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公開番号2024068111
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-17
出願番号2023146783
出願日2023-09-11
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B24B 7/04 20060101AFI20240510BHJP(研削;研磨)
要約【課題】チャックテーブルの保持面からウェーハを離隔させないで、3種類の加工を実施する。
【解決手段】4つのチャックテーブル20が配置されているターンテーブル25を回転させることにより、1つのチャックテーブル20に保持されているウェーハ100を、第1加工位置401、第2加工位置402および第3加工位置403に順次配置して、ウェーハ100の加工を実施している。したがって、チャックテーブル20の保持面22からウェーハ100を離隔することなく、3種類の加工を実施することができる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハの中央部分を研削することによって、ウェーハに円形凹部と該円形凹部の外側の環状凸部とを形成する加工装置であって、
ターンテーブルと、
該ターンテーブルに少なくとも４つ以上配置され保持面でウェーハを保持し回転するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに対しウェーハを搬入または搬出する搬送機構と、
該保持面に保持されたウェーハを第１環状砥石で研削してウェーハの中央部分に該円形凹部を形成する第１加工機構と、
該保持面に保持されたウェーハの該円形凹部の底面を第２環状砥石で研削する第２加工機構と、
該保持面に保持されたウェーハの該円形凹部の底面を第３環状砥石で研削する、または、ウェーハの上面を第１研磨パッドで研磨する第３加工機構と、
該第１加工機構の該第１環状砥石を、該保持面に保持されたウェーハの径方向に移動させる第１水平移動機構と、
該第２加工機構の該第２環状砥石を、該保持面に保持されたウェーハの径方向に移動させる第２水平移動機構と、
該第３加工機構の該第３環状砥石あるいは該第１研磨パッドを、該保持面に保持されたウェーハの径方向に移動させる第３水平移動機構と、を備える、加工装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
該チャックテーブルは、該ターンテーブルの回転により、該第１加工機構の加工位置、該第２加工機構の加工位置、該第３加工機構の加工位置、および、該搬送機構によってウェーハが搬入または搬出される搬送位置に位置づけられるように構成されており、
該搬送位置にある該チャックテーブルに保持されているウェーハの上面を第２研磨パッドで研磨する研磨機構をさらに備える、請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
該チャックテーブルは、該ターンテーブルの回転により、該第１加工機構の加工位置、該第２加工機構の加工位置、該第３加工機構の加工位置、および、該搬送機構によってウェーハが搬入または搬出される搬送位置に位置づけられるように構成されており、
該搬送位置にある該チャックテーブルに保持されているウェーハの上面の少なくとも該環状凸部となる部分を外周上面研削砥石で研削する外周上面研削機構をさらに備える、請求項１記載の加工装置。
【請求項４】
ウェーハの中央部分を研削することによって、ウェーハに円形凹部と該円形凹部の外側の環状凸部とを形成する加工装置であって、
ターンテーブルと、
該ターンテーブルに少なくとも４つ以上配置され保持面でウェーハを保持し回転するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに対しウェーハを搬入または搬出する搬送機構と、
該保持面に保持されたウェーハを第２環状砥石で研削してウェーハの中央部分に該円形凹部を形成する第２加工機構と、
該保持面に保持されたウェーハの該円形凹部の底面を第３環状砥石で研削する、または、ウェーハの上面を第１研磨パッドで研磨する第３加工機構と、
該保持面に保持されたウェーハの上面の少なくとも該環状凸部となる部分を第４環状砥石で研削する第４加工機構と、
を備え、
該第２加工機構の該第２環状砥石を、該保持面に保持されたウェーハの径方向に移動させる第２水平移動機構と、
該第３加工機構の該第３環状砥石あるいは該第１研磨パッドを、該保持面に保持されたウェーハの径方向に移動させる第３水平移動機構と、
該第４加工機構の該第４環状砥石を、該保持面に保持されたウェーハの径方向に移動させる第４水平移動機構と、
を備える、加工装置。
【請求項５】
該チャックテーブルは、該ターンテーブルの回転により、該第２加工機構の加工位置、該第３加工機構の加工位置、該第４加工機構の加工位置、および、該搬送機構によってウェーハが搬入または搬出される搬送位置に位置づけられるように構成されており、
該搬送位置にある該チャックテーブルに保持されているウェーハの上面を第２研磨パッドで研磨する研磨機構をさらに備える、請求項４記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１および２に開示のように、ウェーハの中央部分を研削して、凹部を形成すると共に、ウェーハの外周部分に環状の凸部を形成するウェーハの研削方法がある。この研削方法では、粗砥石で研削して凹部を形成した後、その凹部の底面を仕上げ砥石で研削して、凹部の底面の凹凸を除去している。
【０００３】
そして、この底面には、金属層が形成される。この金属層を薄化させるために、底面の凹凸をさらに除去して、底面を鏡面にすることが望まれている。このために、仕上げ砥石で研削した凹部の底面を、仕上げ砥石よりも小さい砥粒の精密砥石で研削するか、または、研磨パッドで研磨することにより、この底面を鏡面にすることが考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００８－０４２０８１号公報
特開２００７－０１９４６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のように、粗砥石と、仕上げ砥石と、精密砥石あるいは研磨パッドとの３種類の加工手段で凹部の底面を加工するときに、凹部に対して砥石または研磨パッドを適切な位置に位置づけるために、チャックテーブルの保持面からウェーハを離隔させないで、３種類の加工手段で加工を実施することが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１加工装置は、ウェーハの中央部分を研削することによって、ウェーハに円形凹部と該円形凹部の外側の環状凸部とを形成する加工装置であって、ターンテーブルと、該ターンテーブルに少なくとも４つ以上配置され保持面でウェーハを保持し回転するチャックテーブルと、該チャックテーブルに対しウェーハを搬入または搬出する搬送機構と、該保持面に保持されたウェーハを第１環状砥石で研削してウェーハの中央部分に該円形凹部を形成する第１加工機構と、該保持面に保持されたウェーハの該円形凹部の底面を第２環状砥石で研削する第２加工機構と、該保持面に保持されたウェーハの該円形凹部の底面を第３環状砥石で研削する、または、ウェーハの上面を第１研磨パッドで研磨する第３加工機構と、該第１加工機構の該第１環状砥石を、該保持面に保持されたウェーハの径方向に移動させる第１水平移動機構と、該第２加工機構の該第２環状砥石を、該保持面に保持されたウェーハの径方向に移動させる第２水平移動機構と、該第３加工機構の該第３環状砥石あるいは該第１研磨パッドを、該保持面に保持されたウェーハの径方向に移動させる第３水平移動機構と、を備える。
【０００７】
第１加工装置では、該チャックテーブルは、該ターンテーブルの回転により、該第１加工機構の加工位置、該第２加工機構の加工位置、該第３加工機構の加工位置、および、該搬送機構によってウェーハが搬入または搬出される搬送位置に位置づけられるように構成されていてもよく、該搬送位置にある該チャックテーブルに保持されているウェーハの上面を第２研磨パッドで研磨する研磨機構をさらに備えてもよい。
【０００８】
第１加工装置では、該チャックテーブルは、該ターンテーブルの回転により、該第１加工機構の加工位置、該第２加工機構の加工位置、該第３加工機構の加工位置、および、該搬送機構によってウェーハが搬入または搬出される搬送位置に位置づけられるように構成されており、該搬送位置にある該チャックテーブルに保持されているウェーハの上面の少なくとも該環状凸部となる部分を外周上面研削砥石で研削する外周上面研削機構をさらに備えてもよい。
【０００９】
本発明の第２加工装置は、ウェーハの中央部分を研削することによって、ウェーハに円形凹部と該円形凹部の外側の環状凸部とを形成する加工装置であって、ターンテーブルと、該ターンテーブルに少なくとも４つ以上配置され保持面でウェーハを保持し回転するチャックテーブルと、該チャックテーブルに対しウェーハを搬入または搬出する搬送機構と、該保持面に保持されたウェーハを第２環状砥石で研削してウェーハの中央部分に該円形凹部を形成する第２加工機構と、該保持面に保持されたウェーハの該円形凹部の底面を第３環状砥石で研削する、または、ウェーハの上面を第１研磨パッドで研磨する第３加工機構と、該保持面に保持されたウェーハの上面の少なくとも該環状凸部となる部分を第４環状砥石で研削する第４加工機構と、を備え、該第２加工機構の該第２環状砥石を、該保持面に保持されたウェーハの径方向に移動させる第２水平移動機構と、該第３加工機構の該第３環状砥石あるいは該第１研磨パッドを、該保持面に保持されたウェーハの径方向に移動させる第３水平移動機構と、該第４加工機構の該第４環状砥石を、該保持面に保持されたウェーハの径方向に移動させる第４水平移動機構と、を備える。
【００１０】
第２加工装置では、該チャックテーブルは、該ターンテーブルの回転により、該第２加工機構の加工位置、該第３加工機構の加工位置、該第４加工機構の加工位置、および、該搬送機構によってウェーハが搬入または搬出される搬送位置に位置づけられるように構成されていてもよく、該搬送位置にある該チャックテーブルに保持されているウェーハの上面を第２研磨パッドで研磨する研磨機構をさらに備えてもよい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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