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公開番号2024160605
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-14
出願番号2023075796
出願日2023-05-01
発明の名称多層膜、光学素子、光学部材、及び光学装置
出願人キヤノン電子株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類G02B 1/16 20150101AFI20241107BHJP(光学)
要約【課題】
本発明は、物体の付着を抑制しつつ耐擦傷性を向上させることを目的とする。
【解決手段】
基板の上に積層された多層膜は、交互に積層された低屈折率層及び前記低屈折率層よりも高い屈折率を有する高屈折率層と、硬質層と、を前記基板側からこの順で備える。前記多層膜を構成する層のうち前記低屈折率層及び前記硬質層よりも表面抵抗率が低い帯電防止層の直上に酸素非含有層が形成される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板の上に積層された多層膜であって、
交互に積層された低屈折率層及び前記低屈折率層よりも高い屈折率を有する高屈折率層と、
硬質層と、を前記基板側からこの順で備え、
前記多層膜を構成する層のうち前記低屈折率層及び前記硬質層よりも表面抵抗率が低い帯電防止層の直上に酸素非含有層が形成される、
ことを特徴とする多層膜。
続きを表示（約 840 文字）【請求項２】
前記高屈折率層のうちの少なくとも１層が前記帯電防止層である、
ことを特徴とする請求項１に記載の多層膜。
【請求項３】
交互に積層された前記低屈折率層及び前記高屈折率層の上に前記帯電防止層を備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の多層膜。
【請求項４】
前記硬質層は前記酸素非含有層である、
ことを特徴とする請求項１に記載の多層膜。
【請求項５】
前記酸素非含有層は、ＭｇＦ
２
、Ｓｉ
３
Ｎ
４
、及びＤＬＣの少なくともいずれかからなる薄膜である、
ことを特徴とする請求項１に記載の多層膜。
【請求項６】
前記硬質層は、Ｓｉ
３
Ｎ
４
、ＳｉＯ
ｘ
Ｎ
ｙ
（０＜ｘ＜２、０＜ｙ＜１．３３）、及びＳｉＭ
ａ
Ｏ
ｂ
Ｎ
ｃ
（Ｍ：金属元素,ａ＜１，０≦ｂ，０＜ｃ）の少なくともいずれかからなる薄膜である、
ことを特徴とする請求項１に記載の多層膜。
【請求項７】
前記帯電防止層は、ＴＮＯからなる薄膜である、
ことを特徴とする請求項１に記載の多層膜。
【請求項８】
前記帯電防止層と前記硬質層との間に最もガスバリア性が高いガスバリア層を備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の多層膜。
【請求項９】
前記硬質層の直上に最も摩擦が少ない潤滑層を備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の多層膜。
【請求項１０】
少なくとも一部が前記多層膜に接するように、前記基板と前記多層膜との間に形成される導電膜を備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の多層膜。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、多層膜、光学素子、光学部材、及び光学装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、カメラ等に搭載される光学素子（例えば、レンズ）には、複数の誘電体層を積層させた多層膜が形成されている。多層膜は帯電しやすいため、埃等の異物が光学素子に付着する。これを踏まえて、特許文献１は、導電性を有する帯電防止層を多層膜に形成することで、光学素子表面から電荷を逃がすことで帯電を抑制し、光学素子表面への異物の付着を防止することを提案している。また、特許文献１は、高温環境であっても透明導電層（ＩＴＯ膜（ＩｎｄｉｕｍＴｉｎＯｘｉｄｅ））の帯電防止機能を損なわないように、ＩＴＯ膜の直上に酸素を導入しないで成膜したＭｇＦ
２
又はＳｉＯ
２
を形成したガラス物品を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第３５８１７８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１は、帯電による光学素子への異物の付着を完全に防止できないため、物理的に異物を除去する必要がある。また、特許文献１では、ガラス物品の最表層が十分な耐擦傷性を有していないため、異物を除去する際にガラス物品の最表層を傷つけてしまい、ガラス物品の光学特性を低下させることがある。
【０００５】
そこで、本発明は、物体の付着を抑制しつつ耐擦傷性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の目的を達成するために、本発明の一実施形態に係る多層膜は、以下の構成を備える。すなわち、基板の上に積層された多層膜であって、交互に積層された低屈折率層及び前記低屈折率層よりも高い屈折率を有する高屈折率層と、硬質層と、を前記基板側からこの順で備え、前記多層膜を構成する層のうち前記低屈折率層及び前記硬質層よりも表面抵抗率が低い帯電防止層の直上に酸素非含有層が形成される、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、物体の付着を抑制しつつ耐擦傷性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明に係る光学素子の断面図。
本発明に係る光学素子の変形例の断面図。
本発明に係る光学素子の変形例の断面図。
本発明に係る光学素子の変形例の断面図。
本発明に係る光学素子の変形例の断面図。
実施例１に係る光学素子の反射率特性。
実施例２に係る光学素子の反射率特性。
実施例３に係る光学素子の反射率特性。
実施例４に係る光学素子の反射率特性。
実施例５に係る光学素子の反射率特性。
実施例６に係る光学素子の反射率特性。
比較例１に係る光学素子の反射率特性。
本発明に係る光学素子と導電性部材の構成を示す図。
本発明に係る光学素子と導電性部材の構成を示す図。
本発明に係る光学ユニット及び光学装置。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものでない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
【００１０】
（実施例１）
多層膜は、高屈折率層と低屈折率層とを有する積層体と、帯電防止層と、酸素非含有層と、硬質層と、を備える。帯電防止層の上に、酸素非含有層が積層される。
（【００１１】以降は省略されています）

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