特許ウォッチ

公開番号2024101764
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-30
出願番号2023005882
出願日2023-01-18
発明の名称研削方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 7/04 20060101AFI20240723BHJP(研削;研磨)
要約【課題】加工熱によるチャックテーブルの形状変化の抑制を従来よりも低コストで実現できる研削方法を提供すること。
【解決手段】研削装置1を使用して被加工物100を研削する研削方法であって、研削装置1をアイドリングするアイドリングステップと、アイドリングステップの後に、チャックテーブル10に保持された被加工物100に研削水を供給しながら、被加工物100を研削する研削ステップと、を有し、アイドリングステップは、スピンドル31を回転させるとともに、モータを使用しチャックテーブル10を回転させモータの熱をチャックテーブル10に伝達する暖機運転を実施して、研削の際に生じる加工熱の影響を受けた装置状態にすることを特徴とする。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルを回転させるモータと、
研削ホイールを先端に備えたスピンドルを有し、該チャックテーブルに保持された被加工物に研削加工を施す研削ユニットと、
を備えた研削装置を使用して該被加工物を研削する研削方法であって、
該研削装置をアイドリングするアイドリングステップと、
該アイドリングステップの後に、該チャックテーブルに保持された該被加工物に研削水を供給しながら、該被加工物を研削する研削ステップと、を有し、
該アイドリングステップは、該スピンドルを回転させるとともに、該モータを使用しチャックテーブルを回転させ該モータの熱を該チャックテーブルに伝達する暖機運転を実施して、研削の際に生じる加工熱の影響を受けた装置状態にすることを特徴とする研削方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削装置の研削方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハや光デバイスウェーハの薄化のために、研削ホイールでウェーハ（被加工物）を研削する研削装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－０１９０６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような研削装置では、立ち上げ時にアイドリング運転（暖機運転）を実施し、装置に不具合がないかチェックするとともに、加工室内やチャックテーブルを加工時と同様の温度に整え、所定の精度で加工が実施できるよう準備される。
【０００５】
しかしながら、ウェーハ（被加工物）の加工を開始すると、研削ホイールと被加工物との摩擦熱（加工熱）により、チャックテーブルの温度がアイドリング時と比較し上昇する。この温度上昇は加工枚数を重ねるごとに徐々に上昇し、ある程度の枚数の加工を実施した後に飽和する。この温度上昇によって、チャックテーブルの形状変化が発生し、研削した被加工物の面内厚さばらつきが変化してしまうという問題があった。
【０００６】
この問題に対する対策として、加工時より所定温度高い研削水を供給した状態でアイドリングする手法がある。しかしながら、このような手法では研削水の温度変更機構が必要となり装置コストが上がってしまうという新たな問題があった。
【０００７】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、加工熱によるチャックテーブルの形状変化の抑制を従来よりも低コストで実現できる研削方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の研削方法は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させるモータと、研削ホイールを先端に備えたスピンドルを有し、該チャックテーブルに保持された被加工物に研削加工を施す研削ユニットと、を備えた研削装置を使用して該被加工物を研削する研削方法であって、該研削装置をアイドリングするアイドリングステップと、該アイドリングステップの後に、該チャックテーブルに保持された該被加工物に研削水を供給しながら、該被加工物を研削する研削ステップと、を有し、該アイドリングステップは、該スピンドルを回転させるとともに、該モータを使用しチャックテーブルを回転させ該モータの熱を該チャックテーブルに伝達する暖機運転を実施して、研削の際に生じる加工熱の影響を受けた装置状態にすることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本願発明は、研削する予定の被加工物を保持するチャックテーブルについて、モータを使用しチャックテーブルを回転させモータの熱を当該チャックテーブルに伝達する暖機運転を実施することにより、被加工物の研削の際に生じる加工熱の影響を受けた状態にまで温度を上昇させるので、加工熱によるチャックテーブルの形状変化の抑制を従来よりも低コストで実現できるという作用効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、実施形態に係る研削方法の処理手順の一例を示すフローチャートである。
図２は、図１の実施形態に係る研削方法を実施する研削装置の構成例を示す斜視図である。
図３は、図２の研削装置の要部を示す断面図である。
図４は、図２の研削装置の要部を示す断面図である。
図５は、図２の研削装置の要部を示す断面図である。
図６は、図２のチャックテーブルの形状変化を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許