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公開番号2024111751
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-19
出願番号2023016440
出願日2023-02-06
発明の名称反転装置、撮影装置、反転方法及び撮影方法
出願人株式会社トクヤマ
代理人弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
主分類G01N 21/84 20060101AFI20240809BHJP(測定;試験)
要約【課題】ポリシリコンの撮影のために形状及びサイズの少なくとも一方が異なるポリシリコンを反転させる。
【解決手段】反転装置(3)は、弾性変形する第1弾性変形部(311)を有する第1挟持部(31)と、弾性変形する第2弾性変形部(321)を有する第2挟持部(32)と、第1弾性変形部(311)と、第2弾性変形部(321)との間でポリシリコン(S)が挟持された挟持状態で、ポリシリコン(S)の撮影のためにポリシリコン(S)を反転させる反転機構(33A,33B)と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
弾性変形する第１弾性変形部を有する第１挟持部と、
弾性変形する第２弾性変形部を有する第２挟持部と、
前記第１弾性変形部と、前記第２弾性変形部との間でポリシリコンが挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンの撮影のために前記ポリシリコンを反転させる反転機構と、を備えることを特徴とする反転装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記第１弾性変形部は、
前記挟持状態で前記ポリシリコンと接触し弾性変形する第１弾性シートと、
前記第１弾性シートよりも軟質であるとともに、前記挟持状態で前記第１弾性シートに対して前記ポリシリコンとは反対側から接触し弾性変形する第１緩衝材と、を有し、
前記第２弾性変形部は、
前記挟持状態で前記ポリシリコンと接触し弾性変形する第２弾性シートと、
前記第２弾性シートよりも軟質であるとともに、前記挟持状態で前記第２弾性シートに対して前記ポリシリコンとは反対側から接触し弾性変形する第２緩衝材と、を有することを特徴とする請求項１に記載の反転装置。
【請求項３】
前記第１弾性シート及び前記第２弾性シートの硬度は、ショアＡ３０以上かつショアＡ９０以下であることを特徴とする請求項２に記載の反転装置。
【請求項４】
前記第１弾性シート及び前記第２弾性シートの厚みは、０．５ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項２または３に記載の反転装置。
【請求項５】
前記第１緩衝材及び前記第２緩衝材の４０％圧縮硬さは、２０Ｎ以上かつ８０Ｎ以下であることを特徴とする請求項２または３に記載の反転装置。
【請求項６】
前記第１緩衝材及び前記第２緩衝材の反発弾性率は、１％以上かつ６％以下であることを特徴とする請求項２または３に記載の反転装置。
【請求項７】
弾性変形する第１弾性変形部を有する第１挟持部と、
弾性変形する第２弾性変形部を有する第２挟持部と、
前記第１弾性変形部と、前記第２弾性変形部との間でポリシリコンが挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンを反転させる反転機構と、
前記反転機構によって反転させられた前記ポリシリコンを撮影可能な撮影部と、を備えることを特徴とする撮影装置。
【請求項８】
前記撮影部が設けられる半球状の天井部を有するドーム部と、
（ｉ）前記ドーム部の前記天井部における内面に光を照射することにより、当該内面で光を反射させて前記ドーム部の下方に向かって光を照射させる照射部、及び（ｉｉ）前記ドーム部の下方に向かって光を照射する照射部、の少なくとも一方の照射部と、を備え、
前記撮影部は、
前記反転機構によって反転させられた位置から撮影位置に搬送された前記ポリシリコンを撮影することを特徴とする請求項７に記載の撮影装置。
【請求項９】
複数の方向から前記ポリシリコンを撮影可能なように、前記撮影部は複数設けられることを特徴とする請求項７または８に記載の撮影装置。
【請求項１０】
第１挟持部が有するものであり、弾性変形する第１弾性変形部と、第２挟持部が有するものであり、弾性変形する第２弾性変形部との間でポリシリコンを挟持する挟持工程と、
前記挟持工程で前記ポリシリコンが挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンの撮影のために前記ポリシリコンを反転させる反転工程と、を含むことを特徴とする反転方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、反転装置、撮影装置、反転方法及び撮影方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、多結晶シリコンを分類するための方法であって、シリコンロッドまたはシリコンチャンクを撮影して画像を生成し、生成した画像に基づいてシリコンロッドまたはシリコンチャンクを分類する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特表２０２２－５３７０１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示の多結晶シリコンを分類するための方法では、所定の配置面に配置されるシリコンロッドまたはシリコンチャンクを撮影する場合、シリコンロッドまたはシリコンチャンクにおける配置面側の部分を撮影することができないという問題がある。本発明の一態様は、ポリシリコンの撮影のために形状及びサイズの少なくとも一方が異なるポリシリコンを反転させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る反転装置は、弾性変形する第１弾性変形部を有する第１挟持部と、弾性変形する第２弾性変形部を有する第２挟持部と、前記第１弾性変形部と、前記第２弾性変形部との間でポリシリコンが挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンの撮影のために前記ポリシリコンを反転させる反転機構と、を備える。
【０００６】
本発明の一態様に係る撮影装置は、弾性変形する第１弾性変形部を有する第１挟持部と、弾性変形する第２弾性変形部を有する第２挟持部と、前記第１弾性変形部と、前記第２弾性変形部との間でポリシリコンが挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンを反転させる反転機構と、前記反転機構によって反転させられた前記ポリシリコンを撮影可能な撮影部と、を備える。
【０００７】
本発明の一態様に係る反転方法は、第１挟持部が有するものであり、弾性変形する第１弾性変形部と、第２挟持部が有するものであり、弾性変形する第２弾性変形部との間でポリシリコンを挟持する挟持工程と、前記挟持工程で前記ポリシリコンが挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンの撮影のために前記ポリシリコンを反転させる反転工程と、を含む。
【０００８】
本発明の一態様に係る撮影方法は、第１挟持部が有するものであり、弾性変形する第１弾性変形部と、第２挟持部が有するものであり、弾性変形する第２弾性変形部との間でポリシリコンを挟持する挟持工程と、前記挟持工程で前記ポリシリコンが挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンを反転させる反転工程と、前記反転工程で反転させられた前記ポリシリコンを撮影する撮影工程と、を含む。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一態様によれば、ポリシリコンの撮影のために形状及びサイズの少なくとも一方が異なるポリシリコンを反転させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の実施形態１に係る撮影装置の構成を示す模式図である。
図１に示す撮影装置が備える反転装置の動作を説明するための図である。
図１に示す撮影装置が備える反転装置の動作を説明するための図である。
図１に示す撮影装置が備えるドーム部、撮影部及び照射部の構成を示す図である。
本発明の実施形態２に係る撮影装置が備えるドーム部、撮影部及び照射部の構成を示す図である。
本発明の実施形態３に係る撮影装置の構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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