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公開番号2024078183
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-10
出願番号2022190583
出願日2022-11-29
発明の名称拡張方法及び拡張装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/301 20060101AFI20240603BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】フレームマウントされたワークにおいてもテープの拡張量を大きくすることができること。
【解決手段】拡張方法は、ワークユニットのフレームを支持する上面を有したフレーム固定ユニット10でフレームを固定するフレーム固定ステップ1001と、フレーム固定ユニット10で固定されたフレームを含むワークユニットのエキスパンドテープを押圧してエキスパンドテープを拡張する拡張ステップ1002と、を備え、拡張ステップ1002では、ワークの周囲に配置されエキスパンドテープを押圧する複数の押圧ローラーで、ワークがフレームから離反するようエキスパンドテープを押圧した後、複数の押圧ローラーをそれぞれワークに対して放射状に移動させることでエキスパンドテープを拡張する。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
ワークが、テープを介してワークを収容する開口を有したフレームに装着されたワークユニットの該テープを拡張する拡張方法であって、
該ワークユニットの該フレームを支持するフレーム支持面を有したフレーム固定ユニットで固定するフレーム固定ステップと、
該フレーム固定ユニットで固定された該フレームを含む該ワークユニットの該テープを押圧して該テープを拡張する拡張ステップと、を備え、
該拡張ステップでは、
該ワークの周囲に配置され該テープを押圧する複数の押圧部材で、該ワークが該フレームから離反するよう該テープを押圧した後、該複数の押圧部材をそれぞれ該ワークに対して放射状に移動させることで該テープを拡張する、拡張方法。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
該拡張ステップを実施した後、該テープが拡張された状態で、該ワークユニットの該ワーク側から、該テープの該ワークの外側領域を保持する保持面を有したテープ保持ユニットで保持し、該ワークが分割されて形成されたチップ間に形成された間隙を維持する外側領域保持ステップを更に備えた、請求項１に記載の拡張方法。
【請求項３】
該外側領域保持ステップを実施した後、該テープ保持ユニットで保持された該テープの該外側領域を、該外側領域の外側で生成された該テープの弛み部とともに該フレームの上面に熱圧着する弛み部熱圧着ステップを更に備えた、請求項２に記載の拡張方法。
【請求項４】
ワークがテープを介してワークを収容する開口を有したフレームに装着されたワークユニットの該テープを拡張する拡張装置であって、
該ワークユニットの該フレームを支持するフレーム支持面を含むフレーム固定ユニットと、
該フレーム固定ユニットで固定された該フレームを含む該ワークユニットの該テープを押圧して該テープを拡張する拡張ユニットと、を備え、
該拡張ユニットは、
該ワークの周囲に配置され該テープを押圧する複数の押圧部材と、
該複数の押圧部材を退避位置と、該ワークが該フレーム支持面から離反するよう該複数の押圧部材で該テープを押圧した押圧位置と、に移動させる第１移動ユニットと、
該押圧位置に位置づけられた該複数の押圧部材をそれぞれ該ワークに対して放射状に移動させる第２移動ユニットと、を有する、拡張装置。
【請求項５】
該拡張ユニットで該テープが拡張された状態で、該ワークユニットの該ワーク側から、該テープの該ワークの外側領域を保持する保持面を含む、テープ保持ユニットと、
該テープ保持ユニットを、該テープに当接して該外側領域を吸引保持する吸引位置と退避位置とに位置づけるテープ保持ユニット移動ユニットと、を更に備えた、請求項４に記載の拡張装置。
【請求項６】
該テープ保持ユニットは、該保持面を加熱する加熱ユニットを更に備え、
該テープ保持ユニットで該テープの該外側領域を吸引保持した後、該フレーム固定ユニットの該フレーム支持面上に支持された該フレームの上面に該テープの該外側領域を当接させるとともに該保持面を加熱して、該外側領域と該外側領域の外側で生成された該テープの弛み部とを該フレームに熱圧着する、請求項５に記載の拡張装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークがフレームマウントされたワークユニットのテープを拡張する拡張方法及び拡張装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ワークユニットのテープを拡張する拡張装置が広く利用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この拡張装置では、拡張ドラムでワークの外側のテープを押圧して拡張した後、フレームの内側に配設される保持テーブルでテープを介してワークを保持し、ワークが分割されて形成されたチップ間の間隙を維持している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１７－１８８４９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、チップサイズが小さいワークではチップ間に間隙を維持するためにはチップサイズが大きいワークに比べてより多くテープを拡張する必要があり、改善が切望されている。
【０００６】
本発明の目的は、フレームマウントされたワークにおいてもテープの拡張量を大きくすることができる拡張方法及び拡張装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の拡張方法は、ワークが、テープを介してワークを収容する開口を有したフレームに装着されたワークユニットの該テープを拡張する拡張方法であって、該ワークユニットの該フレームを支持するフレーム支持面を有したフレーム固定ユニットで固定するフレーム固定ステップと、該フレーム固定ユニットで固定された該フレームを含む該ワークユニットの該テープを押圧して該テープを拡張する拡張ステップと、を備え、該拡張ステップでは、該ワークの周囲に配置され該テープを押圧する複数の押圧部材で、該ワークが該フレームから離反するよう該テープを押圧した後、該複数の押圧部材をそれぞれ該ワークに対して放射状に移動させることで該テープを拡張することを特徴とする。
【０００８】
前記拡張方法において、該拡張ステップを実施した後、該テープが拡張された状態で、該ワークユニットの該ワーク側から、該テープの該ワークの外側領域を保持する保持面を有したテープ保持ユニットで保持し、該ワークが分割されて形成されたチップ間に形成された間隙を維持する外側領域保持ステップを更に備えても良い。
【０００９】
前記拡張方法において、該外側領域保持ステップを実施した後、該テープ保持ユニットで保持された該テープの該外側領域を、該外側領域の外側で生成された該テープの弛み部とともに該フレームの上面に熱圧着する弛み部熱圧着ステップを更に備えても良い。
【００１０】
本発明の拡張装置は、ワークがテープを介してワークを収容する開口を有したフレームに装着されたワークユニットの該テープを拡張する拡張装置であって、該ワークユニットの該フレームを支持するフレーム支持面を含むフレーム固定ユニットと、該フレーム固定ユニットで固定された該フレームを含む該ワークユニットの該テープを押圧して該テープを拡張する拡張ユニットと、を備え、該拡張ユニットは、該ワークの周囲に配置され該テープを押圧する複数の押圧部材と、該複数の押圧部材を退避位置と、該ワークが該フレーム支持面から離反するよう該複数の押圧部材で該テープを押圧した押圧位置と、に移動させる第１移動ユニットと、該押圧位置に位置づけられた該複数の押圧部材をそれぞれ該ワークに対して放射状に移動させる第２移動ユニットと、を有することを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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