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公開番号2024103518
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-01
出願番号2024079325,2024009529
出願日2024-05-15,2007-09-25
発明の名称半導体装置
出願人株式会社半導体エネルギー研究所
代理人
主分類G02F 1/1343 20060101AFI20240725BHJP(光学)
要約【課題】TFTと重なる領域に柱状スペーサを配置すると、一対の基板の貼り合わせ時に
圧力がかかり、TFTに影響を与える恐れ、クラックが発生する恐れなどがある。
【解決手段】TFTと重なる位置に形成される柱状スペーサの下方に無機材料からなるダ
ミー層を形成する。このダミー層をTFTと重なる位置に配置することによって、一対の
基板の貼り合わせ工程時にTFTにかかる圧力を分散し、緩和する。このダミー層は、工
程数を増やすことなく形成するため、画素電極と同じ材料で形成することが望ましい。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
絶縁表面を有する第１の基板上にスイッチング素子と、
前記スイッチング素子と電気的に接続された画素電極と、
前記基板上に設けられた、前記スイッチング素子と重なる領域を有する透明導電層と、
前記透明導電層と重な領域を有する柱状スペーサが設けられた第２の基板と、
前記第１の基板と第２の基板との間の液晶材料と、を有し、
前記画素電極と前記透明導電層とは、同じ材料を有する、半導体装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴという）で構成された回路を有する半導体装
置およびその作製方法に関する。例えば、液晶表示パネルに代表される電気光学装置や有
機発光素子を有する発光表示装置を部品として搭載した電子機器に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【０００２】
なお、本明細書中において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装
置全般を指し、電気光学装置、半導体回路および電子機器は全て半導体装置である。
【背景技術】
【０００３】
近年、絶縁表面を有する基板上に形成された半導体薄膜（厚さ数～数百ｎｍ程度）を用
いて薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を構成する技術が注目されている。薄膜トランジスタは
ＩＣや電気光学装置のような電子デバイスに広く応用され、特に画像表示装置のスイッチ
ング素子として開発が急がれている。
【０００４】
画像表示装置として液晶表示装置が知られている。パッシブマトリクス型の液晶表示装置
に比べ高精細な画像が得られることからアクティブマトリクス型の液晶表示装置が多く用
いられるようになっている。アクティブマトリクス型の液晶表示装置においては、マトリ
クス状に配置された画素電極を駆動することによって、画面上に表示パターンが形成され
る。詳しくは選択された画素電極と該画素電極に対応する対向電極との間に電圧が印加さ
れることによって、画素電極と対向電極との間に配置された液晶層の光学変調が行われ、
この光学変調が表示パターンとして観察者に認識される。
【０００５】
一般的な透過型の液晶表示装置は、一対の基板の間に液晶層を配置し、第１の基板（画素
電極が形成されている基板）において液晶層に近接していない外面側に、第１の偏光板を
配置し、第２の偏光板を第２の基板（対向基板）において液晶層に近接していない外面側
に配置する。
【０００６】
また、フルカラー表示させるためにカラーフィルタを用いる場合、一般的には、偏光板が
配置された基板（対向基板）の面とは異なる面にカラーフィルタを配置する。即ち、対向
基板と液晶層の間にカラーフィルタを配置することが一般的である。
【０００７】
また、一対の基板間には、基板間隔を保持するためのスペーサが設けられており、粒子状
のビーズスペーサ、或いは柱状のスペーサを配置している。対向基板に透明な樹脂からな
る柱状スペーサを設ける場合、もう一方の基板と貼り合わせる際の圧力で柱状スペーサと
重なるＴＦＴを破壊する恐れがあった。従って、一対の基板の貼り合わせ精度が歩留まり
に影響してしまう。
【０００８】
本出願人は、画素部のスイッチング素子となるＴＦＴを形成する基板上に柱状スペーサを
形成する技術を特許文献１に開示している。また、本出願人は、ＴＦＴ上に有機樹脂によ
るブラックマトリクスを形成する技術を特許文献２に開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
特開２００１－７５５００号公報
特開平９－１０５９５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
近年、液晶表示装置は、さらなる表示画像の高精細化が求められている。液晶表示装置の
高精細化が向上するに従って高開口率が要求される。
（【００１１】以降は省略されています）

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