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公開番号2024104390
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-05
出願番号2023008566
出願日2023-01-24
発明の名称切削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B24B 53/00 20060101AFI20240729BHJP(研削;研磨)
要約【課題】湾曲したドレッシングボードであっても、サブテーブルの平坦面に密着して吸引保持することができる切削装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブル22に隣接してドレッシングボード40を保持するサブテーブル30が配設され、サブテーブル30は、ドレッシングボード40を支持する平坦面32aを有する基台32と、ドレッシングボード40を吸引保持する少なくとも2個の吸着パッド31A、31Bと、から構成され、吸着パッド31A、31Bは、平坦面32aに形成された凹部33a、34aに収容されると共に吸着パッド31A、31Bの先端は、平坦面32aから僅かに突出して配設され、吸着パッド31A、31Bの先端がドレッシングボード40を吸引し凹部33a、34aに没入することでドレッシングボード40が平坦面32aに密着する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切り刃が外周に形成された切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に直交するＹ軸方向に加工送りするＹ軸送り手段と、を含み構成された切削装置であって、
該チャックテーブルに隣接して切削ブレードの切り刃をドレッシングするドレッシングボードを保持するサブテーブルが配設され、
該サブテーブルは、ドレッシングボードを支持する平坦面を有する基台と、ドレッシングボードを吸引保持する少なくとも２個の吸着パッドと、から構成され、
該吸着パッドは、該平坦面に形成された凹部に収容されると共に該吸着パッドの先端は、該平坦面から僅かに突出して配設され、
該吸着パッドの先端がドレッシングボードを吸引し該凹部に没入することでドレッシングボードが該平坦面に密着する切削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルに隣接して切削ブレードの切り刃をドレッシングするドレッシングボードを保持するサブテーブルが配設された切削装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、切削装置よって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切り刃が外周に形成された切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に直交するＹ軸方向に加工送りするＹ軸送り手段と、を含み構成されていて、ウエーハを高精度に切削することができる。
【０００４】
また、本出願人によって切削ブレードの切り刃を目立てするドレッシングボードを吸引保持するサブテーブルを、チャックテーブルに隣接して配設することが提案されている（例えば特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０００－０４９１２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記したドレッシングボードは定期的に交換する必要があり、交換が必要になったドレッシングボードは、サブテーブルから取り外され、新品のドレッシングボードに交換される。しかし、焼成によって薄板状に形成されるドレッシングボードは湾曲することがあり、サブテーブルの表面に形成された細溝、又はポーラス部材によって表面に吸引負圧が供給される従来のサブテーブルの構成では、湾曲したドレッシングボードとサブテーブルの表面との隙間からバキューム圧力が逃げてしまい、サブテーブルの表面に湾曲したドレッシングボードを適切に吸引保持することができない、という問題がある。
【０００７】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、湾曲したドレッシングボードであっても、サブテーブルの平坦面に密着して吸引保持することができる切削装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切り刃が外周に形成された切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に直交するＹ軸方向に加工送りするＹ軸送り手段と、を含み構成された切削装置であって、該チャックテーブルに隣接して切削ブレードの切り刃をドレッシングするドレッシングボードを保持するサブテーブルが配設され、該サブテーブルは、ドレッシングボードを支持する平坦面を有する基台と、ドレッシングボードを吸引保持する少なくとも２個の吸着パッドと、から構成され、該吸着パッドは、該平坦面に形成された凹部に収容されると共に該吸着パッドの先端は、該平坦面から僅かに突出して配設され、該吸着パッドの先端がドレッシングボードを吸引し該凹部に没入することでドレッシングボードが該平坦面に密着する切削装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の切削装置は、チャックテーブルに隣接して切削ブレードの切り刃をドレッシングするドレッシングボードを保持するサブテーブルが配設され、該サブテーブルは、ドレッシングボードを支持する平坦面を有する基台と、ドレッシングボードを吸引保持する少なくとも２個の吸着パッドと、から構成され、該吸着パッドは、該平坦面に形成された凹部に収容されると共に該吸着パッドの先端は、該平坦面から僅かに突出して配設され、該吸着パッドの先端がドレッシングボードを吸引し該凹部に没入することでドレッシングボードが該平坦面に密着することから、ドレッシングボードが湾曲している場合であっても、該ドレッシングボードをサブテーブルの平坦面に密着させて保持することができ、ドレッシングボードの上面が平坦で維持され、切削ブレードのドレッシングを適切に実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本実施形態の切削装置の全体斜視図である。
サブテーブルに吸着パッドを装着する態様を示す斜視図である。
サブテーブルにドレッシングボードを保持する態様を示す斜視図である。
サブテーブルに保持されたドレッシングボードが吸引されて上面が平坦とされる態様を示す斜視図である。
ドレッシングボードによって切削ブレードをドレッシングする態様を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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