、FOUPとロードロックとの間で基材を搬送するように構成されるフロントエンドロボットと、トップ壁に連結し、濾過された空気をハウジングに供給するように構成されるファンフィルターユニット(FFU)と、FFUの上方に設けられる空気取込ポートであって、空気を導入するための給気口と、FFUに空気を供給するための空気排出口とを備え、給気口のサイズが空気排出口のサイズより大きい。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基材処理装置であって、
前壁、後壁、前記前壁と前記後壁との間の第一および第二の側壁、トップ壁、ならびに底壁によって囲まれるハウジングを備えるウェーハ搬送システム（ＥＦＥＭ）と、
前記前壁に連結し、フロントオープニングユニファイドポッド（ＦＯＵＰ）を受け取るように構成されるロードポートと、
前記後壁に連結し、基材をロードまたはアンロードするように構成されるロードロックチャンバーと、
前記ハウジング内に配置され、前記ＦＯＵＰと前記ロードロックとの間で前記基材を搬送するように構成されるフロントエンドロボットと、
前記トップ壁に連結し、濾過された空気を前記ハウジングに供給するように構成されるファンフィルターユニット（ＦＦＵ）と、
前記ＦＦＵの上方に設けられる空気取込ポートであって、前記空気取込ポートが空気を導入するための給気口と、前記ＦＦＵに前記空気を供給するための空気排出口とを備え、
前記給気口のサイズが前記空気排出口のサイズよりも大きい、空気取込ポートと、を備える、基材処理装置。
続きを表示（約 640 文字）【請求項２】
前記給気口の表面積が、０．２４ｍ
２
～０．５６ｍ
２
である、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記空気排出口の表面積が、０．１ｍ
２
～０．３２ｍ
２
である、請求項１および２のいずれかに記載の装置。
【請求項４】
前記空気取込ポート内に配置されるフィンをさらに備える、請求項１～３のいずれかに記載の装置。
【請求項５】
前記空気取込ポートが、前記空気を導入するための前記給気口を備えるトップ部と、前記空気を前記ＦＦＵに供給するための前記空気排出口を備える底部と、をさらに備える、請求項１～４のいずれかに記載の装置。
【請求項６】
前記トップ部が直方体形状を有する、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記底部が四角錐台（切頭四角錐）形状を有する、請求項５および６のいずれかに記載の装置。
【請求項８】
前記底部の第一の表面積が、前記底部の第二の表面積よりも大きい、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記トップ部の表面積が、前記底部の前記第一の表面積よりも大きい、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記空気取込ポートに沿って配置される電装ボックスをさらに備える、請求項１～９のいずれかに記載の装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、概ね、ウェーハ搬送システムに関する。より具体的には、本開示の例は、ウェーハ搬送システムの空気取込ポートに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体の分野では、基材を保持するために、フロントオープニングユニファイドポッド（ＦＯＵＰ）が提供される。基材搬送ロボットは、ＦＯＵＰ内の基材をウェーハ搬送システム（ＥＦＥＭ）に搬送する。基材が汚染されることを防止することが望ましい。一般的に、基材を許容可能な環境内に維持するために、清浄な空気が空気取込ポートからＥＦＥＭの内部に導入されることができる。
【０００３】
空気取込ポートの形状により、清浄ガスがＥＦＥＭ内に拡散しない状況が発生する可能性がある。したがって、清浄ガスをＥＦＥＭ内に効果的かつ効率的に拡散できるシステムが必要とされている。
【０００４】
このセクションに記載の、問題および解決策の考察を含む、いずれの考察も、本開示の背景を提供する目的でのみこの開示に含まれており、考察のいずれかまたはすべてが、本発明がなされた時点において既知であったこと、またはそれらが他に先行技術を構成することを認めるものと、考えられるべきではない。
【発明の概要】
【０００５】
この概要は、選択された概念を、単純化した形態で紹介するために提供される。これらの概念は、下記の開示の例示の実施形態の、詳細な説明において、さらに詳細に記述される。この「発明の概要」は、特許請求される主題の主要な特徴または本質的な特徴を特定することを意図せず、特許請求される主題の範囲を限定するために使用されることも意図しない。
【０００６】
本開示の例示的な実施形態によると、基材処理装置が提供される。装置は、前壁、後壁、前壁と後壁との間の第一および第二の側壁、トップ壁、ならびに底壁によって囲まれるハウジングを備えるウェーハ搬送システム（ＥＦＥＭ）と、前壁に連結し、フロントオープニングユニファイドポッド（ＦＯＵＰ）を受け取るように構成されるロードポートと、後壁に連結し、基材をロードまたはアンロードするように構成されるロードロックチャンバーと、ハウジング内に配置され、ＦＯＵＰとロードロックとの間で基材を搬送するように構成されるフロントエンドロボットと、トップ壁に連結し、濾過された空気をハウジングに供給するように構成されるファンフィルターユニット（ＦＦＵ）と、ＦＦＵの上方に設けられる空気取込ポートであって、空気を導入するための給気口と、ＦＦＵに空気を供給するための空気排出口とを備え、給気口のサイズが空気排出口のサイズよりも大きい、空気取込ポートと、を備えてもよい。
【０００７】
様々な実施形態では、給気口の表面積は、０．２４ｍ
２
～０．５６ｍ
２
としてもよい。
【０００８】
様々な実施形態では、空気排出口の表面積は、０．１ｍ
２
～０．３２ｍ
２
としてもよい。
【０００９】
様々な実施形態では、基材処理装置は、空気取込ポート内に配置されるフィンをさらに備えてもよい。
【００１０】
様々な実施形態では、空気取込ポートは、空気を導入するための給気口を備えるトップ部と、空気をＦＦＵに供給するための空気排出口を備える底部と、をさらに備えることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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