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公開番号2025009123
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2023111899
出願日2023-07-07
発明の名称走査光学装置の製造方法
出願人ブラザー工業株式会社
代理人個人,個人
主分類G02B 26/10 20060101AFI20250110BHJP(光学)
要約【課題】ビームが最後に通過する走査レンズにおけるビームの通過位置が、設定した範囲から外れることを抑制する。
【解決手段】走査光学装置の製造方法は、取付工程と、X方向調整工程と、固定工程とを有する。取付工程は、ポリゴンミラーを有する偏向器、第1走査レンズおよび第2走査レンズ70をフレームに取り付ける。X方向調整工程は、取付工程の後、光源からのビームBの、ポリゴンミラーのミラー面に対する副走査方向の入射角度と、反射ミラー81の角度と、の両方を調整することにより、ビームBの、被走査面における副走査方向の位置と、ビームの第2走査レンズ70における副走査方向の位置とを調整する。固定工程は、X方向調整工程の後、光源からのビームのポリゴンミラーのミラー面に対する副走査方向の入射角度と、反射ミラー81の角度とを固定する。
【選択図】図16
特許請求の範囲【請求項１】
半導体レーザと、前記半導体レーザから出射された光をビームに変換するカップリングレンズと、を有する光源と、
ポリゴンミラーを有し、前記光源から出射されたビームを主走査方向に偏向する偏向器と、
前記偏向器で偏向されたビームを被走査面に結像させる走査光学系であって、第１走査レンズと、前記第１走査レンズよりもビームの進行方向における下流側に配置された第２走査レンズと、ビームの進行方向における前記第１走査レンズと前記第２走査レンズとの間に配置された反射ミラーと、を有する走査光学系と、
前記光源、前記偏向器および前記走査光学系が取り付けられるフレームと、を備える走査光学装置の製造方法であって、
前記偏向器、前記第１走査レンズおよび前記第２走査レンズを前記フレームに取り付ける取付工程と、
前記取付工程の後、前記光源からのビームの、前記ポリゴンミラーのミラー面に対する副走査方向の入射角度と、前記反射ミラーの角度と、の両方を調整することにより、ビームの、前記被走査面における副走査方向の位置と、ビームの前記第２走査レンズにおける副走査方向の位置とを調整するＸ方向調整工程と、
前記Ｘ方向調整工程の後、前記光源からのビームの前記ポリゴンミラーのミラー面に対する副走査方向の入射角度と、前記反射ミラーの角度とを固定する固定工程と、を有することを特徴とする走査光学装置の製造方法。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
前記Ｘ方向調整工程において、前記光源からのビームの前記ポリゴンミラーのミラー面に対する副走査方向の入射角度を調整する場合、前記カップリングレンズを副走査方向に動かすことを特徴とする請求項１に記載の走査光学装置の製造方法。
【請求項３】
前記固定工程において、前記カップリングレンズの前記フレームに対する位置を固定することを特徴とする請求項２に記載の走査光学装置の製造方法。
【請求項４】
前記取付工程の後、前記Ｘ方向調整工程の前に、前記カップリングレンズを主走査方向に動かすことにより、前記偏向器への主走査方向の入射角度を調整するＹ方向調整工程を有することを特徴とする請求項１に記載の走査光学装置の製造方法。
【請求項５】
前記Ｘ方向調整工程の後、前記カップリングレンズをビームの進行方向に動かすことにより、焦点位置を調整するＺ方向調整工程を有することを特徴とする請求項１に記載の走査光学装置の製造方法。
【請求項６】
前記Ｘ方向調整工程において、
ビームの副走査方向の位置を検知する第１センサを、前記被走査面に対応する位置に配置し、
ビームの副走査方向の位置を検知する第２センサを、前記反射ミラーと前記被走査面との間に配置し、
前記第１センサと前記第２センサの検知結果に基づいて調整することを特徴とする請求項１に記載の走査光学装置の製造方法。
【請求項７】
前記第２センサを、前記第２走査レンズと前記被走査面との間に配置することを特徴とする請求項４に記載の走査光学装置の製造方法。
【請求項８】
前記第２センサを、主走査方向の中央部に配置し、
前記第１センサを、主走査方向において前記第２センサを挟んだ少なくとも２つの位置に配置することを特徴とする請求項６に記載の走査光学装置の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は走査光学装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、走査光学装置の製造方法として、被走査面への副走査方向の入射位置を調整するために、走査光学系の反射ミラーの角度を調整する方法が知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１１－２４８１７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、特許文献１では、ビームが最後に通過する最終走査レンズよりも後の反射ミラーの角度を調整している。このため、反射ミラーの角度を調整しても最終走査レンズにおけるビームの通過位置は変化しない。しかしながら、最終走査レンズの後に反射ミラーが無い走査光学装置においては、副走査方向の露光位置を所定位置に合わせるために、最終走査レンズの前の反射ミラーを調整する必要がある。このため、反射ミラーの角度を調整すると最終走査レンズにおけるビームの通過位置が変化する。この結果、最終走査レンズにおけるビームの通過位置が、設定した範囲から外れてしまう場合が想定される。最終走査レンズにおけるビームの通過位置が、設定した範囲から外れてしまうと、被走査面における結像状態が悪化することが考えられる。
【０００５】
そこで、本発明は、ビームが最後に通過する走査レンズにおけるビームの通過位置が、設定した範囲から外れてしまうことを抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するため、本発明に係る走査光学装置の製造方法は、取付工程と、Ｘ方向調整工程と、固定工程とを有する。
走査光学系は、光源と、偏向器と、走査光学系と、フレームと、を備える。光源は、半導体レーザと、半導体レーザから出射された光をビームに変換するカップリングレンズと、を有する。偏向器は、ポリゴンミラーを有し、光源から出射されたビームを主走査方向に偏向する。走査光学系は、偏向器で偏向されたビームを被走査面に結像させる。走査光学系は、第１走査レンズと、第１走査レンズよりもビームの進行方向における下流側に配置された第２走査レンズと、ビームの進行方向における第１走査レンズと第２走査レンズとの間に配置された反射ミラーと、を有する。フレームは、光源、偏向器および走査光学系が取り付けられる。
取付工程は、偏向器、第１走査レンズおよび第２走査レンズをフレームに取り付ける工程である。
Ｘ方向調整工程は、取付工程の後、光源からのビームの、ポリゴンミラーのミラー面に対する副走査方向の入射角度と、反射ミラーの角度と、の両方を調整することにより、ビームの、被走査面における副走査方向の位置と、ビームの第２走査レンズにおける副走査方向の位置とを調整する工程である。
固定工程は、Ｘ方向調整工程の後、光源からのビームの前記ポリゴンミラーのミラー面に対する副走査方向の入射角度と、前記反射ミラーの角度とを固定する工程である。
【０００７】
Ｘ方向調整工程において、光源からのビームの、ポリゴンミラーのミラー面に対する副走査方向の入射角度と、反射ミラーの角度と、の両方を調整することにより、ビームが最後に通過する走査レンズにおけるビームの通過位置が、設定した範囲から外れてしまうことを抑制することができる。これにより、被走査面における結像状態が悪化することを抑制することができる。
【０００８】
また、Ｘ方向調整工程において、前記光源からのビームのポリゴンミラーのミラー面に対する副走査方向のビームの入射角度を調整する場合、カップリングレンズを副走査方向に動かしてもよい。
【０００９】
Ｘ方向調整工程において、カップリングレンズを副走査方向に動かすことで、ポリゴンミラーのミラー面に対する副走査方向のビームの入射角度の調整が容易となる。
【００１０】
また、固定工程において、カップリングレンズのフレームに対する位置を固定してもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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