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公開番号2024111635
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-19
出願番号2023016255
出願日2023-02-06
発明の名称研削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類B24B 49/14 20060101AFI20240809BHJP(研削;研磨)
要約【課題】研削砥石に起因する研削不良を未然に回避可能な研削装置を提供する。
【解決手段】研削装置1は、回転中心を頂点とするゆるやかな円錐状の保持面によってウェーハWを保持し回転するチャックテーブル10と、環状の研削砥石66を回転させ保持面に保持され回転するウェーハWの半径部分に研削砥石66の下面を接触させ研削する研削機構60と、研削機構60を保持面に垂直方向に移動させる加工送り機構70を備える。研削装置1は、さらに、研削加工中の研削砥石66の外側でウェーハWの上方から、ウェーハWの中心部分Cの温度を非接触で測定する非接触温度計80と、非接触温度計80で測定した値が予め設定した上限温度を上方向に超えた場合に、研削加工に異常が発生していると判断する上判断部5と、上判断部5が判断したら作業者に通知する通知部7を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
回転中心を頂点とするゆるやかな円錐状の保持面によってウェーハを保持し回転するチャックテーブルと、環状の研削砥石を回転させ該保持面に保持され回転する該ウェーハの半径部分に該研削砥石の下面を接触させ研削する研削機構と、該研削機構を該保持面に垂直方向に移動させる移動機構と、を備える研削装置であって、
研削加工中の該研削砥石の外側で該ウェーハの上方から、該ウェーハの中心部分の温度を非接触で測定する非接触温度計と、
該非接触温度計で測定した値が予め設定した上限温度を上方向に超えた場合に、研削加工に異常が発生していると判断する上判断部と、
該上判断部が判断したら作業者に通知する通知部と、を備える、研削装置。
続きを表示（約 910 文字）【請求項２】
回転中心を頂点とするゆるやかな円錐状の保持面によってウェーハを保持し回転するチャックテーブルと、環状の研削砥石を回転させ該保持面に保持され回転する該ウェーハの半径部分に該研削砥石の下面を接触させ研削する研削機構と、該研削機構を該保持面に垂直方向に移動させる移動機構と、を備える研削装置であって、
研削加工中の該研削砥石の外側で該ウェーハの上方から、該ウェーハの中心部分の温度を非接触で測定する非接触温度計と、
該非接触温度計で測定した値が予め設定した下限温度を下方向に超えた場合に、研削加工に異常が発生していると判断する下判断部と、
該下判断部が判断したら作業者に通知する通知部と、を備える、研削装置。
【請求項３】
回転中心を頂点とするゆるやかな円錐状の保持面によってウェーハを保持し回転するチャックテーブルと、環状の研削砥石を回転させ該保持面に保持され回転する該ウェーハの半径部分に該研削砥石の下面を接触させ研削する研削機構と、該研削機構を該保持面に垂直方向に移動させる移動機構と、を備える研削装置であって、
研削加工中の該研削砥石の外側で該ウェーハの上方から、該ウェーハの中心部分の温度を非接触で測定する非接触温度計と、
該非接触温度計で測定した値が予め設定した上限温度を上方向に超えた場合に、研削加工に異常が発生していると判断する上判断部と、
該非接触温度計で測定した値が予め設定した下限温度を下方向に超えた場合に、研削加工に異常が発生していると判断する下判断部と、
制御部と、を備え、
該制御部は、
該非接触温度計で測定した研削加工中のウェーハ上面の温度が、該上限温度と該下限温度との間の制御範囲に納まるように、
該チャックテーブルを回転させるテーブル回転機構による回転速度を可変する制御、該研削砥石を回転させる砥石回転機構の回転速度を可変する制御、該移動機構による下降速度を可変する制御、または、該研削砥石に研削水を噴射する研削水流量を可変する制御の少なくとも一つを制御する、研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削装置に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
ウェーハを研削砥石で研削する研削装置では、ウェーハと研削砥石の間の温度が過度に上昇するとウェーハの表面が焼けてしまう面焼けと呼ばれる現象が生じることが知られている。このような技術的な課題に対して、ウェーハの上面の温度または研削砥石の下面の温度を測定することで、ウェーハの面焼けの兆候を検知して面焼けを未然に防止する技術が提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１４６４２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ウェーハがＳｉＣ、サファイアなどの硬い材質の場合には、研削砥石の研削面の目つぶれが発生した後に面焼けが発生する。そのため、面焼けを未然に防止することに主眼をおいて面焼けの兆候を検知した際には、ウェーハに面焼けは生じていなくても、すでに研削砥石に目つぶれが生じているといったことが起こりうる。その場合、研削砥石のドレッシングが必要であり、ドレッシングを行うことなく研削が継続されると、ウェーハには十分な研削が行われず研削不良が生じてしまう。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、研削砥石に起因する研削不良を未然に回避可能な研削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様の研削装置は、回転中心を頂点とするゆるやかな円錐状の保持面によってウェーハを保持し回転するチャックテーブルと、環状の研削砥石を回転させ該保持面に保持され回転する該ウェーハの半径部分に該研削砥石の下面を接触させ研削する研削機構と、該研削機構を該保持面に垂直方向に移動させる移動機構と、を備える研削装置であって、研削加工中の該研削砥石の外側で該ウェーハの上方から、該ウェーハの中心部分の温度を非接触で測定する非接触温度計と、該非接触温度計で測定した値が予め設定した上限温度を上方向に超えた場合に、研削加工に異常が発生していると判断する上判断部と、該上判断部が判断したら作業者に通知する通知部と、を備える。
【０００７】
本発明の別の態様の研削装置は、回転中心を頂点とするゆるやかな円錐状の保持面によってウェーハを保持し回転するチャックテーブルと、環状の研削砥石を回転させ該保持面に保持され回転する該ウェーハの半径部分に該研削砥石の下面を接触させ研削する研削機構と、該研削機構を該保持面に垂直方向に移動させる移動機構と、を備える研削装置であって、研削加工中の該研削砥石の外側で該ウェーハの上方から、該ウェーハの中心部分の温度を非接触で測定する非接触温度計と、該非接触温度計で測定した値が予め設定した下限温度を下方向に超えた場合に、研削加工に異常が発生していると判断する下判断部と、該下判断部が判断したら作業者に通知する通知部と、を備える。
【０００８】
本発明のさらに別の態様の研削装置は、回転中心を頂点とするゆるやかな円錐状の保持面によってウェーハを保持し回転するチャックテーブルと、環状の研削砥石を回転させ該保持面に保持され回転する該ウェーハの半径部分に該研削砥石の下面を接触させ研削する研削機構と、該研削機構を該保持面に垂直方向に移動させる移動機構と、を備える研削装置であって、研削加工中の該研削砥石の外側で該ウェーハの上方から、該ウェーハの中心部分の温度を非接触で測定する非接触温度計と、該非接触温度計で測定した値が予め設定した上限温度を上方向に超えた場合に、研削加工に異常が発生していると判断する上判断部と、該非接触温度計で測定した値が予め設定した下限温度を下方向に超えた場合に、研削加工に異常が発生していると判断する下判断部と、制御部と、を備え、該制御部は、該非接触温度計で測定した研削加工中のウェーハ上面の温度が、該上限温度と該下限温度との間の制御範囲に納まるように、該チャックテーブルを回転させるテーブル回転機構による回転速度を可変する制御、該研削砥石を回転させる砥石回転機構の回転速度を可変する制御、該移動機構による下降速度を可変する制御、または、該研削砥石に研削水を噴射する研削水流量を可変する制御の少なくとも一つを制御する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、研削砥石に起因する研削不良を未然に回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本実施形態に係る研削装置の斜視図である。
本実施形態に係る研削装置の研削機構とチャックテーブルとの関係の説明図である。
本実施形態に係る研削装置が有する研削ホイールとウェーハとの関係の説明図である。
本実施形態に係る研削装置の研削面高さとウェーハ温度の関係の一例を示した図である。
本実施形態に係る研削装置が行う温度制御により研削加工が継続される場合のウェーハ温度遷移の一例を示した図である。
本実施形態に係る研削装置が行う温度制御により研削加工が中止される場合のウェーハ温度遷移の一例を示した図である。
本実施形態に係る研削装置における温度制御の変形例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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