特許ウォッチ

公開番号2024087260
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-01
出願番号2022201986
出願日2022-12-19
発明の名称テープ貼り装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240624BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】従来のテープ貼り装置に比べて適切な圧力を掛けて被加工物に保護テープを密着させることができるテープ貼り装置を提供する。
【解決手段】板状の被加工物の第1面に保護テープを貼るテープ貼り装置であって、被加工物の第2面側を保持する保持面を有するチャックテーブルと、曲面状に構成された側面を有する柱状のローラーと、ローラーの軸心の周りにローラーが回転できるようにローラーの両端部を支持する支持構造と、チャックテーブルと支持構造とを相対的に移動させる移動機構と、を含み、ローラーの側面又は/及びチャックテーブルの保持面は、ローラーの側面が保護テープを介して被加工物の第1面側に押し当てられる際のローラーの変形に起因して生じるローラーから第1面への圧力のばらつきを抑制できる形状に構成されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１面と、該第１面とは反対側の第２面と、を有する板状の被加工物の該第１面に保護テープを貼るテープ貼り装置であって、
該被加工物の該第２面側を保持する保持面を有するチャックテーブルと、
曲面状に構成された側面を有する柱状のローラーと、
該ローラーの軸心の周りに該ローラーが回転できるように該ローラーの両端部を支持する支持構造と、
該チャックテーブルの該保持面に保持された該被加工物の該第１面側に該保護テープを密着させるように該保護テープを介して該ローラーの該側面を該被加工物の該第１面側に押し当てながら、該保持面に沿う方向に平行で該軸心に垂直な方向に該ローラーが移動するように、該チャックテーブルと該支持構造とを相対的に移動させる移動機構と、を含み、
該ローラーの該側面又は／及び該チャックテーブルの該保持面は、該ローラーの該側面が該保護テープを介して該被加工物の該第１面側に押し当てられる際の該ローラーの変形に起因して生じる該ローラーから該第１面への圧力のばらつきを抑制できる形状に構成されているテープ貼り装置。
続きを表示（約 180 文字）【請求項２】
該ローラーの該側面は、該ローラーの該両端部に比べて中央部で該軸心からの距離が大きくなるように湾曲している請求項１に記載のテープ貼り装置。
【請求項３】
該チャックテーブルの該保持面は、該軸心に対して平行な方向での両端部に比べて中央部が該ローラーに近くなるように凸形状に湾曲している請求項１又は請求項２に記載のテープ貼り装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被加工物に保護テープを貼るテープ貼り装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を切削や研削等の方法で加工する際には、チャックテーブルと呼ばれる保持具により被加工物が保持される。一方で、被加工物がチャックテーブルにより保持される際に、このチャックテーブルに対して被加工物の被保持面が直に接触すると、被加工物の被保持面に傷が付くことがある。
【０００３】
そこで、上述のような方法で被加工物を加工する前には、一般的に、被加工物の被保持面側に樹脂製の保護テープが貼付される。近年では、被加工物に対して保護テープが効率的に、且つ適切に貼付されるように、保護テープを介して被加工物にローラーで圧力を掛けて被加工物に保護テープを密着させるテープ貼り装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００８－２７０５４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述したテープ貼り装置では、被加工物に圧力を掛ける際にローラーが撓むので、ローラーから被加工物に作用する圧力を被加工物の被保持面の全体で等しくすることが難しい。その結果、被加工物の被保持面の全体に保護テープが十分に密着しないことがあった。
【０００６】
よって、本発明の目的は、従来のテープ貼り装置に比べて適切な圧力を掛けて被加工物に保護テープを密着させることができるテープ貼り装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一側面によれば、第１面と、該第１面とは反対側の第２面と、を有する板状の被加工物の該第１面に保護テープを貼るテープ貼り装置であって、該被加工物の該第２面側を保持する保持面を有するチャックテーブルと、曲面状に構成された側面を有する柱状のローラーと、該ローラーの軸心の周りに該ローラーが回転できるように該ローラーの両端部を支持する支持構造と、該チャックテーブルの該保持面に保持された該被加工物の該第１面側に該保護テープを密着させるように該保護テープを介して該ローラーの該側面を該被加工物の該第１面側に押し当てながら、該保持面に沿う方向に平行で該軸心に垂直な方向に該ローラーが移動するように、該チャックテーブルと該支持構造とを相対的に移動させる移動機構と、を含み、該ローラーの該側面又は／及び該チャックテーブルの該保持面は、該ローラーの該側面が該保護テープを介して該被加工物の該第１面側に押し当てられる際の該ローラーの変形に起因して生じる該ローラーから該第１面への圧力のばらつきを抑制できる形状に構成されているテープ貼り装置が提供される。
【０００８】
好ましくは、該ローラーの該側面は、該ローラーの該両端部に比べて中央部で該軸心からの距離が大きくなるように湾曲している。また、好ましくは、該チャックテーブルの該保持面は、該軸心に対して平行な方向での両端部に比べて中央部が該ローラーに近くなるように凸形状に湾曲している。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一側面にかかるテープ貼り装置では、ローラーの側面又は／及びチャックテーブルの保持面が、ローラーの側面が保護テープを介して被加工物の第１面側に押し当てられる際のローラーの変形に起因して生じるローラーから第１面への圧力のばらつきを抑制できる形状に構成されている。
【００１０】
そのため、被加工物に圧力を掛ける際にローラーが撓んでも、ローラーから被加工物に作用する圧力のばらつきが抑制される。よって、本発明の一側面にかかるテープ貼り装置によれば、従来のテープ貼り装置に比べて適切な圧力を掛けて被加工物に保護テープを密着させることができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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