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公開番号2024087307
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-01
出願番号2022202060
出願日2022-12-19
発明の名称研削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20240624BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】研削屑を含む研削水およびその噴霧を良好に吸引する。
【解決手段】カバー81、その底板91およびチャックテーブル20の保持面22により、ウェーハ100の裏面102を研削加工している研削砥石77を囲む、閉じた空間S1を形成することができる。このため、吸引路95を介して噴霧吸引源202を空間S1に連通させることにより、空間S1内の研削屑を含む噴霧および研削水を、実質的にリークのない状態で、良好に吸引することができる。したがって、これらの噴霧および研削水によって、研削装置1における空間S1の外部の部材が汚されることを抑制することができる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
保持面によってウェーハを保持し回転するチャックテーブルと、
スピンドルの先端に配置されたマウントに装着された環状の研削砥石を回転させ、該保持面に保持されたウェーハに該研削砥石の下面を当接させウェーハを研削する研削機構と、
該研削機構を鉛直方向に移動させる昇降機構と、
該研削砥石に研削水を供給する研削水供給部と、を備える研削装置であって、
該チャックテーブルに保持されたウェーハを研削加工中の該研削砥石を囲むカバー機構を備え、
該カバー機構は、
該マウントに装着された該研削砥石の外側面を囲む筒体、および、該スピンドルが貫通する貫通口を有し該筒体の上側を塞ぐ天板を含むカバーと、
該カバーを鉛直方向に昇降自在に支持するガイド部と、
該カバーが自重によって下位置に位置付けられた際に、該天板の下面と該マウントの上面との間に隙間が形成されるように該カバーを支持するストッパと、
該昇降機構によって該研削機構を下降させた際に、該カバーの下端を載せ、該ガイド部によって該研削砥石に対して該カバーを上昇させ、ウェーハを該研削砥石で研削しているときに、該チャックテーブルの該保持面に対して所定の高さに該カバーを位置づける位置決めブロックと、
所定の高さに位置付けられた該カバーの該チャックテーブルからはみ出た部分の下面を塞ぐ底板と、を備える、
研削装置。
続きを表示（約 70 文字）【請求項２】
該底板に配置され、該研削砥石の下面に洗浄水を噴射する洗浄水ノズルを備える、
請求項１記載の研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
ウェーハを環状の研削砥石で研削する研削装置では、研削屑を含む研削水の噴霧が発生する。この噴霧が加工室内に飛散すると、噴霧に含まれる研削屑が加工室内で塊となり、その塊がウェーハに落下して、ウェーハに傷をつけることがある。このため、特許文献１および２に開示の技術では、ウェーハを保持する保持面とカバーとで、研削砥石を囲む空間を形成している。そして、この空間内において研削屑を含む研削水の噴霧を吸引して、ウェーハに傷がつくことを抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－０７７１７１号公報
特開２０１５－２１７４４３号公報
特開２０１９－１３６８０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、研削装置では、保持面を成形するために、定期的に保持面を研削している。このため、保持面が低くなることにより、保持面とカバーで囲まれた空間にリークが生じて、噴霧を十分に吸引することが困難となることがある。
【０００５】
したがって、本発明の目的は、研削屑を含む研削水、および、研削屑を含む研削水の噴霧を良好に吸引することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の研削装置（本研削装置）は、保持面によってウェーハを保持し回転するチャックテーブルと、スピンドルの先端に配置されたマウントに装着された環状の研削砥石を回転させ、該保持面に保持されたウェーハに該研削砥石の下面を当接させウェーハを研削する研削機構と、該研削機構を鉛直方向に移動させる昇降機構と、該研削砥石に研削水を供給する研削水供給部と、を備える研削装置であって、該チャックテーブルに保持されたウェーハを研削加工中の該研削砥石を囲むカバー機構を備え、該カバー機構は、該マウントに装着された該研削砥石の外側面を囲む筒体、および、該スピンドルが貫通する貫通口を有し該筒体の上側を塞ぐ天板を含むカバーと、該カバーを鉛直方向に昇降自在に支持するガイド部と、該カバーが自重によって下位置に位置付けられた際に、該天板の下面と該マウントの上面との間に隙間が形成されるように該カバーを支持するストッパと、該昇降機構によって該研削機構を下降させた際に、該カバーの下端を載せ、該ガイド部によって該研削砥石に対して該カバーを上昇させ、ウェーハを該研削砥石で研削しているときに、該チャックテーブルの該保持面に対して所定の高さに該カバーを位置づける位置決めブロックと、所定の高さに位置付けられた該カバーの該チャックテーブルからはみ出た部分の下面を塞ぐ底板と、を備える。
【０００７】
本研削装置は、該底板に配置され、該研削砥石の下面に洗浄水を噴射する洗浄水ノズルを備えていてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本研削装置では、たとえば、カバーを所定の高さに位置付けて、カバー、底板およびチャックテーブルの保持面により、ウェーハを研削加工している研削砥石を囲む空間を形成することができる。このため、この空間内の研削屑を含む噴霧および研削水を、実質的にリークのない状態で、良好に吸引することができる。したがって、これらの噴霧および研削水によって、研削装置における空間の外部の部材が汚されることを抑制することができる。
【０００９】
また、本実施形態では、カバーを所定の高さに位置付けるために、カバーの下端を載せる位置決めブロックを備えている。したがって、カバーを所定の高さに位置付けることが容易である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
研削装置の構成を示す斜視図である。
研削装置の構成を示す説明図である。
取り付け機構の構成を示す説明図である。
研削装置の構成を示す説明図である。
図２のＡ－Ａ線矢視図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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