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公開番号2024103669
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-01
出願番号2024088881,2020061025
出願日2024-05-31,2020-03-30
発明の名称金属樹脂接合体およびその製造方法
出願人株式会社ノリタケカンパニーリミテド
代理人個人
主分類B22F 1/102 20220101AFI20240725BHJP(鋳造;粉末冶金)
要約【課題】金属微粒子焼結体層と、樹脂層とを備える信頼性の高い接合体を提供すること。また、かかる接合体を製造する方法を提供すること。
【解決手段】ここで開示される接合体は、
金属微粒子焼結体から成る金属層と、樹脂から成る樹脂層との接合体であって、前記金属層のうち少なくとも一部は、前記樹脂層と接合しており、また、前記樹脂層には金属粒子が内在しており、該内在金属粒子のうち少なくとも一部は、前記金属微粒子焼結体と焼結していることを特徴とする。
【選択図】図4


特許請求の範囲【請求項1】
金属微粒子焼結体から成る金属層と、樹脂から成る樹脂層との接合体であって、
前記金属層のうち少なくとも一部は、前記樹脂層と接合しており、
前記樹脂層には金属粒子が内在しており、該内在金属粒子のうち少なくとも一部は、前記金属微粒子焼結体と焼結している、接合体。
続きを表示(約 1,100 文字)【請求項2】
前記金属層と前記樹脂層との境界面には、該樹脂層の内側に向けて微細孔が存在しており、
前記微細孔の少なくとも一部には、前記金属微粒子焼結体が入り込んでおり、
ここで、前記境界面を映したFE-SEM断面画像における前記微細孔の開口径をa、該開口径aの中心から該微細孔における前記金属微粒子焼結体が侵入した最深部までの距離をb’としたとき、当該開口径aが0.5μm以上10μm以下であり、且つ、該距離b’が0.5μm以上であるものが存在する、請求項1に記載の接合体。
【請求項3】
前記境界面を映したFE-SEM断面画像において、前記開口径aの中心から前記微細孔の最深部までの距離をbとして、該開口径aが0.5μm以上10μm以下であり、且つ、該距離bが0.5μm以上である当該微細孔を100点以上検知したとき、前記距離b’が0.5μm以上であるものが60%以上存在する、請求項2に記載の接合体。
【請求項4】
前記金属微粒子焼結体を構成する金属微粒子の主構成金属元素が貴金属元素である、請求項1から3のいずれか一項に記載の接合体。
【請求項5】
前記金属微粒子焼結体を構成する金属微粒子の主構成金属元素が金(Au)である、請求項1から3のいずれか一項に記載の接合体。
【請求項6】
前記樹脂は熱硬化性樹脂を構成要素とする、請求項1から5のいずれか一項に記載の接合体。
【請求項7】
前記樹脂は熱硬化性エポキシ樹脂を構成要素とする、請求項1から5のいずれか一項に記載の接合体。
【請求項8】
前記金属層の緻密度が80%以上である、請求項1から7のいずれか一項に記載の接合体。
【請求項9】
表面にイミン化合物が保持された金属微粒子から作製される金属層と、樹脂から成る樹脂層との接合体を製造する方法であって:
前記金属微粒子を含む分散体を用意すること;
未硬化状態の前記樹脂から成る成形体の表面に、前記分散体を塗布すること,ここで、前記成形体には、金属粒子が内在している;
前記分散体が塗布された成形体を、前記金属微粒子が焼結可能な温度領域で加熱することで、前記金属層を形成すること;および
前記成形体を硬化することで、前記樹脂層を形成すること;
を含む、接合体製造方法。
【請求項10】
前記金属微粒子の主構成金属元素が貴金属元素である、請求項9に記載の接合体製造方法。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、金、銀、パラジウム等から構成される金属微粒子から成る焼結体層と、樹脂から成る樹脂層とを備える接合体に関する。さらに、本発明は、かかる接合体の製造方法に関する。
続きを表示(約 2,000 文字)【背景技術】
【0002】
近年、金属微粒子から成る金属微粒子焼結体層と、樹脂から成る樹脂層との接合体が種々の用途向けに開発されている。例えば、下記特許文献1では、銅微粒子焼結体層とポリイミドフィルムとの接合体が、小型の電気機器等のプリント配線板用基材として用いられる旨が記載されている。そして、かかる接合体は、ポリイミドフィルムの一方側の面をアルカリ処理し、かかる面に銅微粒子が含まれる導電性インクを塗布して塗膜を形成し、該塗膜を乾燥させた後、焼成することで製造される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2019-114680号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上述したように、上記特許文献1に記載される技術は銅微粒子を用いた技術であるが、現在は銅のみならず金、銀のような貴金属から成る金属微粒子焼結体層を備える接合体が求められている。しかしながら、上記特許文献1の技術では、金属酸化物および金属酸化物に由来する基によって樹脂との接合が保たれるため、貴金属をはじめとしたさまざまな金属種から構成される焼結体層を備えた高い接合強度を有する接合体を得ることが困難であると思われる。また、樹脂の耐熱温度以下で焼結できる低温焼結金属微粒子は焼結性が高く、焼成過程の早期段階で微粒子同士の焼結が進行してしまうため、樹脂層との反応性・接合性が失われ、信頼性の高い接合体を実現することが困難であるというような課題もあった。
【0005】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、金属微粒子焼結体層と樹脂層とを備える信頼性の高い接合体を提供することである。また、かかる接合体の製造方法を提供することを他の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明によると、金属微粒子焼結体から成る金属層(即ち、金属微粒子焼結体層)と、樹脂から成る樹脂層との接合体が提供される。また、上記金属層のうち少なくとも一部は、上記樹脂層と接合しており、上記樹脂層には金属粒子が内在しており、該内在金属粒子のうち少なくとも一部は、上記金属微粒子焼結体と焼結していることを特徴とする。かかる構成の接合体においては、金属層と樹脂層との接合と、金属微粒子と内在金属粒子との焼結により、高い接合強度を実現することができる。
なお、本明細書ならびに特許請求の範囲において「金属微粒子」という場合は、特に1粒単位を指している場合を除いて、多数の微粒子の集団(即ち、particles)を意味している。例えば、後述する<金属微粒子分散体>における当該金属微粒子は、1粒ではなくparticlesとしての金属微粒子を指す。日本語では、単数か複数かが曖昧なため、「金属微粒子」の意味を明確にするために上記のように規定する。
【0007】
ここで開示される接合体の好ましい一態様においては、上記金属層と上記樹脂層との境界面には、該樹脂層の内側に向けて微細孔が存在しており、上記微細孔の少なくとも一部には、上記金属微粒子焼結体が入り込んでおり、ここで、上記境界面を映したFE-SEM断面画像における上記微細孔の開口径をa、該開口径aの中心から該微細孔における上記金属微粒子焼結体が侵入した最深部までの距離をb’としたとき、当該開口径aが0.5μm以上10μm以下であり、且つ、該距離b’が0.5μm以上であるものが存在する。かかる構成の接合体においては、微細孔中の金属微粒子焼結体がいわゆるアンカー効果の役割を果たすため、高い接合強度を実現することができる。
【0008】
より好ましくは、上記境界面を映したFE-SEM断面画像において、上記開口径aの中心から上記微細孔の最深部までの距離をbとして、該開口径aが0.5μm以上10μm以下であり、且つ、該距離bが0.5μm以上である当該微細孔を100点以上検知(無作為に、100点以上検知)したとき、上記距離b’が0.5μm以上であるものが60%以上存在する。かかる構成の接合体においては、上記アンカー効果がより好適に発揮されるため、より高い接合強度を実現することができる。
【0009】
ここで開示される接合体の好ましい一態様においては、上記金属微粒子焼結体を構成する金属微粒子の主構成金属元素が貴金属元素である。
貴金属微粒子は、微粒子同士が焼結し易いため、ここで開示される技術を適用する対象として好適である。
【0010】
また、好ましい一態様においては、上記金属微粒子焼結体を構成する金属微粒子の主構成金属元素が金(Au)である。
貴金属微粒子の中でも特に金微粒子は、微粒子同士が焼結し易いため、ここで開示される技術を適用する対象として好適である。
(【0011】以降は省略されています)

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