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公開番号2024107933
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-09
出願番号2023012135
出願日2023-01-30
発明の名称焼成用セッター
出願人TDK株式会社
代理人前田・鈴木国際特許弁理士法人
主分類C04B 41/87 20060101AFI20240802BHJP(セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物)
要約【課題】焼成体を剥がすことが可能であり、なおかつ、基材からのコーティング層の剥離を抑制することができるセッターを提供すること。
【解決手段】基材と基材の少なくとも一部に備えられたコーティング層とを有するセッターであり、コーティング層の主成分がカルシウム、ジルコニウム、アルミニウムおよび酸素を有し、コーティング層において、ジルコニウム、カルシウムおよびハフニウムに対するカルシウムのモル比が0.2～0.28であるセッター。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基材と前記基材の少なくとも一部に備えられたコーティング層とを有するセッターであり、
前記コーティング層の主成分がカルシウム、ジルコニウム、アルミニウムおよび酸素を有する、
前記コーティング層において、ジルコニウム、カルシウムおよびハフニウムに対するカルシウムのモル比が０．２～０．２８であるセッター。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
前記基材では、前記基材のコーティング層に接している面から前記基材の厚みの１０％の範囲の所定範囲において主成分がアルミニウムである請求項１に記載のセッター。
【請求項３】
前記コーティング層において、ジルコニウム、カルシウム、アルミニウムおよびハフニウムに対するアルミニウムのモル比が０．０５～０．２である請求項１に記載のセッター。
【請求項４】
前記コーティング層において、ジルコニウム、カルシウム、アルミニウムおよびハフニウムに対するアルミニウムのモル比が０．０５～０．２である請求項２に記載のセッター。
【請求項５】
前記コーティング層において、ジルコニウム、カルシウムおよびハフニウムに対するカルシウムのモル比が０．２２～０．２６である請求項１に記載のセッター。
【請求項６】
前記コーティング層におけるジルコニウム、カルシウム、アルミニウム、ケイ素およびハフニウムに対するアルミニウムのモル比をＣＡｌとし、
前記所定範囲におけるジルコニウム、カルシウム、アルミニウム、ケイ素およびハフニウムに対するアルミニウムのモル比をＳＡｌとしたとき、ＳＡｌ－ＣＡｌは０．７０～０．８５の範囲である請求項１に記載のセッター。
【請求項７】
前記コーティング層におけるジルコニウム、カルシウム、アルミニウム、ケイ素およびハフニウムに対するケイ素のモル比をＣＳｉとし、
前記所定範囲におけるジルコニウム、カルシウム、アルミニウム、ケイ素およびハフニウムに対するケイ素のモル比をＳＳｉとしたとき、
前記ＣＳｉが０．００２～０．０２であり、
前記ＳＳｉが０．０５～０．２５である請求項１に記載のセッター。
【請求項８】
前記コーティング層の厚みは５０～２５０μｍである請求項１に記載のセッター。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、焼成用セッターに関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
セラミック電子部品などの焼成体を焼成する方法として、焼成体がセットされているセッターを加熱室に配置することにより焼成体を焼成する方法が挙げられる。この際、セッターから焼成体を剥がすことが困難になる場合がある。
【０００３】
このため、セッターの基材の表面にコーティング層を形成することがある。たとえば、特許文献１には、ジルコン酸塩を含有するコーティング層を有するセッターを用いてＢａＴｉＯ
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を主成分とする焼成体を焼成する旨が開示されている。
【０００４】
近年は（Ｓｒ，Ｂａ）Ｎｂ
2
Ｏ
6
系の焼成体が開発されていることから、（Ｓｒ，Ｂａ）Ｎｂ
2
Ｏ
6
系の焼成体を剥がすことが可能なセッターの開発が求められている。
【０００５】
この他、セッターにおいて、基材に形成されたコーティング層が基材から剥離しにくいことも求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１０－１１１５６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、焼成体を剥がすことが可能であり、なおかつ、基材からのコーティング層の剥離を抑制することができるセッターを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に係るセッターは、
基材と前記基材の少なくとも一部に備えられたコーティング層とを有するセッターであり、
前記コーティング層の主成分がカルシウム、ジルコニウム、アルミニウムおよび酸素を有し、
前記コーティング層において、ジルコニウム、カルシウムおよびハフニウムに対するカルシウムのモル比が０．２～０．２８である。
【０００９】
本発明に係るセッターによれば、セッターから焼成体を剥がすことが可能であり、なおかつ基材からのコーティング層の剥離を抑制することができる。
【００１０】
前記基材では、前記基材のコーティング層に接している面から前記基材の厚みの１０％の範囲の所定範囲において主成分がアルミニウムであってもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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