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公開番号2024088458
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-02
出願番号2022203645
出願日2022-12-20
発明の名称集塵機
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B23Q 11/00 20060101AFI20240625BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】集塵機が備えるフィルタユニットにおいて気体が逆流する場合であっても、吸気口から流出する気体に混入する加工屑の割合を低減することが可能な集塵機を提供する。
【解決手段】加工装置で発生する加工屑が混入した気体から加工屑を捕集するための集塵機であって、吸気口が設けられているウェットスクラバーユニットと、ウェットスクラバーユニットと連通するフィルタユニットと、フィルタユニットと連通し、かつ、排気口が設けられているエアポンプと、を備え、ウェットスクラバーユニットは、気体に混入した加工屑を捕集するための液体を貯蔵可能な筐体を含み、フィルタユニットは、気体に混入した加工屑を捕集するためのフィルタを含み、筐体に液体が貯蔵された状態でエアポンプが動作すると、液体が渦流になる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
加工装置で発生する加工屑が混入した気体から該加工屑を捕集するための集塵機であって、
吸気口が設けられているウェットスクラバーユニットと、
該ウェットスクラバーユニットと連通するフィルタユニットと、
該フィルタユニットと連通し、かつ、排気口が設けられているエアポンプと、を備え、
該ウェットスクラバーユニットは、該気体に混入した該加工屑を捕集するための液体を貯蔵可能な筐体を含み、
該フィルタユニットは、該気体に混入した該加工屑を捕集するためのフィルタを含み、
該筐体に該液体が貯蔵された状態で該エアポンプが動作すると、該液体が渦流になる集塵機。
続きを表示（約 100 文字）【請求項２】
該ウェットスクラバーユニットは、該気体の流路を画定するための内壁を含み、
該内壁の表面のうち該渦流となった該液体と接触する位置には突起部が設けられている請求項１に記載の集塵機。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置で発生する加工屑が混入した気体から加工屑を捕集するための集塵機に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、表面側に複数のデバイスが形成されているウェーハ等の被加工物を個々のデバイスを含む領域毎に分割することで製造される。
【０００３】
この被加工物は、製造されるチップの小型化を目的として、その分割に先立って薄化されることがある。被加工物の薄化は、例えば、被加工物の裏面側を研削することによって行われる。ただし、このような研削が行われると、被加工物の裏面側に加工歪みが残存することがある。
【０００４】
この場合、被加工物を分割することによって製造されるチップの抗折強度が低下して、このチップが破損しやすくなる。そのため、このような研削の後には、回転する研磨パッドを被加工物の裏面に押し付ける乾式研磨が行われることがある（例えば、特許文献１及び２参照）。
【０００５】
乾式研磨は、研磨パッドと被加工物との接触界面（加工点）に液体を供給せずに行われるため、その最中に被加工物の屑（加工屑）が発生する。この点を踏まえて、乾式研磨を実施可能な加工装置には、加工屑が混入した気体から加工屑を捕集するための集塵機が連通するように併設されていることが多い（例えば、特許文献３参照）。
【０００６】
この集塵機は、加工装置に連通する吸気口が設けられているフィルタユニットと、フィルタユニットと連通し、かつ、排気口が設けられているエアポンプとを有する。そして、エアポンプが動作すると、加工装置に内在する気体が吸気口を通って集塵機に流入してから、フィルタユニット及びエアポンプの順に流れて排気口から排出される。
【０００７】
これにより、この気体に混入した加工屑がフィルタユニットに設けられているフィルタによって捕集され、混入する加工屑の割合が低減された気体が排気口から排出される。さらに、特許文献３に記載の集塵機においては、フィルタによって捕集された加工屑を除去するためのフィルタ再生手段が設けられている。
【０００８】
具体的には、このフィルタ再生手段は、排気口側から吸気口側に向かうような高圧エアをフィルタに噴射する。これにより、フィルタによって捕集された加工屑が吹き飛ばされ、集塵機における加工屑を捕集する能力の低下を抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
特開２００２－２８３２１２号公報
特開２０１２－１０１３２１号公報
特開２００４－１１１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ただし、フィルタユニットにおいて排気口側から吸気口側に向かって気体が流れるような場合（気体が逆流する場合）には、加工屑が混入した気体が加工装置に再流入するおそれがある。
（【００１１】以降は省略されています）

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