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公開番号2024112017
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-20
出願番号2023016818
出願日2023-02-07
発明の名称ミラー装置
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G02B 26/10 20060101AFI20240813BHJP(光学)
要約【課題】ミラー面の歪みを効果的に抑制することができると共に、製造を容易化することができるミラー装置を提供する。
【解決手段】ミラー装置は、支持部と、第1表面及び第1表面とは反対側の第2表面31bを含む本体部31を有し、第1表面上にミラー面が形成されると共に第2表面31b上に梁部50が形成された第1可動部3と、第1可動部3がX軸周りに揺動可能となるように第1可動部3を支持部に連結する第1トーションバー5と、を備える。梁部50は、第2表面31bに垂直な方向から見た場合に、本体部31の外縁31cに沿って延在する第1延在部分62を有する。第1延在部分62は、第2表面31bに垂直な方向から見た場合に、本体部31の外縁31cから外側に突出すると共に本体部31の外縁31cに沿って延在する突出部分63を有する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
支持部と、
第１表面及び前記第１表面とは反対側の第２表面を含む本体部を有し、前記第１表面上にミラー面が形成されると共に前記第２表面上に梁部が形成された可動部と、
前記可動部が所定の軸線周りに揺動可能となるように前記可動部を前記支持部に連結する連結部と、を備え、
前記梁部は、前記第２表面に垂直な方向から見た場合に、前記本体部の外縁に沿って延在する延在部分を有し、
前記延在部分は、前記第２表面に垂直な方向から見た場合に、前記本体部の外縁から外側に突出すると共に前記本体部の外縁に沿って延在する突出部分を有する、ミラー装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記軸線と平行な方向を第１方向とし、前記第１方向及び前記第２表面に垂直な方向の両方に垂直な方向を第２方向とすると、前記本体部の外縁に沿っての前記突出部分の長さは、前記第２方向における前記連結部の最小幅よりも大きい、請求項１に記載のミラー装置。
【請求項３】
前記軸線と平行な方向を第１方向とし、前記第１方向及び前記第２表面に垂直な方向の両方に垂直な方向を第２方向とすると、前記本体部の外縁からの前記突出部分の突出長さは、前記第２方向における前記連結部の最小幅よりも小さい、請求項１又は２に記載のミラー装置。
【請求項４】
前記梁部は、前記第２表面に垂直な方向から見た場合に、基準位置の側から所定方向における一方側に向かって延在すると共に前記所定方向に垂直な方向において互いに向かい合う一対の第１部分と、前記一対の第１部分に接続された第１接続部分と、前記基準位置の側から前記所定方向における他方側に向かって延在すると共に前記所定方向に垂直な方向において互いに向かい合う一対の第２部分と、前記一対の第２部分に接続された第２接続部分と、を有し、
前記延在部分は、前記第１接続部分及び前記第２接続部分によって構成されている、請求項１又は２に記載のミラー装置。
【請求項５】
前記第１接続部分の幅は、前記一対の第１部分の各々の幅よりも広く、前記第２接続部分の幅は、前記一対の第２部分の各々の幅よりも広い、請求項４に記載のミラー装置。
【請求項６】
前記一対の第１部分は、前記基準位置の側において互いに接続されており、前記一対の第２部分は、前記基準位置の側において互いに接続されている、請求項４に記載のミラー装置。
【請求項７】
前記第２表面に垂直な方向から見た場合に、前記一対の第１部分の内縁は、滑らかに互いに接続されており、前記一対の第２部分の内縁は、滑らかに互いに接続されている、請求項６に記載のミラー装置。
【請求項８】
前記基準位置は、前記第２表面に垂直な方向から見た場合における前記本体部の中心と一致している、請求項４に記載のミラー装置。
【請求項９】
前記梁部は、前記第２表面に垂直な方向から見た場合に、前記基準位置の側から前記所定方向に垂直な方向における一方側に向かって延在すると共に前記所定方向において互いに向かい合う一対の第３部分と、前記基準位置の側から前記所定方向と垂直な方向における他方側に向かって延在すると共に前記所定方向において互いに向かい合う一対の第４部分と、を更に有する、請求項４に記載のミラー装置。
【請求項１０】
前記第２表面に垂直な方向から見た場合に、前記一対の第１部分の間の角度は、前記一対の第３部分の間の角度よりも大きい、請求項９に記載のミラー装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミラー装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１には、ミラー面を有する可動部が支持部に揺動可能に連結された偏向ミラーが記載されている。特許文献１に記載の偏向ミラーでは、駆動時におけるミラー面の歪みを小さくするために、可動部の裏面にリブが形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００４－３２５５７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したようなミラー装置には、ミラー面の歪みを効果的に抑制することや、製造を容易化することが求められる。
【０００５】
そこで、本発明は、ミラー面の歪みを効果的に抑制することができると共に、製造を容易化することができるミラー装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のミラー装置は、［１］「支持部と、第１表面及び前記第１表面とは反対側の第２表面を含む本体部を有し、前記第１表面上にミラー面が形成されると共に前記第２表面上に梁部が形成された可動部と、前記可動部が所定の軸線周りに揺動可能となるように前記可動部を前記支持部に連結する連結部と、を備え、前記梁部は、前記第２表面に垂直な方向から見た場合に、前記本体部の外縁に沿って延在する延在部分を有し、前記延在部分は、前記第２表面に垂直な方向から見た場合に、前記本体部の外縁から外側に突出すると共に前記本体部の外縁に沿って延在する突出部分を有する、ミラー装置」である。
【０００７】
このミラー装置では、梁部が、第２表面に垂直な方向から見た場合に、本体部の外縁に沿って延在する延在部分を有している。これにより、歪みが発生しやすい外縁部において本体部の剛性を高めることができ、本体部の歪み（換言すればミラー面の歪み）を効果的に抑制することができる。一方、本体部の歪みを効果的に抑制する観点からは、梁部を本体部の外縁の近くに形成することが好ましいが、例えば、延在部分の側面が本体部の側面と面一になるように（第２表面に垂直な方向から見た場合に延在部分の側面が本体部の側面と一致するように）延在部分を形成すると、製造誤差（例えばエッチングの誤差）により延在部分が本体部の外縁から突出した装置と延在部分が本体部の外縁から突出していない装置とが混在してしまうことが懸念される。この場合、例えば後工程における製造条件の設定が難しくなってしまうおそれがある。この点、このミラー装置では、延在部分が、第２表面に垂直な方向から見た場合に、本体部の外縁から外側（本体部とは反対側）に突出すると共に本体部の外縁に沿って延在する突出部分を有している。これにより、そのような事態の発生を回避することができ、製造を容易化することができる。よって、このミラー装置によれば、ミラー面の歪みを効果的に抑制することができると共に、製造を容易化することができる。
【０００８】
本発明のミラー装置は、［２］「前記軸線と平行な方向を第１方向とし、前記第１方向及び前記第２表面に垂直な方向の両方に垂直な方向を第２方向とすると、前記本体部の外縁に沿っての前記突出部分の長さは、前記第２方向における前記連結部の最小幅よりも大きい、［１］に記載のミラー装置」であってもよい。この場合、本体部の歪みを一層効果的に抑制することができる。
【０００９】
本発明のミラー装置は、［３］「前記軸線と平行な方向を第１方向とし、前記第１方向及び前記第２表面に垂直な方向の両方に垂直な方向を第２方向とすると、前記本体部の外縁からの前記突出部分の突出長さは、前記第２方向における前記連結部の最小幅よりも小さい、［１］又は［２］に記載のミラー装置」であってもよい。この場合、本体部の歪みを抑制しつつ、ミラー装置の小型化を図ることができる。
【００１０】
本発明のミラー装置は、［４］「前記梁部は、前記第２表面に垂直な方向から見た場合に、基準位置の側から所定方向における一方側に向かって延在すると共に前記所定方向に垂直な方向において互いに向かい合う一対の第１部分と、前記一対の第１部分に接続された第１接続部分と、前記基準位置の側から前記所定方向における他方側に向かって延在すると共に前記所定方向に垂直な方向において互いに向かい合う一対の第２部分と、前記一対の第２部分に接続された第２接続部分と、を有し、前記延在部分は、前記第１接続部分及び前記第２接続部分によって構成されている、［１］～［３］のいずれか１つに記載のミラー装置」であってもよい。この場合、第１部分及び第２部分によって本体部の全体の歪みを抑制しつつ、第１接続部分及び第２接続部分によって本体部の外縁部の歪みを抑制することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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