特許ウォッチ

公開番号2024165534
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-28
出願番号2023081811
出願日2023-05-17
発明の名称保持装置の製造方法および保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20241121BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保持装置の製造コストを抑制できる保持装置の製造方法および保持装置を提供すること。
【解決手段】本開示の一態様は、静電チャック1の製造方法において、第2シート部材92の厚み方向端面92aにヒータ電極51をスキージにより印刷するヒータ電極印刷工程S1と、第1シート部材91の厚み方向に延びるビア71を第1シート部材91に複数形成するビア形成工程S2と、第1シート部材91と第2シート部材92をヒータ電極51とビア71とが接続するように積層して焼成することにより、ヒータ電極51から第2部材42の上面42aまで延びるビア71を複数備える第2部材42を形成する第2部材形成工程S3と、ビア71を使用してヒータ電極51の抵抗値を測定する抵抗値測定工程S4と、ヒータ電極51の抵抗値を測定した第2部材42にベース部材20を接合するベース部材接合工程S5と、を有する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
板状の第１部材と板状の第２部材が接合する板状部材と、
前記板状部材に対して前記第２部材側に配置されるベース部材と、を有し、
前記第１部材は、前記第２部材との接合面とは反対側にて対象物を保持する保持面を備え、
前記第２部材は、その内部にヒータ電極を備える
保持装置の製造方法において、
第１シート部材または第２シート部材の厚み方向端面に前記ヒータ電極をスキージにより印刷するヒータ電極印刷工程と、
前記第１シート部材の厚み方向に延びるビアを前記第１シート部材に複数形成するビア形成工程と、
前記第１シート部材と前記第２シート部材を前記ヒータ電極と前記ビアとが接続するように積層して焼成することにより、前記ヒータ電極から前記第２部材の厚み方向端面まで延びる前記ビアを複数備える前記第２部材を形成する第２部材形成工程と、
前記ビアを使用して前記ヒータ電極の抵抗値を測定する抵抗値測定工程と、
前記ヒータ電極の抵抗値を測定した前記第２部材に前記ベース部材を接合するベース部材接合工程と、を有すること、
を特徴とする保持装置の製造方法。
続きを表示（約 990 文字）【請求項２】
請求項１の保持装置の製造方法において、
前記ヒータ電極の抵抗値を測定した前記第２部材に前記第１部材を接合して前記板状部材を形成する板状部材形成工程を有すること、
を特徴とする保持装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２の保持装置の製造方法において、
前記ビアは、上面視において、少なくとも前記ヒータ電極印刷工程におけるスキージ方向とその垂直方向に対して４５°傾いた方向の位置に配置されていること、
を特徴とする保持装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１または２の保持装置の製造方法において、
前記抵抗値測定工程を行った後に前記ヒータ電極の加工を行うヒータ電極加工工程を有すること、
を特徴とする保持装置の製造方法。
【請求項５】
板状の第１部材と板状の第２部材が接合する板状部材と、
前記板状部材に対して前記第２部材側に配置されるベース部材と、を有し、
前記第１部材は、前記第２部材との接合面とは反対側にて対象物を保持する保持面を備え、
前記第２部材は、その内部にヒータ電極を備える
保持装置において、
前記第２部材は、前記ヒータ電極から前記第２部材の厚み方向端面まで延びるビアを複数備えること、
を特徴とする保持装置。
【請求項６】
請求項５の保持装置において、
前記ビアの径は、前記ヒータ電極の線幅よりも小さいこと、
を特徴とする保持装置。
【請求項７】
請求項５または６の保持装置において、
前記ヒータ電極は、複数のゾーンにより構成されており、
前記ビアは、前記ゾーン毎に設けられていること、
を特徴とする保持装置。
【請求項８】
請求項５または６の保持装置において、
前記ビアは、
前記第１部材側に延びている場合には、前記第１部材側から見たときに前記第１部材内の位置に設けられるようにして、外部に露出しておらず、
前記ベース部材側に延びている場合には、前記ベース部材側から見たときに前記ベース部材内の位置に設けられるようにして、外部に露出していないこと、
を特徴とする保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、対象物を保持する保持装置とその製造方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、対象物を保持する板状部材が上側部分と下側部分が接合することで形成されている保持装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０２０／２１３３６８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示される保持装置において、下側部分とベース部材を接合した後にその接合体の温度分布を測定してその測定結果が良くない場合には、その接合体を用いて保持装置を製造できないので、下側部分とベース部材を接合するまでの製造工程が無駄になってしまう。また、温度分布の測定結果が良くない接合体を用いることによって、不良な保持装置を製造するおそれもある。そのため、保持装置の製造工程の無駄や不良損失の発生を抑制できず、保持装置の製造コストが増大するおそれがある。
【０００５】
そこで、本開示は上記した課題を解決するためになされたものであり、保持装置の製造コストを抑制できる保持装置の製造方法および保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するためになされた本開示の一形態は、板状の第１部材と板状の第２部材が接合する板状部材と、前記板状部材に対して前記第２部材側に配置されるベース部材と、を有し、前記第１部材は、前記第２部材との接合面とは反対側にて対象物を保持する保持面を備え、前記第２部材は、その内部にヒータ電極を備える保持装置の製造方法において、第１シート部材または第２シート部材の厚み方向端面に前記ヒータ電極をスキージにより印刷するヒータ電極印刷工程と、前記第１シート部材の厚み方向に延びるビアを前記第１シート部材に複数形成するビア形成工程と、前記第１シート部材と前記第２シート部材を前記ヒータ電極と前記ビアとが接続するように積層して焼成することにより、前記ヒータ電極から前記第２部材の厚み方向端面まで延びる前記ビアを複数備える前記第２部材を形成する第２部材形成工程と、前記ビアを使用して前記ヒータ電極の抵抗値を測定する抵抗値測定工程と、前記ヒータ電極の抵抗値を測定した前記第２部材に前記ベース部材を接合するベース部材接合工程と、を有すること、を特徴とする。
【０００７】
この態様によれば、ビアを使用してヒータ電極の抵抗値を測定できる。そのため、保持装置の製造時において、第２部材をベース部材に接合する前にビアを使用してヒータ電極の抵抗値を測定し、その測定結果から保持面の温度分布を予測して、保持面の温度分布の向上のために適切な第２部材を選定できる。したがって、保持面の温度分布の向上のために適切でない第２部材を使用することによる保持装置の製造工程の無駄や不良損失の発生を抑制できる。ゆえに、保持装置の製造コストを抑制できる。
【０００８】
上記の態様においては、前記ヒータ電極の抵抗値を測定した前記第２部材に前記第１部材を接合して前記板状部材を形成する板状部材形成工程を有すること、が好ましい。
【０００９】
この態様によれば、歩留まり良く板状部材を形成できる。
【００１０】
上記の態様においては、前記ビアは、上面視において、少なくとも前記ヒータ電極印刷工程におけるスキージ方向とその垂直方向に対して４５°傾いた方向の位置に配置されていること、が好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許