特許ウォッチ

公開番号2024093530
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-09
出願番号2022209967
出願日2022-12-27
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 55/06 20060101AFI20240702BHJP(研削;研磨)
要約【課題】屋内に排気することを可能としながらも部品の交換を抑制することができる加工装置を提供すること。
【解決手段】加工装置1は、一端が加工室60に連通し他端が加工装置1の外に開口した開口部4に連通する排気路70が形成され、排気路70中に配設されたファン74と、ファン74と加工室60間に配設され排気に含まれる加工屑101を分離する分離ユニット80とを備える。分離ユニット80は、上端側に排気が流入する流入口831が形成され下端側に排出口841が形成され内部で排気を回転流動させる本体81と、本体81を冷却する冷却ユニットとを有し、本体81の上端側には、排気を排出する気体排出口832が形成され、気体排出口832から排出された気体は、排気路70を通じて加工装置1の外のクリーンルーム100内に排出される。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持する保持ユニットと、該保持ユニットで保持された被加工物に加工を施す加工ユニットと、少なくとも該保持ユニットで保持された被加工物に該加工ユニットで加工を施す間に該保持ユニットと該加工ユニットとを収容する加工室と、を備え、屋内に配置される加工装置であって、
該加工装置には一端が該加工室に連通すると共に他端が該加工装置の外に開口した開口部に連通する排気路が形成され、
該排気路中に配設されたファンと、
該排気路中で該ファンと該加工室間に配設され、該加工室から該排気路に流出した排気に含まれる加工屑を分離する分離ユニットと、を備え、
該分離ユニットは、
上端側に該加工室からの排気が流入する流入口が形成されるとともに下端側に排出口が形成され、内部で該排気を回転流動させるとともに回転流動による遠心力で該排気に含まれる加工屑を分離して落下させ該排出口から排出させる本体と、
該本体を冷却する冷却ユニットと、を有し、
該本体の上端側には、該排気から加工屑が分離された排気を排出する気体排出口が形成され、該分離ユニットの該気体排出口から排出された気体は、該排気路を通じて該加工装置の外の該屋内に排出される、加工装置。
続きを表示（約 58 文字）【請求項２】
該冷却ユニットは、ペルチェ素子を有し、該本体に固定される、請求項１に記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程では、研削装置や研磨装置、ダイシング装置等の加工装置が屋内に設置される。クリーンルームは一定の温度、一定の湿度に管理され、クリーンルーム内に設置された加工装置の排気は排気ダクトを通じてクリーンルーム外に排気されている。
【０００３】
しかし、クリーンルーム内のエアをクリーンルームの外に排気すると、新たにクリーンルームに外気を取込み、温調しなくてはならない。そこで高性能フィルタを備え、加工排気を加工装置からクリーンルーム内に排気できる加工装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１２－１４９８１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１等に記載された加工装置は、フィルタ等の部品が一定頻度で交換が必要となるため、更なる改善が切望されている。
【０００６】
本発明の目的は、屋内に排気することを可能としながらも部品の交換を抑制することができる加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、被加工物を保持する保持ユニットと、該保持ユニットで保持された被加工物に加工を施す加工ユニットと、少なくとも該保持ユニットで保持された被加工物に該加工ユニットで加工を施す間に該保持ユニットと該加工ユニットとを収容する加工室と、を備え、屋内に配置される加工装置であって、該加工装置には一端が該加工室に連通すると共に他端が該加工装置の外に開口した開口部に連通する排気路が形成され、該排気路中に配設されたファンと、該排気路中で該ファンと該加工室間に配設され、該加工室から該排気路に流出した排気に含まれる加工屑を分離する分離ユニットと、を備え、該分離ユニットは、上端側に該加工室からの排気が流入する流入口が形成されるとともに下端側に排出口が形成され、内部で該排気を回転流動させるとともに回転流動による遠心力で該排気に含まれる加工屑を分離して落下させ該排出口から排出させる本体と、該本体を冷却する冷却ユニットと、を有し、該本体の上端側には、該排気から加工屑が分離された排気を排出する気体排出口が形成され、該分離ユニットの該気体排出口から排出された気体は、該排気路を通じて該加工装置の外の該屋内に排出されることを特徴とする。
【０００８】
前記加工装置において、該冷却ユニットは、ペルチェ素子を有し、該本体に固定されても良い。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、屋内に排気することを可能としながらも部品の交換を抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。
図２は、図１に示された加工装置の要部の縦断面図である。
図３は、図１に示された加工装置の分離ユニットの外観を模式的に示す斜視図である。
図４は、図３に示された分離ユニットの内部を模式的に示す透視図である。
図５は、図３中のＶ－Ｖ線に沿う断面図である。
図６は、図５中のＶＩ－ＶＩ線に沿う断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許