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公開番号2024086487
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-27
出願番号2022201644
出願日2022-12-16
発明の名称異物除去具
出願人株式会社PFA
代理人個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20240620BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】より簡単な構成で、より確実に異物を除去しつつ、コストをより抑える。
【解決手段】異物除去具は、半導体素子の表面に付着している異物を除去する。異物除去具は、粘着性のゲル状のエラストマーで、粒径が0.5mm乃至5mmの球状または凸多面体状の粒状に形成されている。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
半導体素子の表面に付着している異物を除去するための異物除去具において、
粘着性のゲル状のエラストマーで、粒径が０．５ｍｍ乃至５ｍｍの球状または凸多面体状の粒状に形成されている
異物除去具。
続きを表示（約 290 文字）【請求項２】
請求項１に記載の異物除去具において、
六面体状または正十二面体状に形成されている
異物除去具。
【請求項３】
請求項１に記載の異物除去具において、
自己吸着性を有する前記エラストマーで形成されている
異物除去具。
【請求項４】
請求項３に記載の異物除去具において、
ウレタン化合物で形成されている
異物除去具。
【請求項５】
請求項１に記載の異物除去具において、
表面抵抗率が３×１０
８
Ω／square以下である
異物除去具。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は異物除去具に関し、特に、半導体素子の表面に付着している異物を除去する異物除去具に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
カメラなどに使用されるイメージセンサや、レンズやガラスフィルタ等の光学製品は異物が付着していると製品不良となる。そのため、顕微鏡を通して目視で確認し、異物が付着している場合、エラストマー等の半固形の粘着物質が付いた棒（以下、ゲルスティックと称する。）で、異物を粘着物質側に転写することで異物除去する方法が一般的に行われている。
【０００３】
また、ゲルスティックによる異物の除去を自動機で行う場合もある。高解像度カメラを用いた画像検査装置で異物を検出し、異物のある場所にゲルスティックを自動で押し当て転写し、異物を除去する装置が知られている。
【０００４】
しかしながら、この方式の場合、スティックの下面側で異物を吸着させるため、数回使うと異物除去効果が落ちるので、頻繁にゲルスティックを交換する必要がある。ゲルスティックの角度を変えて除去する方法も提案されている（例えば、特許文献１参照）。これも、異物除去したい部位の近傍に周辺部材が存在する場合、周辺部材に当接してしまうので、角度を付けてアクセスすることができないため、用途が限られていた。
【０００５】
また交換用スティック待機ステーションや、スティック交換の機構も複雑である。
【０００６】
さらに、ゲルスティックにおいては、棒の部分（以下、スティックと称する。）が有ると、スティックとの接続部分の粘着物質は異物除去に使えないため、使用する面も球体の半分以下に限られていた。
【０００７】
さらに、ゲルスティックにはスティックが設けられているので、消耗品である材料コストが余計にかかっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
米国特許第１１４０００４９５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
このように、ゲルスティックにはスティックが設けられているので、消耗品である材料コストが余計にかかっている。また、交換用スティック待機ステーションや、スティック交換の機構も複雑である。
【００１０】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、より簡単な構成で、より確実に異物を除去しつつ、コストをより抑えることができるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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