特許ウォッチ

公開番号2024088078
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-02
出願番号2022203060
出願日2022-12-20
発明の名称洗浄装置及びワークの洗浄方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240625BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ワークが厚い場合や、ワークの上面への接触を避けたい場合にも採用でき、保持テーブルの回転時に遠心力によってワークがずれてしまう恐れを抑制できる洗浄装置及びワークの洗浄方法を提供すること。
【解決手段】洗浄装置1は、保持テーブル10の保持面11に保持されたワーク100を洗浄する洗浄ユニットと、保持テーブル10に固定された振り子70と、を備え、振り子70は、支点となる軸部71と、作用点となりワーク100の側面120に接触する押さえ部72と、保持面11から上方向に突出しワーク100によって押され力点となる支持部73と、を有し、支持部73がワーク100の重みで回転することで、押さえ部72が内周側に回転し、ワーク100の側面120に接触してワーク100を位置決めすることを特徴とする。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
保持テーブルの保持面に保持されたワークを洗浄する洗浄ユニットと、
該保持テーブルに固定された振り子と、
を備える洗浄装置であって、
該振り子は、
支点となる軸部と、
作用点となりワークの側面に接触する押さえ部と、
該保持面から上方向に突出しワークによって押され力点となる支持部と、を有し、
該支持部がワークの重みで回転することで、該押さえ部が内周側に回転し、ワークの側面に接触してワークを位置決めすることを特徴とする洗浄装置。
続きを表示（約 690 文字）【請求項２】
該振り子は、該軸部を挟んで該押さえ部の反対側に、該保持面の回転により発生する遠心力で外周側に揺動する錘部をさらに有する事を特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
該ワークは、被洗浄物と、被洗浄物を支持する固定治具と、を含み、
該押さえ部は、該固定治具に接触する事を特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項４】
該押さえ部のワークとの接触面は弾性部材または緩衝部材で形成されることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項５】
保持テーブルの保持面に保持されたワークを洗浄する洗浄ユニットと、
該保持テーブルに固定された振り子と、
を備える洗浄装置でワークを洗浄する洗浄方法であって、
該振り子は、
支点となる軸部と、
作用点となりワークの側面に接触する押さえ部と、
該保持面から上方向に突出しワークによって押され力点となる支持部と、を有し、
該ワークを該保持面に載置する載置ステップと、
該ワークを洗浄する洗浄ステップと、を備え、
該載置ステップは、ワークの重みにより該支持部が回転すると共に、該押さえ部が内周側に回転し、該押さえ部がワークの側面に接触してワークを位置決めする位置決めステップを有する事を特徴とするワークの洗浄方法。
【請求項６】
該位置決めステップの実施後、該保持面で該ワークを吸引保持する吸引保持ステップをさらに有することを特徴とする請求項５に記載のワークの洗浄方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを洗浄する洗浄装置及びワークの洗浄方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
外周に振り子式クランプ機構を有する保持テーブルにワークを保持して保持テーブルを回転させながら洗浄する洗浄装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００６－１２８３５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
保持テーブルの回転による遠心力を利用して振り子の錘部を外周方向に揺動させることで、押さえ部がワーク上にのるように内周側に揺動させ、保持テーブルの回転中のワークの動きを規制している。しかしワークが厚い場合や、ワークの上面への接触を避けたい場合は、従来の振り子式クランプが採用できないという問題があった。また、振り子式クランプは押さえ部がワークの上面に乗りワークの位置ずれを防止する程度の固定力であるため、洗浄中に固定力が十分ではなく、ワークがずれてしまう恐れがあった。特に、保持テーブルの回転中心に対して、偏心してワークが保持されてしまうと、保持テーブルの回転時に振り子式クランプの固定力を遠心力が上回ってしまい、ワークがずれてしまうと言う問題があった。また、重量のあるワークの場合も、遠心力が大きくなるので、洗浄中にワークがずれてしまう恐れが大きくなる。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ワークが厚い場合や、ワークの上面への接触を避けたい場合にも採用でき、保持テーブルの回転時に遠心力によってワークがずれてしまう恐れを抑制できる洗浄装置及びワークの洗浄方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の洗浄装置は、保持テーブルの保持面に保持されたワークを洗浄する洗浄ユニットと、該保持テーブルに固定された振り子と、を備える洗浄装置であって、該振り子は、支点となる軸部と、作用点となりワークの側面に接触する押さえ部と、該保持面から上方向に突出しワークによって押され力点となる支持部と、を有し、該支持部がワークの重みで回転することで、該押さえ部が内周側に回転し、ワークの側面に接触してワークを位置決めすることを特徴とする。
【０００７】
該振り子は、該軸部を挟んで該押さえ部の反対側に、該保持面の回転により発生する遠心力で外周側に揺動する錘部をさらに有していてもよい。
【０００８】
該ワークは、被洗浄物と、被洗浄物を支持する固定治具と、を含み、該押さえ部は、該固定治具に接触してもよい。
【０００９】
該押さえ部のワークとの接触面は弾性部材または緩衝部材で形成されてもよい。
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のワークの洗浄方法は、保持テーブルの保持面に保持されたワークを洗浄する洗浄ユニットと、該保持テーブルに固定された振り子と、を備える洗浄装置でワークを洗浄する洗浄方法であって、該振り子は、支点となる軸部と、作用点となりワークの側面に接触する押さえ部と、該保持面から上方向に突出しワークによって押され力点となる支持部と、を有し、該ワークを該保持面に載置する載置ステップと、該ワークを洗浄する洗浄ステップと、を備え、該載置ステップは、ワークの重みにより該支持部が回転すると共に、該押さえ部が内周側に回転し、該押さえ部がワークの側面に接触してワークを位置決めする位置決めステップを有する事を特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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