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公開番号2024118070
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-30
出願番号2023024253
出願日2023-02-20
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類B24B 55/06 20060101AFI20240823BHJP(研削;研磨)
要約【課題】加工装置においてカセットに収容される被加工物の汚れを防止する。
【解決手段】カセットステージ室(13)と、カセットステージ(31)に載置したカセット(30)に被加工物を搬入及び搬出する搬送室(14)と、カセットステージ室と搬送室との境の搬入出口(24)と、加工ユニット(40)を備えた加工室(15)と、搬送室と加工室との境の通過口(25)と、吸気口(74)から加工室内の空気を吸気する吸気ユニット(70)と、吸気口と吸気ユニットを連通する吸気路(77)と、吸気ユニットから排気の水分と塵を除去するフィルタユニット(80)と、吸気ユニットの排気をカセットステージ室に入れる入口(76)と、吸気ユニットと入口を連通する導入路(79)と、を備え、カセットステージ室の入口から入った空気を、搬入出口、搬送室、通過口、加工室、吸気口、吸気路、吸気ユニット、導入路、入口の順に循環させる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を加工する加工装置であって、
被加工物を保持するチャックテーブルと、
被加工物を加工具で加工する加工ユニットと、
該加工具と該チャックテーブルとを収容して被加工物を加工する加工室と、
被加工物を加工する加工位置と該チャックテーブルに被加工物を搬入及び搬出する搬送位置とに該チャックテーブルを移動させる移動機構と、
該加工室に形成され該チャックテーブルが通過する通過口と、
被加工物を収納したカセットを載置するカセットステージと、
該搬送位置に移動した該チャックテーブルと該カセットステージに載置した該カセットとに対し被加工物を搬入及び搬出する搬送機構と、
該カセットステージを収容したカセットステージ室と、
該搬送機構により被加工物を搬入及び搬出する搬送室と、
該カセットステージ室と該搬送室との境に形成し、該カセットステージに載置した該カセットに被加工物の搬入及び搬出を可能とする搬入出口と、
該加工室内の空気を吸気する吸気ユニットと、
該加工室に形成され該吸気ユニットによって該加工室内の空気を吸気する吸気口と、
該吸気口と該吸気ユニットとを連通する吸気路と、
該吸気ユニットから該排気の水分、塵を除去するフィルタユニットと、
該カセットステージ室に形成され該吸気ユニットの排気を入れる入口と、
該吸気ユニットと該入口とを連通する導入路と、
を備え、
該カセットステージ室の該入口から入った空気を、該搬入出口、該搬送室、該通過口、該加工室、該吸気口、該吸気路、該吸気ユニット、該導入路、該入口の順に、循環させる、加工装置。
続きを表示（約 530 文字）【請求項２】
電気制御部品を収容する電装室を備え、
該電装室と該カセットステージ室との境に形成し、該カセットステージ室の空気を該電装室に入れる電装入口と、該電装室内から空気を取り出す電装出口と、該電装出口と該吸気ユニットとを連通する電装連通路と、を備え、
該カセットステージ室に入れられた空気を、該搬送室と、該電装室とに２分岐させ、該電装室に入った空気によって、該電装室内を冷却する、請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
該カセットステージに載置したカセットは、被加工物を取り出すための取出し口と、取出し口を塞ぐ蓋と、を備え、
該搬入出口を開閉する搬入出口扉と、
該カセットステージに対し該カセットを出し入れするための出し入れ扉と、
該出し入れ扉の開閉を検知する開閉検知部と、
該蓋を開閉する蓋開閉機構と、
該開閉検知部によって該出し入れ扉が閉じられていることを検知しているときに該蓋を閉じることと該搬入出口扉を閉じることとを制御する制御部と、
を備える、請求項１記載の加工装置。
【請求項４】
該吸気ユニットは、気液分離部を備える、請求項１記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示のように、切削ブレードで被加工物を切削する切削装置は、被加工物を保持したチャックテーブルと高速回転する切削ブレードとを相対的に切削送り方向に移動させて、被加工物を切削している。
【０００３】
切削装置での切削加工は、被加工物を保持するチャックテーブルと切削ブレードとを収容する加工室内で、加工液である切削水を切削ブレード及びその近傍に供給して行われる。そのため、加工室内には、高速回転する切削ブレードによって切削水の噴霧が飛散する。飛散した切削水の噴霧が切削加工後の被加工物に付着することを防ぐ目的で、ダクトユニットを設けて加工室内の噴霧を含んだ空気を吸引することが行われている。
【０００４】
また、特許文献１に開示のように、加工室内から排出される噴霧を含んだ空気を吸引して乾燥空気供給手段へ送り、乾燥させた空気を乾燥空気供給手段から加工室へ戻して、加工室と乾燥空気供給手段との間で空気の循環を行わせている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００７－１０３８３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
切削装置は、被加工物を保持したチャックテーブルを加工室内に位置させて被加工物の切削加工を行い、切削加工が終了したらチャックテーブルを加工室から出して、被加工物をカセットに収容する。このとき、被加工物を搬送する搬送エリアに加工室内の噴霧が噴出すると、搬送エリアや切削加工後の被加工物を汚し、汚れた被加工物をカセットに収容することになる。
【０００７】
特許文献１の切削装置は、加工室と乾燥空気供給手段との間で空気の循環をさせており、加工室の外側の搬送エリアやカセット付近での被加工物の汚れ防止については対策の余地があった。
【０００８】
被加工物の研削加工を行う研削装置や研磨加工を行う研磨装置においても、切削装置と同様に加工液を供給して加工を行うため、加工液が噴霧となって搬送エリアや加工後の被加工物を汚すおそれがある。また、乾式研磨加工を行う加工装置において、加工時に発生した加工屑が搬送エリアや加工後の被加工物を汚すおそれがある。
【０００９】
したがって、被加工物を切削する切削装置のように加工液が噴霧となる加工装置、または加工屑が発生する加工装置は、きれいな被加工物をカセットに収容させるために空気の循環経路を構成させる、という課題がある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様は、被加工物を加工する加工装置であって、被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物を加工具で加工する加工ユニットと、該加工具と該チャックテーブルとを収容して被加工物を加工する加工室と、被加工物を加工する加工位置と該チャックテーブルに被加工物を搬入及び搬出する搬送位置とに該チャックテーブルを移動させる移動機構と、該加工室に形成され該チャックテーブルが通過する通過口と、被加工物を収納したカセットを載置するカセットステージと、該搬送位置に移動した該チャックテーブルと該カセットステージに載置した該カセットとに対し被加工物を搬入及び搬出する搬送機構と、該カセットステージを収容したカセットステージ室と、該搬送機構により被加工物を搬入及び搬出する搬送室と、該カセットステージ室と該搬送室との境に形成し、該カセットステージに載置した該カセットに被加工物の搬入及び搬出を可能とする搬入出口と、該加工室内の空気を吸気する吸気ユニットと、該加工室に形成され該吸気ユニットによって該加工室内の空気を吸気する吸気口と、該吸気口と該吸気ユニットとを連通する吸気路と、該吸気ユニットから該排気の水分、塵を除去するフィルタユニットと、該カセットステージ室に形成され該吸気ユニットの排気を入れる入口と、該吸気ユニットと該入口とを連通する導入路と、を備え、該カセットステージ室の該入口から入った空気を、該搬入出口、該搬送室、該通過口、該加工室、該吸気口、該吸気路、該吸気ユニット、該導入路、該入口の順に、循環させる。
（【００１１】以降は省略されています）

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