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公開番号2024155136
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-31
出願番号2023069579
出願日2023-04-20
発明の名称載置台
出願人株式会社ダイフク
代理人弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
主分類H01L 21/673 20060101AFI20241024BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】収納容器の荷重が増大した場合であっても、位置決めの際のパーティクルの発生を抑制することができる載置台を実現する。
【解決手段】載置台(10)は、収納容器(100)が載置される載置台上面(10a)から上方に突出する複数の位置決めピン(20)と、複数の緩衝体(30)と、を備え、複数の位置決めピン(20)のそれぞれは、複数の位置決め溝(112)のそれぞれに係合するように載置台上面(10a)に配置されており、複数の位置決めピン(20)のそれぞれについて、緩衝体(30)が設けられており、緩衝体(30)は、上端が下方に押し込まれ得るとともに、押し込まれた場合に上方向に付勢されるように構成されており、上端が下方に押し込まれていない状態で、載置される収納容器(100)の底面(101)に位置決めピン(20)よりも先に接触する高さに位置している。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
底面に複数の位置決め溝が設けられた収納容器を載置するための載置台であって、
前記収納容器が載置される載置台上面から上方に突出する複数の位置決めピンと、
前記載置台上面から上方に突出する複数の緩衝体と、を備え、
前記複数の位置決めピンのそれぞれは、前記複数の位置決め溝のそれぞれに係合するように前記載置台上面に配置されており、
前記複数の位置決めピンのそれぞれについて、前記緩衝体が設けられており、
前記緩衝体は、
上端が下方に押し込まれ得るとともに、押し込まれた場合に上方向に付勢されるように構成されており、更に、
上端が下方に押し込まれていない状態で、載置される前記収納容器の前記底面に前記位置決めピンよりも先に接触する高さに位置している、載置台。
続きを表示（約 950 文字）【請求項２】
前記緩衝体は、弾性材料からなる弾性部を有しており、
前記収納容器の前記底面の、前記位置決め溝以外の位置に対応するように、前記載置台上面に配置されている、請求項１に記載の載置台。
【請求項３】
前記弾性部が前記緩衝体の上端部を含み、
前記緩衝体の前記上端部は、中央部が最上端となる球面状に形成されている、請求項２に記載の載置台。
【請求項４】
前記緩衝体は、前記位置決めピンよりも径が大きい柱状である、請求項２に記載の載置台。
【請求項５】
前記載置台上面において、
第１の三角形の各頂点の位置に前記位置決めピンが配置され、
前記第１の三角形を内包する、前記第１の三角形を拡大した第２の三角形の各頂点の位置に前記緩衝体が配置される、請求項２に記載の載置台。
【請求項６】
前記載置台は、
上面が前記載置台上面の一部を構成するプレートを備え、
前記位置決めピンは、前記プレートに固定されており、
前記緩衝体は、前記プレート以外の前記載置台の部分に固定されている、請求項２から５のいずれか１項に記載の載置台。
【請求項７】
前記緩衝体は、ばねにより上方向に付勢された可動部を有し、
前記収納容器の前記底面の前記位置決め溝の内側であって幅方向の中央に位置するように、前記載置台上面に配置されている、請求項１に記載の載置台。
【請求項８】
前記位置決め溝の幅方向の中央部は、前記収納容器の前記底面の主面に平行な平坦部を成しており、
前記緩衝体において少なくとも前記収納容器の前記底面と接触する部分は、前記平坦部の幅よりも径が小さい、請求項７に記載の載置台。
【請求項９】
前記載置台は、
上面が前記載置台上面の一部を構成するプレートを備え、
前記位置決めピン及び前記緩衝体は、前記プレートに固定されている、請求項７または８に記載の載置台。
【請求項１０】
前記緩衝体は、前記緩衝体が前記載置台上面から上方に突出する長さを調整する長さ調整機構を備えている、請求項１に記載の載置台。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、収納容器を載置するための載置台に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、搬送された半導体ウエハ等の収納容器を正確に載置するために、位置決め機構を設ける技術が用いられている。例えば、特許文献１には、容器本体部の底面に設けられた底面凹部と、支持体に備えられている上下方向に弾性変形自在な位置決め部材とが係合することで、容器が水平方向における適正な位置に載置される技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１６－９４２６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述のような従来技術では、容器の荷重が増大した場合、短期間で位置決め部材と容器との間に摩耗が生じ、パーティクルが発生する場合がある。パーティクルの発生は、高い清浄度を必要とする製品を取り扱う際に問題となる。
【０００５】
本発明の一態様は、収納容器の荷重が増大した場合であっても、位置決めの際のパーティクルの発生を抑制することができる載置台を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る載置台は、底面に複数の位置決め溝が設けられた収納容器を載置するための載置台であって、前記収納容器が載置される載置台上面から上方に突出する複数の位置決めピンと、前記載置台上面から上方に突出する複数の緩衝体と、を備え、前記複数の位置決めピンのそれぞれは、前記複数の位置決め溝のそれぞれに係合するように前記載置台上面に配置されており、前記複数の位置決めピンのそれぞれについて、前記緩衝体が設けられており、前記緩衝体は、上端が下方に押し込まれ得るとともに、押し込まれた場合に上方向に付勢されるように構成されており、更に、上端が下方に押し込まれていない状態で、載置される前記収納容器の前記底面に前記位置決めピンよりも先に接触する高さに位置している。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の一態様によれば、収納容器の荷重が増大した場合であっても、位置決めの際のパーティクルの発生を抑制することができる載置台を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の実施形態１に係る載置台及び収納容器を示す断面図である。
上記収納容器の底面を示す図である。
上記載置台に収納容器を載置する際の緩衝体及び位置決めピンを示す図である。
本発明の実施形態２に係る載置台及び収納容器を示す断面図である。
上記収納容器の底面を示す図である。
上記載置台に収納容器を載置する際の緩衝体及び位置決めピンを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
〔実施形態１〕
以下、本発明の一実施形態について、詳細に説明する。ただし、以下の説明は本発明に係る載置台１０の一例であり、本発明の技術的範囲は図示例に限定されるものではない。なお、説明を簡単にするために、以下において、図１の容器本体１２０に対して、把持部１２１側を上方向とし、底面１０１側を下方向として説明する。
【００１０】
〔載置台の概略〕
搬送された収納容器１００を正確に載置するために、収納容器１００及び載置台１０には位置決め機構が配設されている。位置決め機構は、収納容器１００の底面１０１に配設された位置決め溝１１２と、載置台１０に配置された位置決めピン２０とで機能する。
（【００１１】以降は省略されています）

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