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公開番号2024152505
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-25
出願番号2023066735
出願日2023-04-14
発明の名称加工装置及び汚れ監視方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 49/12 20060101AFI20241018BHJP(研削;研磨)
要約【課題】効率的に加工装置内の清掃を行うことができること。
【解決手段】加工装置1は、被加工物200を切削加工する装置であって、被加工物200を保持する保持テーブル10と、保持テーブル10に保持された被加工物200に切削加工を施す切削ユニット20と、カメラ80と、制御ユニット100と、報知部110と、を備え、制御ユニット100は、カメラ80で撮影した加工装置1の加工室70の基準画像を登録する基準画像登録部101と、基準画像登録部101に登録された基準画像と、カメラ80で新たに撮影して得た比較画像とを比較し、予め設定された閾値以上の違いの有無から汚れの発生を判定する判定部102と、を備え、判定部102は、汚れ発生と判定した場合、報知部110に汚れの発生を報知させる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を加工する加工装置であって、
該被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された該被加工物に加工を施す加工ユニットと、
カメラと、
制御ユニットと、
報知部と、を備え、
該制御ユニットは、
該カメラで撮影した該加工装置の内部の基準画像を登録する基準画像登録部と、
該基準画像登録部に登録された該基準画像と、該カメラで新たに撮影して得た比較画像とを比較し、予め設定された閾値以上の違いの有無から汚れの発生を判定する判定部と、を備え、
該判定部は汚れ発生と判定した場合、該報知部に汚れの発生を報知させることを特徴とする加工装置。
続きを表示（約 350 文字）【請求項２】
被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物に加工を施す加工ユニットと、カメラと、制御ユニットと、報知部と、を備えた加工装置を用いた汚れ監視方法であって、
該カメラで該加工装置の内部を撮影して基準画像を生成する基準画像生成ステップと、
該基準画像を登録する基準画像登録ステップと、
該カメラで該加工装置の内部を撮影して比較画像を生成する比較画像生成ステップと、
登録された該基準画像と該比較画像とを比較し、予め設定された閾値以上の違いの有無から汚れの発生を判定する判定ステップと、
汚れ発生と判定された場合に、報知部より汚れの発生を報知する報知ステップと、
を備えることを特徴とする汚れ監視方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置及び汚れ監視方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハ、樹脂パッケージ、セラミックス基板等の被加工物を加工する際には、各種加工装置が用いられる。加工装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、保持テーブルによって保持された被加工物を加工する加工ユニットを備えている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
例えば、被加工物を複数のチップに分割する際には、被加工物を切削する環状の切削ブレードが装着される加工ユニットを備えた切削装置（ダイサー）が加工装置として用いられる。また、被加工物を薄化する際には、被加工物を研削する研削砥石を含む研削ホイールが装着される加工ユニットを備えた研削装置（グラインダー）が加工装置として用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－５６３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述した特許文献１等に示された加工装置は、加工点に純水等の加工液を供給しながら高速回転する切削ブレードや研削ホイールで被加工物を加工する為、加工時に発生した加工屑が噴霧となって加工室内に飛散し、付着することで加工室内を汚染する。また、加工室内に飛散した水を拭き取らずにいると錆が発生する原因となる。
【０００６】
更に装置内の汚れを放置することで被加工物に汚れが付着し、デバイス特性に影響を及ぼしたり、加工装置の早期劣化を引き起こす。
【０００７】
このため、作業者は定期的に加工装置内の清掃が求められることとなる。しかし汚れを懸念して頻繁に清掃することは効率的ではない。よって、加工装置は、効率的に清掃するためには、加工装置内の汚れ具合を判定し、適切なタイミングでの清掃を促す手段が求められていた。
【０００８】
本発明の目的は、効率的に加工装置内の清掃を行うことができる加工装置及び汚れ監視方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、被加工物を加工する加工装置であって、該被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物に加工を施す加工ユニットと、カメラと、制御ユニットと、報知部と、を備え、該制御ユニットは、該カメラで撮影した該加工装置の内部の基準画像を登録する基準画像登録部と、該基準画像登録部に登録された該基準画像と、該カメラで新たに撮影して得た比較画像とを比較し、予め設定された閾値以上の違いの有無から汚れの発生を判定する判定部と、を備え、該判定部は汚れ発生と判定した場合、該報知部に汚れの発生を報知させることを特徴とする。
【００１０】
本発明の汚れ監視方法は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物に加工を施す加工ユニットと、カメラと、制御ユニットと、報知部と、を備えた加工装置を用いた汚れ監視方法であって、該カメラで該加工装置の内部を撮影して基準画像を生成する基準画像生成ステップと、該基準画像を登録する基準画像登録ステップと、該カメラで該加工装置の内部を撮影して比較画像を生成する比較画像生成ステップと、登録された該基準画像と該比較画像とを比較し、予め設定された閾値以上の違いの有無から汚れの発生を判定する判定ステップと、汚れ発生と判定された場合に、報知部より汚れの発生を報知する報知ステップと、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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