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公開番号2024088288
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-02
出願番号2022203382
出願日2022-12-20
発明の名称検出装置、加工装置及び登録方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/301 20060101AFI20240625BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】複数種類の被加工物の分割予定ラインに対するキーパターンを登録に係る作業者の作業負担を軽減させかつ作業効率を向上させる。
【解決手段】検出装置300が備える制御ユニット100は、撮像ユニット30で保持テーブル10に保持された被加工物を撮像し、他の領域と比較して特徴的な領域をキーパターンとして特定しキーパターンの画像を記憶し、キーパターンから分割予定ラインまでの距離を記憶することで分割予定ライン検出条件が登録される登録部101と、カセット載置部60に載置されるカセット61から搬送ユニット80によって被加工物を保持テーブル10に搬送し、登録部101を作動することによって分割予定ライン検出条件を登録し、搬送ユニット80によって被加工物を保持テーブル10からカセット61へ搬送する指令を出す指令部102と、を有し、カセット61内に収容される複数種類の被加工物の分割予定ライン検出条件を登録する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
表面の互いに交差する分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物の該分割予定ラインを検出する検出装置であって、
複数の該被加工物を収容するカセットを載置面で載置するカセット載置部と、
該被加工物を保持面で保持する保持テーブルと、
該カセット載置部に載置された該カセットと該保持テーブルとの間で該被加工物を搬送する搬送ユニットと、
該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、
各構成要素を制御する制御ユニットと、を備え、
該制御ユニットは、
該撮像ユニットで該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を撮像し、他の領域と比較して特徴的な任意の領域をキーパターンとして特定し該キーパターンの画像を記憶し、該キーパターンから該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する分割予定ライン検出条件が登録される登録部と、
該カセット載置部に載置される該カセットから該搬送ユニットによって該被加工物を該保持テーブルに搬送し、該登録部を作動することによって該分割予定ライン検出条件を登録し、該搬送ユニットによって該被加工物を該保持テーブルから該カセット載置部に載置される該カセットへ搬送する指令を出す指令部と、を有し、
該カセット内に収容される複数種類の該被加工物の該分割予定ライン検出条件を登録することを特徴とする検出装置。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
該登録部は、任意の領域を該キーパターンと特定する際、他の領域との類似度を算出して該類似度が低いほど該任意の領域が該キーパターンとして相応しいとする適性度を算出し、複数の任意の領域において該適性度をそれぞれ算出した後、最も該適性度の高い該任意の領域を該キーパターンとして特定する特定部を有することを特徴とする請求項１に記載の検出装置。
【請求項３】
複数の被加工物を収容するカセットを載置面で載置するカセット載置部と、
該被加工物を保持面で保持する保持テーブルと、
該カセット載置部に載置された該カセットと該保持テーブルとの間で該被加工物を搬送する搬送ユニットと、
該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、
保持テーブルに保持された該被加工物を該被加工物の表面の互いに交差する分割予定ラインに沿って、切削ブレードで切削する切削機構またはレーザー光線を照射するレーザー照射機構によって加工する加工ユニットと、
該加工ユニットと該保持テーブルとを相対的に該保持面に平行なＸ軸方向と、該保持面に平行であり該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向と、に移動する移動ユニットと、
各構成要素を制御する制御ユニットと、を備え、
該制御ユニットは、
該撮像ユニットで該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を撮像し、他の領域と比較して特徴的な任意の領域をキーパターンとして特定し該キーパターンの画像を記憶し、該キーパターンから該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する分割予定ライン検出条件が登録される登録部と、
該カセット載置部に載置される該カセットから該搬送ユニットによって該被加工物を該保持テーブルに搬送し、該登録部を作動することによって該分割予定ライン検出条件を登録し、該搬送ユニットによって該被加工物を該保持テーブルから該カセット載置部に載置される該カセットへ搬送する指令を出す指令部と、を有し、
該カセット内に収容される複数種類の該被加工物の該分割予定ライン検出条件を登録することを特徴とする加工装置。
【請求項４】
表面の互いに交差する分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物の該分割予定ラインを検出して登録する分割予定ラインの登録方法であって、
複数の該被加工物を収容するカセットを載置面で載置するカセット載置部に、該カセットを載置するカセット載置ステップと、
搬送ユニットによって、該カセット載置部に載置された該カセットから該被加工物を搬出して保持テーブルへ搬送する搬出ステップと、
該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を撮像ユニットによって撮像する撮像ステップと、
該撮像ステップで撮像した画像から他の領域と比較して特徴的な任意の領域をキーパターンとして特定し該キーパターンの画像を記憶し、該キーパターンから該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する分割予定ライン検出条件が登録される登録ステップと、
該搬送ユニットによって、該保持テーブルに保持された該被加工物を該カセット載置部に載置される該カセットへ搬入する搬入ステップと、
を備え、
該カセット内に収容される複数の種類の該被加工物の該分割予定ライン検出条件を登録することを特徴とする分割予定ライン検出条件の登録方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出装置、加工装置及び登録方法に関する。
続きを表示（約 2,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体被加工物等の被加工物をチップサイズに分割するために、被加工物の分割予定ラインに沿って加工を行う加工装置がある。例えば、特許文献１には、被加工物の位置合わせにおいて、第１の所定位置に対して９０度回転せしめられた第２の所定位置に対する位置合わせを遂行して精密位置合わせが適切に遂行されたか否かの確認を行う技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特公平３－２７０４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の加工装置は、分割予定ラインに基づいて加工する場合、該分割予定ラインに対してユニークなキーパターンを検出条件として登録する必要がある。従来の加工装置は、複数種類の被加工物を加工する場合、作業者が複数種類ごとにキーパターンを登録していたため、作業者を煩わせることなく、複数種類の被加工物の分割予定ラインに対するキーパターンを登録することが望まれていた。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、複数種類の被加工物の分割予定ラインに対するキーパターンを登録に係る作業者の作業負担を軽減させかつ作業効率を向上させることができる検出装置、加工装置及び登録方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の検出装置は、表面の互いに交差する分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物の該分割予定ラインを検出する検出装置であって、複数の該被加工物を収容するカセットを載置面で載置するカセット載置部と、該被加工物を保持面で保持する保持テーブルと、該カセット載置部に載置された該カセットと該保持テーブルとの間で該被加工物を搬送する搬送ユニットと、該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該撮像ユニットで該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を撮像し、他の領域と比較して特徴的な任意の領域をキーパターンとして特定し該キーパターンの画像を記憶し、該キーパターンから該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する分割予定ライン検出条件が登録される登録部と、該カセット載置部に載置される該カセットから該搬送ユニットによって該被加工物を該保持テーブルに搬送し、該登録部を作動することによって該分割予定ライン検出条件を登録し、該搬送ユニットによって該被加工物を該保持テーブルから該カセット載置部に載置される該カセットへ搬送する指令を出す指令部と、を有し、該カセット内に収容される複数種類の該被加工物の該分割予定ライン検出条件を登録することを特徴とする。
【０００７】
上述した検出装置において、該登録部は、任意の領域を該キーパターンと特定する際、他の領域との類似度を算出して該類似度が低いほど該任意の領域が該キーパターンとして相応しいとする適性度を算出し、複数の任意の領域において該適性度をそれぞれ算出した後、最も該適性度の高い該任意の領域を該キーパターンとして特定する特定部を有してもよい。
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、複数の被加工物を収容するカセットを載置面で載置するカセット載置部と、該被加工物を保持面で保持する保持テーブルと、該カセット載置部に載置された該カセットと該保持テーブルとの間で該被加工物を搬送する搬送ユニットと、該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、保持テーブルに保持された該被加工物を該被加工物の表面の互いに交差する分割予定ラインに沿って、切削ブレードで切削する切削機構またはレーザー光線を照射するレーザー照射機構によって加工する加工ユニットと、該加工ユニットと該保持テーブルとを相対的に該保持面に平行なＸ軸方向と、該保持面に平行であり該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向と、に移動する移動ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該撮像ユニットで該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を撮像し、他の領域と比較して特徴的な任意の領域をキーパターンとして特定し該キーパターンの画像を記憶し、該キーパターンから該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する分割予定ライン検出条件が登録される登録部と、該カセット載置部に載置される該カセットから該搬送ユニットによって該被加工物を該保持テーブルに搬送し、該登録部を作動することによって該分割予定ライン検出条件を登録し、該搬送ユニットによって該被加工物を該保持テーブルから該カセット載置部に載置される該カセットへ搬送する指令を出す指令部と、を有し、該カセット内に収容される複数種類の該被加工物の該分割予定ライン検出条件を登録することを特徴とする。
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の登録方法は、表面の互いに交差する分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物の該分割予定ラインを検出して登録する分割予定ラインの登録方法であって、複数の該被加工物を収容するカセットを載置面で載置するカセット載置部に、該カセットを載置するカセット載置ステップと、搬送ユニットによって、該カセット載置部に載置された該カセットから該被加工物を搬出して保持テーブルへ搬送する搬出ステップと、該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を撮像ユニットによって撮像する撮像ステップと、該撮像ステップで撮像した画像から他の領域と比較して特徴的な任意の領域をキーパターンとして特定し該キーパターンの画像を記憶し、該キーパターンから該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する分割予定ライン検出条件が登録される登録ステップと、該搬送ユニットによって、該保持テーブルに保持された該被加工物を該カセット載置部に載置される該カセットへ搬入する搬入ステップと、を備え、該カセット内に収容される複数の種類の該被加工物の該分割予定ライン検出条件を登録することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、複数種類の被加工物の分割予定ラインに対するキーパターンを登録に係る作業者の作業負担を軽減させかつ作業効率を向上させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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