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公開番号2024089884
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-04
出願番号2022205397
出願日2022-12-22
発明の名称可動配線配管装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B23Q 1/00 20060101AFI20240627BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】配線配管の本数が増えても、該配線配管の高さを低く抑えて加工装置の小型化を図ることができる可動配線配管装置を提供すること。
【解決手段】可動配線配管装置60のフラット配線配管は、第1フラット配線配管71と第2フラット配線配管72とを備え、回転テーブル10を囲繞する環状壁66aと、回転テーブル10と環状壁66aとの間において第1フラット配線配管71を湾曲させた第1湾曲部71Aの外面と第2フラット配線配管72を湾曲させた第2湾曲部72Aの外面とを回転テーブル10の軸心Oを中心とする円周方向で対面させ収容するフラット配線配管収容ケースCと、を備え、第1フラット配線配管71と第2フラット配線配管72の各一方の端部を回転テーブル10側にそれぞれ連結し、各他方の端部を環状壁66aにそれぞれ連結する。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持し往復回転する回転テーブルにエネルギーを供給する複数の配線及び配管が並列に接着されたフラット配線配管を配設する可動配線配管装置であって、
該フラット配線配管は、第１フラット配線配管と第２フラット配線配管とを備え、
該回転テーブルを囲繞する環状壁と、該回転テーブルと該環状壁との間において該第１フラット配線配管を湾曲させた第１湾曲部の外面と該第２フラット配線配管を湾曲させた第２湾曲部の外面とを該回転テーブルの軸心を中心とする円周方向で対面させ収容するフラット配線配管収容ケースと、を備え、
該第１フラット配線配管と該第２フラット配線配管の各一方の端部を該回転テーブル側にそれぞれ連結し、各他方の端部を該環状壁にそれぞれ連結する可動配線配管装置。
続きを表示（約 87 文字）【請求項２】
該フラット配線配管収容ケースは、該第１湾曲部と該第２湾曲部とを円周方向に移動可能に支持するスライダーを備える、請求項１記載の可動配線配管装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を保持して往復回転する回転テーブルにエネルギーを供給する複数の配線及び配管が並列に接着されたフラット配線配管を配設する可動配線配管に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体デバイスの製造工程においては、円板状の半導体ウェーハ（以下、単に「ウェーハ」と称する）の表面が格子状に配列されたストリートと称される分割予定ラインによって多数の矩形領域に区画され、各矩形領域にＩＣやＬＳＩなどのデバイスがそれぞれ形成される。そして、このように多数のデバイスが形成されたウェーハをダイサーと称される切削装置の切削ブレードで分割予定ラインに沿って切削することによって、複数の半導体チップが製造される。
【０００３】
そして、切削装置において、ウェーハの一方向の分割予定ラインに沿う切削が終了すると、該ウェーハを保持する回転テーブルが９０°だけ回転し、一方向の分割予定ラインに直交する他方向の分割予定ラインに沿う切削が行われる。このように回転テーブルが回転すると、該回転テーブルに圧力や電気などの各種エネルギーを供給する配線や配管「以下、「配線配管」と称する」には、回転テーブルの回転を許容する長さが確保されている必要がある。この場合、配線配管が収納部において絡まないようするためには、収納部に大きな空間が必要になるため、切削装置が大型化するという問題が発生する。
【０００４】
そこで、複数の配線配管を上下方向に並列に接着してフラット配線配管を構成し、このフラット配線配管をＵ字状に湾曲させて収納部に収納する可動配線配管装置が提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００７－２２９９０４号公報
特開２０１３－０３５１１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１，２において提案されているように、複数の配線配管を上下方向に並列に接着して構成されるフラット配線配管をＵ字状に湾曲させて収納部に収納する構成を採用すると、収納部の高さが高くなって加工装置が大型化するという問題が発生する。また、回転テーブルの回転に伴って配線配管が収納部内において擦れ、ゴミが発生するという不具合も生じる。
【０００７】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、配線配管の本数が増えても、該配線配管の高さを低く抑えて加工装置の小型化を図ることができる可動配線配管装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成する本発明は、被加工物を保持し往復回転する回転テーブルにエネルギーを供給する複数の配線及び配管が並列に接着されたフラット配線配管を配設する可動配線配管装置であって、該フラット配線配管は、第１フラット配線配管と第２フラット配線配管とを備え、該回転テーブルを囲繞する環状壁と、該回転テーブルと該環状壁との間において該第１フラット配線配管を湾曲させた第１湾曲部の外面と該第２フラット配線配管を湾曲させた第２湾曲部の外面とを該回転テーブルの軸心を中心とする円周方向で対面させ収容するフラット配線配管収容ケースと、を備え、該第１フラット配線配管と該第２フラット配線配管の各一方の端部を該回転テーブル側にそれぞれ連結し、各他方の端部を該環状壁にそれぞれ連結することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、フラット配線配管収容ケース内において配線配管を第１フラット配線配管と第２配線配管とに２分割したため、これらの第１フラット配線配管と第２フラット配線配管にそれぞれ含まれる配線配管の本数が半減し、その高さが低く抑えられて当該可動配線配管装置を備える加工装置の小型化が図られる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明に係る可動配線配管装置を備える切削装置の斜視図である。
ワークセットの斜視図である。
本発明に係る可動配線配管装置の構成を示す破断正面図である。
本発明に係る可動配線配管装置を備える切削装置の回転テーブル上にワークセットを保持した状態を示す破断正面図である。
本発明に係る可動配線配管装置の作用を示す模式的平面図（回転角０°の場合）である。
本発明に係る可動配線配管装置の作用を示す模式的平面図（回転角９０°の場合）である。
本発明に係る可動配線配管装置の作用を示す模式的平面図（回転角１８０°の場合）である。
本発明に係る可動配線配管装置の作用を示す模式的平面図（回転角２７０°の場合）である。
本発明に係る可動配線配管装置の作用を示す模式的平面図（回転角３８０°の場合）である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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