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公開番号2024080388
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-13
出願番号2022193535
出願日2022-12-02
発明の名称テープ貼り機の清掃方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240606BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】載置テーブルに付着する切り屑等の異物を抑制することができるテープ貼り機の清掃方法を提供すること。
【解決手段】テープ貼り機の清掃方法は、載置テーブルの載置面に載置されたウェーハにテープ貼着ローラーで粘着テープを貼着するテープ貼着ステップ303と、テープ貼着ステップ303の後にテープカッターでウェーハの外縁に沿って粘着テープを切断するテープ切断ステップ304と、テープ貼着ステップ303及びテープ切断ステップ304の前または後に、テープ貼着ローラーで粘着テープを載置面に貼着して載置面に付着した異物を除去する異物除去ステップ302と、を実施する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハを載置する載置面を有する載置テーブルと、
ロール状の粘着テープが装着されるテープ送り出し手段と、
該ウェーハに該粘着テープを貼着するテープ貼着ローラーと、
該ウェーハの外周に沿って該粘着テープを切断するテープカッターと、
該ウェーハに貼着されなかった該粘着テープを巻き取るテープ巻き取り手段と、
を備えるテープ貼り機において、
該載置面に載置された該ウェーハに該テープ貼着ローラーで該粘着テープを貼着するテープ貼着ステップと、
該テープ貼着ステップの後に該テープカッターで該ウェーハの外周に沿って該粘着テープを切断するテープ切断ステップと、
該テープ貼着ステップの前又は該テープ切断ステップの後に、該テープ貼着ローラーで該粘着テープを該載置面に貼着して該載置面に付着した異物を除去する異物除去ステップと、
を実施することを特徴とする、テープ貼り機の清掃方法。
続きを表示（約 66 文字）【請求項２】
該載置テーブルの載置面は樹脂で被覆されていることを特徴とする請求項１に記載のテープ貼り機の清掃方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープ貼り機の清掃方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
研削装置を用いて半導体ウェーハを仕上げ厚みに至るまで研削する際は、デバイスが形成された半導体ウェーハの表面に保護テープを貼着し、保護テープ面側を保持テーブルで吸引保持した状態で、裏面側から研削する。
【０００３】
上述の保護テープを半導体ウェーハに貼着する際はラミネータ（例えば、特許文献１参照）を使用するのが一般的である。ラミネータ（以下、テープ貼り機と記す）は、載置テーブルに載置されたウェーハにローラーで保護テープを貼着した後、カッターでウェーハの外周に沿って保護テープを切断することで、保護テープが貼着されたウェーハが完成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１９－９３７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前述したテープ貼り機では、カッターで切断したテープの切り屑は粘着力を有する為、載置テーブルに飛散して付着する。前述したテープ貼り機では、切り屑が付着した載置テーブルにウェーハを載置することで、切り屑がウェーハに付着し、次工程での研削で研削不良を引き起こすという問題を引き起こす。
【０００６】
よって、前述したテープ貼り機は、載置テーブルの載置面を定期的に清掃する方法が求められていた。
【０００７】
本発明の目的は、載置テーブルに付着する切り屑等の異物を抑制することができるテープ貼り機の清掃方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のテープ貼り機の清掃方法は、ウェーハを載置する載置面を有する載置テーブルと、ロール状の粘着テープが装着されるテープ送り出し手段と、該ウェーハに該粘着テープを貼着するテープ貼着ローラーと、該ウェーハの外周に沿って該粘着テープを切断するテープカッターと、該ウェーハに貼着されなかった該粘着テープを巻き取るテープ巻き取り手段と、を備えるテープ貼り機において、該載置面に載置された該ウェーハに該テープ貼着ローラーで該粘着テープを貼着するテープ貼着ステップと、該テープ貼着ステップの後に該テープカッターで該ウェーハの外周に沿って該粘着テープを切断するテープ切断ステップと、該テープ貼着ステップ及び該テープ切断ステップの前または後に、該テープ貼着ローラーで該粘着テープを該載置面に貼着して該載置面に付着した異物を除去する異物除去ステップと、を実施することを特徴とする。
【０００９】
前記テープ貼り機の清掃方法において、該載置テーブルの載置面は樹脂で被覆されても良い。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、載置テーブルに付着する切り屑等の異物を抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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