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公開番号2024085590
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-27
出願番号2022200182
出願日2022-12-15
発明の名称チャックテーブル
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B23Q 3/08 20060101AFI20240620BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】保持面の径方向の中心部と外周部とにおける吸引力のばらつきを低減する。
【解決手段】被加工物を吸引保持するチャックテーブルであって、被加工物を吸引保持する保持面を有する板状のポーラスプレートと、ポーラスプレートが載置されたときに保持面とは反対側に位置するポーラスプレートの底面に接する頂面を有する板状の基台と、を備え、基台は、頂面に露出しており且つ吸引源からの負圧をポーラスプレートに伝達するための複数の吸引路を有し、基台を平面視した場合に、基台の頂面の面積と、ポーラスプレートに対して負圧を供給可能な態様で露出している複数の吸引路の面積と、の和に対する、ポーラスプレートに対して負圧を供給可能な態様で露出している複数の吸引路の面積の割合は、頂面の中心部の方が、頂面の外周部よりも小さくなる様に構成可能であるチャックテーブルを提供する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を吸引保持するチャックテーブルであって、
該被加工物を吸引保持する保持面を有する板状のポーラスプレートと、
該ポーラスプレートが載置されたときに該保持面とは反対側に位置する該ポーラスプレートの底面に接する頂面を有する板状の基台と、
を備え、
該基台は、該頂面に露出しており且つ吸引源からの負圧を該ポーラスプレートに伝達するための複数の吸引路を有し、
該基台を平面視した場合に、該基台の該頂面の面積と、該ポーラスプレートに対して負圧を供給可能な態様で露出している該複数の吸引路の面積と、の和に対する、該ポーラスプレートに対して負圧を供給可能な態様で露出している該複数の吸引路の面積の割合は、該頂面の中心部の方が、該頂面の外周部よりも小さくなる様に構成可能であることを特徴とするチャックテーブル。
続きを表示（約 650 文字）【請求項２】
該基台を平面視した場合に、該基台の該頂面の面積と、該複数の吸引路の面積と、の和に対する、該複数の吸引路の面積の割合は、該頂面の該中心部の方が、該頂面の該外周部よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のチャックテーブル。
【請求項３】
該ポーラスプレートに対して負圧を供給可能な態様で露出している該複数の吸引路は、該基台の径方向の中心に設けられ該基台の厚さ方向において該基台を貫通する円筒状吸引路と、該円筒状吸引路の周りに同心円状に配置された複数の環状吸引路と、を有し、
該基台は、該複数の環状吸引路よりも下方に設けられ、該基台を平面視した場合に放射状に配置され、該円筒状吸引路を介して該吸引源からの負圧が伝達される複数の下方吸引路を更に有し、
該複数の環状吸引路の各々は、該複数の下方吸引路と該基台の厚さ方向で接続するための複数の連通路を含み、
該基台の該頂面の該中心部に位置する１以上の環状吸引路の各々における全ての連通路と、該円筒状吸引路と、の少なくとも一方を封止することにより、該基台を平面視した場合に、該頂面の面積と、該ポーラスプレートに対して負圧を供給可能な態様で露出している該複数の吸引路の面積と、の和に対する、該ポーラスプレートに対して負圧を供給可能な態様で露出している該複数の吸引路の面積の割合を、該頂面の該中心部の方において、該頂面の該外周部よりも小さくできることを特徴とする請求項１に記載のチャックテーブル。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を吸引保持するチャックテーブルに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等の被加工物に対して切削、レーザー加工等の加工を施す際には、チャックテーブルが使用される。チャックテーブルは、被加工物を吸引保持する保持面を有し、通常、被加工物は、保持面で支持された状態で吸引保持される。
【０００３】
切削装置やレーザー加工装置で使用されるチャックテーブルは、通常、ステンレス鋼等の金属で形成された円板状の基台を有する。基台の頂面側には、基台よりも小径の円板状の凹部が形成されており、この凹部には、多孔質セラミックスで形成された円板状のポーラスプレートが配置され、ポーラスプレートは、通常、接着剤等を用いて基台に固定される。
【０００４】
基台の凹部の底面には、凹部の径方向において略等間隔で複数の環状吸引路が同心円状に形成されている。凹部の底面には、更に、複数の環状吸引路の各々を接続するための複数の直線状吸引路が、基台の径方向に沿って形成されている。また、凹部の底面の中心部には、真空ポンプ等の吸引源に接続される円筒状吸引路が形成されている。
【０００５】
円筒状吸引路は、複数の直線状吸引路を介して、複数の環状吸引路に連通しており、吸引源からの負圧は、これらの吸引路を介してポーラスプレートの上面に伝達される。ポーラスプレートの上面と、基台の上面と、は略面一であり、被加工物を吸引保持する保持面として機能する。
【０００６】
この様なチャックテーブルでは、ポーラスプレートの径方向の中心部が外周部に比べて吸引力が大きくなることがあり、チャックテーブルの径方向の中心部近傍においてポーラスプレートや被加工物が変形することで、被加工物の上面の高さ位置のばらつきが生じて加工不良につながるという問題がある。更には、チャックテーブルで吸引保持された被加工物が、変形に耐えられずに破損する可能性もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０１４－１４３２９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、保持面の径方向の中心部と外周部とにおける吸引力のばらつきを低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、被加工物を吸引保持するチャックテーブルであって、該被加工物を吸引保持する保持面を有する板状のポーラスプレートと、該ポーラスプレートが載置されたときに該保持面とは反対側に位置する該ポーラスプレートの底面に接する頂面を有する板状の基台と、を備え、該基台は、該頂面に露出しており且つ吸引源からの負圧を該ポーラスプレートに伝達するための複数の吸引路を有し、該基台を平面視した場合に、該基台の該頂面の面積と、該ポーラスプレートに対して負圧を供給可能な態様で露出している該複数の吸引路の面積と、の和に対する、該ポーラスプレートに対して負圧を供給可能な態様で露出している該複数の吸引路の面積の割合は、該頂面の中心部の方が、該頂面の外周部よりも小さくなる様に構成可能であるチャックテーブルが提供される。
【００１０】
好ましくは、該基台を平面視した場合に、該基台の該頂面の面積と、該複数の吸引路の面積と、の和に対する、該複数の吸引路の面積の割合は、該頂面の該中心部の方が、該頂面の該外周部よりも小さい。
（【００１１】以降は省略されています）

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