特許ウォッチ

公開番号2024088077
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-02
出願番号2022203059
出願日2022-12-20
発明の名称ダイアモンドの研削方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 1/00 20060101AFI20240625BHJP(研削;研磨)
要約【課題】ダイアモンドを効率的に研削することができるダイアモンドの研削方法を提供すること。
【解決手段】ダイアモンドの研削方法は、ダイアモンドの被研削面に対して金属材料を当接させながら、ダイアモンドの被研削面と金属材料とを相対的に移動させることで、ダイアモンドの被研削面に金属材料を付着させる金属付着ステップ1と、金属材料が付着したダイアモンドの該被研削面に対し、ダイアモンドに対しては透過性を有するとともに金属材料に対しては吸収性を有する波長のレーザービームを照射することで、金属材料が付着したダイアモンドの被研削面を変質させるレーザービーム照射ステップ2と、レーザービーム照射ステップ2を実施した後、ダイアモンドの被研削面に対して研削部材を当接させながら、ダイアモンドの被研削面と研削部材とを相対的に研削送りすることで、被研削面の変質領域を研削除去する研削ステップ3と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ダイアモンドの研削方法であって、
ダイアモンドの被研削面に対して金属材料を当接させながら、該ダイアモンドの該被研削面と該金属材料とを相対的に移動させることで、該ダイアモンドの該被研削面に該金属材料を付着させる金属付着ステップと、
該金属材料が付着した該ダイアモンドの該被研削面に対し、該ダイアモンドに対しては透過性を有するとともに該金属材料に対しては吸収性を有する波長のレーザービームを照射することで、該金属材料が付着した該ダイアモンドの該被研削面を変質させるレーザービーム照射ステップと、
該レーザービーム照射ステップを実施した後、ダイアモンドの該被研削面に対して研削部材を当接させながら、ダイアモンドの該被研削面と該研削部材とを相対的に研削送りすることで、該被研削面の変質領域を研削除去する研削ステップと、を備える
ことを特徴とする、ダイアモンドの研削方法。
続きを表示（約 290 文字）【請求項２】
該研削部材は、該ダイアモンドの該被研削面に付着させる該金属材料である
ことを特徴とする、請求項１に記載のダイアモンドの研削方法。
【請求項３】
該金属材料は、遷移金属と希土類元素とを含む
ことを特徴とする、請求項１または２に記載のダイアモンドの研削方法。
【請求項４】
該金属付着ステップは、該ダイアモンドの該被研削面と該金属材料の該被研削面に対する当接面との少なくともいずれかに、鉄または炭素からなる微粒子を付着させた状態で行う
ことを特徴とする、請求項１または２に記載のダイアモンドの研削方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイアモンドの研削方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
被加工物を薄化、平坦化する工程において、チャックテーブルに保持された被加工物の被研削面に研削砥石を当接させつつ、チャックテーブルと研削砥石とをそれぞれ回転させながら互いに接近する方向に相対的に研削送りすることにより研削を遂行する研削装置が用いられる（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－２２２９８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、研削装置でサファイア基板やＳｉＣ基板等の難研削材を研削すると、研削に非常に時間がかかるだけでなく、研削砥石の消耗が激しく不経済であるという課題が存在している。特に、ダイアモンド基板は非常に研削性が悪いため、効率的な研削方法の開発が所望されている。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ダイアモンドを効率的に研削することができるダイアモンドの研削方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のダイアモンドの研削方法は、ダイアモンドの被研削面に対して金属材料を当接させながら、該ダイアモンドの該被研削面と該金属材料とを相対的に移動させることで、該ダイアモンドの該被研削面に該金属材料を付着させる金属付着ステップと、該金属材料が付着した該ダイアモンドの該被研削面に対し、該ダイアモンドに対しては透過性を有するとともに該金属材料に対しては吸収性を有する波長のレーザービームを照射することで、該金属材料が付着した該ダイアモンドの該被研削面を変質させるレーザービーム照射ステップと、該レーザービーム照射ステップを実施した後、ダイアモンドの該被研削面に対して研削部材を当接させながら、ダイアモンドの該被研削面と該研削部材とを相対的に研削送りすることで、該被研削面の変質領域を研削除去する研削ステップと、を備えることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明のダイアモンドの研削方法において、該研削部材は、該ダイアモンドの該被研削面に付着させる該金属材料であってもよい。
【０００８】
また、本発明のダイアモンドの研削方法において、該金属材料は、遷移金属と希土類元素とを含んでもよい。
【０００９】
また、本発明のダイアモンドの研削方法において、該金属付着ステップは、該ダイアモンドの該被研削面と該金属材料の該被研削面に対する当接面との少なくともいずれかに、鉄または炭素からなる微粒子を付着させた状態で行ってもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本願発明は、ダイアモンドを効率的に研削することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許